公开(公告)号：CN104658969B

公开(公告)日：2018-05-15

申请号：CN201410120711.2

申请日：2014-03-27

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 杨固峰 ,  钟明慈 ,  施泓业 ,  吴钧 ,  蔡承祐 ,  陈新瑜 ,  吴仓聚 ,  邱文智

IPC: H01L21/768

CPC classification number: H01L23/481 ,  H01L21/7684 ,  H01L21/76898 ,  H01L23/544 ,  H01L24/05 ,  H01L24/13 ,  H01L24/81 ,  H01L25/0657 ,  H01L25/50 ,  H01L2223/5442 ,  H01L2223/54426 ,  H01L2223/5446 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05009 ,  H01L2224/05022 ,  H01L2224/05124 ,  H01L2224/05147 ,  H01L2224/05155 ,  H01L2224/05166 ,  H01L2224/05171 ,  H01L2224/05571 ,  H01L2224/06181 ,  H01L2224/11 ,  H01L2224/1132 ,  H01L2224/11334 ,  H01L2224/1134 ,  H01L2224/1145 ,  H01L2224/11462 ,  H01L2224/13111 ,  H01L2224/13139 ,  H01L2224/13147 ,  H01L2224/16146 ,  H01L2224/17181 ,  H01L2224/2919 ,  H01L2224/29191 ,  H01L2224/32145 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/81 ,  H01L2224/8113 ,  H01L2224/81132 ,  H01L2224/81815 ,  H01L2224/81895 ,  H01L2224/83104 ,  H01L2224/92125 ,  H01L2224/94 ,  H01L2225/06513 ,  H01L2225/06541 ,  H01L2225/06544 ,  H01L2225/06565 ,  H01L2225/06593 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/3512 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2224/03

Abstract: 一种装置包括具有多个电器件的衬底。形成在衬底的第一侧上的互连结构使电器件互连。伪TSV的每个延伸穿过衬底且在衬底的第二侧上形成对准掩模。功能TSV的每个延伸穿过衬底且电连接至电器件。形成在衬底的第二侧上的重分布层（RDL）使伪TSV中的一些与功能TSV中的一些互连。功能TSV上方的RDL的台阶高度小于预定值，而伪TSV上方的RDL的台阶高度大于预定值。本发明还提供了重分布层的自对准。

公开(公告)号：CN104779218B

公开(公告)日：2017-11-14

申请号：CN201410424584.5

申请日：2014-08-26

Applicant: 南亚科技股份有限公司

Inventor： 林柏均

IPC: H01L23/31

CPC classification number: H01L23/5384 ,  G11C5/063 ,  H01L23/5226 ,  H01L23/5386 ,  H01L25/0657 ,  H01L25/074 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2225/06513 ,  H01L2225/06517 ,  H01L2225/06527 ,  H01L2225/06565

Abstract: 一种芯片封装结构包含一芯片。芯片的两侧分别设置复数个第一接垫及复数个第二接垫。该复数个第一接垫对应地电性连接一芯片选择电极、该复数个第二接垫及外露的导体。互相电性连接的第一接垫与第二接垫在垂直方向上并非对齐，且是使用垂直连接件及内导体相连接。芯片包含复数个绝缘层，而内导体为该复数个绝缘层分开在不同高度上。

公开(公告)号：CN103839894B

公开(公告)日：2017-11-03

申请号：CN201310028297.8

申请日：2013-01-24

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 吕俊麟 ,  刘明凯 ,  吴凯强 ,  杨青峰

IPC: H01L21/98 ,  H01L21/58 ,  H01L21/56

CPC classification number: H01L21/76898 ,  H01L21/561 ,  H01L21/6835 ,  H01L21/6836 ,  H01L23/3128 ,  H01L23/49816 ,  H01L23/49827 ,  H01L23/49833 ,  H01L23/5385 ,  H01L24/73 ,  H01L24/94 ,  H01L24/97 ,  H01L25/03 ,  H01L25/50 ,  H01L2221/68327 ,  H01L2221/68331 ,  H01L2221/6834 ,  H01L2221/68381 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/04042 ,  H01L2224/0557 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/06181 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/1703 ,  H01L2224/32145 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2224/94 ,  H01L2224/97 ,  H01L2225/0651 ,  H01L2225/06513 ,  H01L2225/06541 ,  H01L2225/06565 ,  H01L2225/06568 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/15331 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/351 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2224/81 ,  H01L2224/03 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/05552

