公开(公告)号：CN1290169C

公开(公告)日：2006-12-13

申请号：CN03120223.3

申请日：2003-03-07

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 丸山茂幸 ,  福田惠介 ,  渡边直行 ,  熊田原巧 ,  松下直久 ,  今门正幸 ,  玉木京平 ,  野澤宏

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R1/0675 ,  G01R1/06733 ,  G01R1/07342 ,  G01R3/00

Abstract: 通过对由导电材料构成的接触电极照射激光束，成型具有具有预定形状的接触电极。在将接触端相对侧的、每个接触电极的端部接合到接触板上后，可以照射激光束，以使接触电极变形，从而使接触端位于预定位置。在加热或冷却激光束照射部分对面的接触电极部分时，照射激光束。

公开(公告)号：CN1476068A

公开(公告)日：2004-02-18

申请号：CN03120223.3

申请日：2003-03-07

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 丸山茂幸 ,  福田惠介 ,  渡边直行 ,  熊田原巧 ,  松下直久 ,  今门正幸 ,  玉木京平 ,  野澤宏

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R1/0675 ,  G01R1/06733 ,  G01R1/07342 ,  G01R3/00

Abstract: 通过对由导电材料构成的接触电极照射激光束，成型具有具有预定形状的接触电极。在将接触端相对侧的、每个接触电极的端部接合到接触板上后，可以照射激光束，以使接触电极变形，从而使接触端位于预定位置。在加热或冷却激光束照射部分对面的接触电极部分时，照射激光束。