半导体器件的测试装置以及测试方法

    公开(公告)号:CN1841693A

    公开(公告)日:2006-10-04

    申请号:CN200510103957.X

    申请日:2005-09-16

    CPC classification number: G01R31/2887

    Abstract: 本发明提出一种测试装置,其能够通过从半导体器件的背面将半导体器件按压到接触器上,对多个半导体器件中的任一个进行测试。测试电路板具有接触器,该接触器设有与待测试的半导体器件的外部连接端子对应的接触片。支撑板能够将半导体器件以对齐的状态安装在该支撑板上。工作台支撑该支撑板。按压头按压所述支撑板上安装的待测试的半导体器件,以使待测试的半导体器件的外部连接端子与接触器的接触片相接触。该工作台可移动到使安装在该支撑板上的至少一个待测试的半导体器件面对该接触器的位置。

    测试半导体器件的探针卡及半导体器件测试方法

    公开(公告)号:CN1192422C

    公开(公告)日:2005-03-09

    申请号:CN99124343.9

    申请日:1999-11-24

    Inventor: 丸山茂幸

    CPC classification number: G01R1/0408 G01R1/07314 G01R31/2831

    Abstract: 本发明涉及测试形成有多个芯片和CSP(芯片尺寸封装)的晶片级的每个芯片上的半导体器件的探针卡和测试方法。探针卡的特征在于,包括:柔性接触板,按预定布局设置于接触板上的多个接触电极,设置于接触板上各电极组之间的刚性基片,其上具有暴露接触电极形成区的接触板的小孔,设置于接触板上与接触电极连接的布线。该探针卡的优点是,在测试晶片级芯片和CSP时,总是可以实现每个芯片和CSP电极焊盘的良好接触。

Patent Agency Ranking