Abstract: 一种方法，包括将半导体管芯附接在晶圆的第一面上，将第一顶部封装件附接在晶圆的第一面上以及将第二顶部封装件附接在晶圆的第一面上。方法进一步包括将封装层沉积在晶圆的第一面上方，其中，第一顶部封装件和第二顶部封装件嵌入到封装层中，对晶圆的第二面施加减薄工艺，将晶圆切割成多个芯片封装件以及将芯片封装件附接至衬底。本发明还提供了形成叠层封装结构的方法。

公开(公告)号：CN103137578B

公开(公告)日：2017-06-09

申请号：CN201210472509.7

申请日：2012-11-20

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金志澈 ,  裴镇权 ,  崔美那 ,  黄熙情

IPC: H01L23/467 ,  H01L23/31 ,  H05K7/20

CPC classification number: H01L23/467 ,  G06F1/203 ,  H01L23/043 ,  H01L23/3128 ,  H01L24/16 ,  H01L24/32 ,  H01L24/48 ,  H01L24/73 ,  H01L25/0657 ,  H01L25/105 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/32145 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/32245 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/73253 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2225/0651 ,  H01L2225/06565 ,  H01L2225/1023 ,  H01L2225/1058 ,  H01L2225/1094 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/15331 ,  H01L2924/16151 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/1816 ,  H05K7/20136 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/45099 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2924/207

Abstract: 本发明涉及一种可用于移动装置的半导体封装件，其包括：其中包括导电布线并且在其后表面上包括接触端子的电路板；放置在电路板的前表面上并且电连接到导电布线的集成电路芯片；包括至少一个开口的覆盖件，其覆盖集成电路芯片以使得围绕集成电路芯片提供一个流动空间，并且所述开口与流动空间连通；以及放置在覆盖件上的气流生成器，其用来生成通过流动空间和开口的强制气流，从而通过强制气流把来自集成电路芯片的热量从半导体封装件耗散出去。

公开(公告)号：CN106711131A

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201610730201.6

申请日：2016-08-26

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 高金福 ,  符策忠 ,  林俊成

IPC: H01L25/065 ,  H01L23/48 ,  H01L21/98

CPC classification number: H01L25/0657 ,  H01L21/76898 ,  H01L24/05 ,  H01L24/08 ,  H01L24/11 ,  H01L24/13 ,  H01L24/16 ,  H01L24/29 ,  H01L24/32 ,  H01L24/73 ,  H01L24/80 ,  H01L24/81 ,  H01L24/83 ,  H01L24/92 ,  H01L25/50 ,  H01L2224/04 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05557 ,  H01L2224/05638 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/05687 ,  H01L2224/0569 ,  H01L2224/08145 ,  H01L2224/1161 ,  H01L2224/11616 ,  H01L2224/11831 ,  H01L2224/13009 ,  H01L2224/13019 ,  H01L2224/13124 ,  H01L2224/13147 ,  H01L2224/13184 ,  H01L2224/1601 ,  H01L2224/16012 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/16146 ,  H01L2224/2919 ,  H01L2224/32145 ,  H01L2224/73201 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/80075 ,  H01L2224/80203 ,  H01L2224/80896 ,  H01L2224/8101 ,  H01L2224/81011 ,  H01L2224/81012 ,  H01L2224/81022 ,  H01L2224/81075 ,  H01L2224/81203 ,  H01L2224/81895 ,  H01L2224/83075 ,  H01L2224/83104 ,  H01L2224/83191 ,  H01L2224/83203 ,  H01L2224/9211 ,  H01L2224/94 ,  H01L2225/06513 ,  H01L2225/06544 ,  H01L2225/06565 ,  H01L2924/1434 ,  H01L2924/3511 ,  H01L2224/81 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/05442 ,  H01L2924/05042 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/07025 ,  H01L2224/83 ,  H01L2224/80 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2224/08 ,  H01L2224/16 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供了一种半导体封装件，该半导体封装件包括具有第一连接表面的第一器件、至少部分地从第一连接表面突出的第一导电组件、具有面向第一连接表面的第二连接表面的第二器件和至少从第二连接表面暴露出的第二导电组件。第一导电组件和第二导电组件形成具有第一喙的接头。第一喙指向第一连接表面或第二连接表面。本发明的实施例还涉及半导体封装件的形成方法。

公开(公告)号：CN106601692A

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201610881602.1

申请日：2016-10-09

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金淳范

IPC: H01L23/29 ,  H01L23/31 ,  H01L21/56

CPC classification number: H01L23/3135 ,  H01L21/568 ,  H01L23/29 ,  H01L23/3128 ,  H01L23/49838 ,  H01L24/13 ,  H01L24/16 ,  H01L24/17 ,  H01L24/19 ,  H01L24/48 ,  H01L24/96 ,  H01L24/97 ,  H01L25/0657 ,  H01L25/105 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/04042 ,  H01L2224/04105 ,  H01L2224/0557 ,  H01L2224/06181 ,  H01L2224/12105 ,  H01L2224/131 ,  H01L2224/13111 ,  H01L2224/13139 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/17181 ,  H01L2224/19 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2225/06513 ,  H01L2225/06517 ,  H01L2225/06541 ,  H01L2225/06544 ,  H01L2225/06555 ,  H01L2225/06565 ,  H01L2225/06582 ,  H01L2225/1023 ,  H01L2225/1035 ,  H01L2225/1058 ,  H01L2225/107 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/1431 ,  H01L2924/1434 ,  H01L2924/15174 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/15331 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/1815 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2224/45099 ,  H01L23/3114 ,  H01L21/56 ,  H01L23/295

Abstract: 公开了一种半导体封装件、一种半导体模块及一种制造半导体封装件的方法。半导体封装件可包括基底、半导体芯片、连接端子、成型层和保护层。保护层可被设置为覆盖基底、连接端子和成型层。保护层可从连接端子的下部去除，因此，可暴露连接端子的下部。连接端子可通过下部结合到模块基底，因此，可制造半导体模块。由于保护层的存在，因此可防止连接端子、基底和成型层暴露至外面的空气或湿气。

公开(公告)号：CN103779324B

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201210552430.5

申请日：2012-12-18

Applicant: 南亚科技股份有限公司

Inventor： 林柏均

IPC: H01L23/538 ,  H01L21/768

CPC classification number: H01L21/76898 ,  H01L21/486 ,  H01L23/481 ,  H01L25/043 ,  H01L25/0657 ,  H01L25/074 ,  H01L25/0756 ,  H01L25/117 ,  H01L2225/06513 ,  H01L2225/06544 ,  H01L2225/06565 ,  H01L2225/06593 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明公开了一种由多个基底叠合而成的穿硅孔堆叠结构，其中每个基底都包含多个渐缩式的穿硅孔，每个渐缩式穿硅孔较粗的一端会具有一凹部，较细的一端则从基底中凸出，基底会以其每个渐缩式穿硅孔的较细端装入另一渐缩式穿硅孔式的较粗端对应凹部中并与其接合的方式来逐一堆叠。

公开(公告)号：CN104081516B

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201280068297.4

申请日：2012-12-28

Applicant: NEPES ,  株式会社

Inventor： 权容台 ,  李俊奎

IPC: H01L23/28 ,  H01L23/12 ,  H01L23/48

CPC classification number: H01L23/5389 ,  H01L21/565 ,  H01L23/3128 ,  H01L24/19 ,  H01L24/24 ,  H01L24/82 ,  H01L25/0657 ,  H01L2224/02372 ,  H01L2224/02375 ,  H01L2224/02379 ,  H01L2224/0345 ,  H01L2224/0346 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/04105 ,  H01L2224/05548 ,  H01L2224/05624 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/06182 ,  H01L2224/1134 ,  H01L2224/12105 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/24 ,  H01L2224/82 ,  H01L2225/06513 ,  H01L2225/06517 ,  H01L2225/06527 ,  H01L2225/06541 ,  H01L2225/06548 ,  H01L2225/06565 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/18162 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00014

Abstract: 本发明提供一种堆叠型半导体封装，其堆叠有不同大小的半导体芯片。本发明一个实施例的堆叠型半导体封装包括第一半导体芯片结构体和第二半导体芯片结构体，所述第一半导体芯片结构体包括：第一半导体芯片；第一成型层，包围所述第一半导体芯片；及第一贯通电极，贯通所述第一成型层，与所述第一半导体芯片电连接，所述第二半导体芯片结构体相对于所述第一半导体芯片结构体垂直堆叠，并包括：第二半导体芯片；及第二贯通电极，与所述第一贯通电极电连接，其中，所述第一半导体芯片结构体和所述第二半导体芯片结构体具有相同大小。

公开(公告)号：CN103782383B

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201280043482.8

申请日：2012-07-10

Applicant: 泰塞拉公司

Inventor： 理查德·德威特·克里斯普 ,  贝尔加桑·哈巴 ,  韦勒·佐尼

IPC: H01L25/065 ,  G11C5/06

CPC classification number: H01L23/48 ,  G11C5/06 ,  H01L23/3128 ,  H01L24/06 ,  H01L24/13 ,  H01L24/29 ,  H01L24/48 ,  H01L24/50 ,  H01L24/73 ,  H01L24/86 ,  H01L25/0652 ,  H01L25/0655 ,  H01L25/0657 ,  H01L25/18 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05554 ,  H01L2224/06135 ,  H01L2224/06136 ,  H01L2224/12105 ,  H01L2224/13024 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/291 ,  H01L2224/2919 ,  H01L2224/29193 ,  H01L2224/32145 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/48011 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/4824 ,  H01L2224/73203 ,  H01L2224/73215 ,  H01L2224/73253 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2225/06506 ,  H01L2225/0651 ,  H01L2225/06517 ,  H01L2225/06541 ,  H01L2225/06562 ,  H01L2225/06565 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/1203 ,  H01L2924/1205 ,  H01L2924/1431 ,  H01L2924/1432 ,  H01L2924/1433 ,  H01L2924/14335 ,  H01L2924/1434 ,  H01L2924/1436 ,  H01L2924/1438 ,  H01L2924/1443 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/15312 ,  H01L2924/15313 ,  H01L2924/157 ,  H01L2924/15786 ,  H01L2924/15787 ,  H01L2924/15788 ,  H01L2924/1579 ,  H01L2924/18161 ,  H01L2924/18165 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/19105 ,  H01L2924/19106 ,  H01L2924/30107 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/3025 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2224/45099 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2924/207

Abstract: 一种微电子封装(10)，可以具有设置在其面少一个外部部件，例如电路板(70)。第一微电子元件(12)和第二微电子元件(14)可以附接至其中的封装结构(30)。第一电连接件(51A、40A、74A)可以从封装(10)的各个端子(36A)延伸到第一微电子元件(12)上的相应触点(20A)，第二电连接件(53A、40B、52A)可以从各个端子(36A)延伸到第二微电子元件(14)上的相应触点(26A)，第一微电子元件和第二微电子元件构造为使得通过第一连接件和第二连接件承载的各个信号在各个端子和联接至各个端子的每个相应触点(20A、26A)之间经历相同持续时间的传播延迟。(32)处的多个端子(36)，端子(36)构造为连接至

公开(公告)号：CN104064486B

公开(公告)日：2017-01-18

申请号：CN201310361600.6

申请日：2013-08-19

Applicant: 株式会社 ,  东芝

Inventor： 佐藤隆夫 ,  福田昌利

IPC: H01L21/603

CPC classification number: H01L25/50 ,  H01L21/568 ,  H01L23/3128 ,  H01L23/544 ,  H01L24/02 ,  H01L24/05 ,  H01L24/13 ,  H01L24/16 ,  H01L24/17 ,  H01L24/29 ,  H01L24/30 ,  H01L24/32 ,  H01L24/81 ,  H01L24/83 ,  H01L25/0657 ,  H01L25/074 ,  H01L25/18 ,  H01L2223/54453 ,  H01L2223/54486 ,  H01L2224/023 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05073 ,  H01L2224/05082 ,  H01L2224/05155 ,  H01L2224/05164 ,  H01L2224/05569 ,  H01L2224/05611 ,  H01L2224/05644 ,  H01L2224/13 ,  H01L2224/13024 ,  H01L2224/131 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/16146 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/17181 ,  H01L2224/2919 ,  H01L2224/3012 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/81065 ,  H01L2224/81132 ,  H01L2224/81815 ,  H01L2224/81907 ,  H01L2224/83132 ,  H01L2224/83862 ,  H01L2225/06513 ,  H01L2225/06517 ,  H01L2225/06541 ,  H01L2225/06565 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00012

Abstract: 本发明提供切断面良好且安装容易并能够实现小型化的层叠型半导体装置及其制造方法。该方法特征是，包括：在第一基板上在同一平面上排列并粘接多个第一层的半导体芯片的工序；在所述半导体芯片上分别层叠至少一层以上的半导体芯片的工序；将所述第一基板切断而分离成各芯片层叠体的工序；进行对位以使在芯片层叠体的表面形成的电极焊盘部与第二基板的电极焊盘部互相对准，而对置地暂时连接的工序；将第二基板以及芯片层叠体整体回流焊以将电极焊盘部间电连接的工序；从芯片层叠体的第一基板侧沿层叠体供给液状树脂以对各半导体芯片间以及芯片层叠体与第二基板间进行树脂密封的工序；和从芯片层叠体的第二基板侧用切割刀片进行切断而个片化的工序。