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公开(公告)号：CN115586594A
公开(公告)日：2023-01-10
申请号：CN202211310587.7
申请日：2022-10-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 紫外宽带高反射色散镜结构，由下到上依次为基底层、紫外高反射金属层、类Gires‑Tournois腔、啁啾色散层、表面增透层；色散镜结构的基本表达式为：S代表基底，C代表紫外高反射金属层，G代表类Gires‑Tournois腔，代表啁啾色散层(aj
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公开(公告)号：CN112229854B
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202010916390.2
申请日：2020-09-03
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明提出了一种球面光学元件表面缺陷测量装置和测量方法，利用照明反射光和表面缺陷产生的散射光的偏振特性的差异，去除照明反射光对表面缺陷暗场成像的影响，在准直照明条件下，即可实现不同曲率半径光学元件表面缺陷检测，无需因球面光学元件的曲率改变而调整照明光源，也不需要复杂的光学设计来实现不同程度聚焦照明光。结合抛光液等污染性缺陷的光致发光效应，实现对球面光学元件表面残留的抛光液等缺陷的原位同步检测。提出了一种结合位置探测器的原位反射式球面定心光路结构，球面光学元件无需在定心系统和测量系统之间移动，避免了运动定位误差，结构简单方便。
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公开(公告)号：CN115097663A
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202210691873.6
申请日：2022-06-17
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02F1/13 , G02F1/133 , G02F1/1335
Abstract: 一种补偿连续激光工作下液晶可变延迟器相位调控特性变化的方法，包括连续激光激光器、探测激光器、第一起偏器、液晶可变延迟器、交流电压输出源、第二检偏器、第一功率计、第二功率计、计算机。所述探测激光器与所述连续激光激光器的输出波长相同。该方法通过探测激光的功率变化在线实时测量连续激光作用下对液晶可变延迟器相位调控特性的影响并通过减小交流电压补偿这一影响。该方法简单易行，可以补偿不同激光参数作用对液晶可变延迟器相位调控特性的影响。
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公开(公告)号：CN115074688A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202210837040.6
申请日：2022-07-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种低应力自支撑金属薄膜滤片及其制备方法，该薄膜滤片膜系结构为：B/[A/B]^n或A/B/[A/B]^(n‑1)/A，其中，A表示主层材料，在所述滤片工作的透射波段具有较弱的吸收特性，B表示辅助层材料，n表示周期结构[A/B]循环次数，所述周期结构的周期厚度为D，D＝dA+dB，其中，dA为主层材料A的膜厚，dB为辅助层材料B的膜厚，每个周期中主层材料A的膜厚与周期厚度D的比值Г范围为0.5‑0.99。本发明相比于单层膜滤片和三明治结构滤片，薄膜综合应力下降50‑80％，微米量级尺寸的砂眼数量减少3‑5倍，且在脱膜过程中不易发生破损，使自支撑金属薄膜滤片的制备成功率提升了25‑75％。
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公开(公告)号：CN114965369A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210377804.8
申请日：2022-04-06
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种掩模基板表面微纳缺陷检测装置和检测方法，该装置采用双方位角斜入射和垂直入射照明，本发明通过反射物镜高效收集不同散射角下的表面缺陷散射信号，提高缺陷探测灵敏度。本发明通过分别采集斜入射照明下的缺陷散射图像和垂直照明下的缺陷散射图像，比较表面缺陷在不同照明方式下的散射信号差异可以判别缺陷的类型，提高检测准确性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111202497B
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202010017917.8
申请日：2020-01-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: A61B5/00
Abstract: 一种基于微偏振片阵列的散射成像皮肤病变检测装置，包括光源、会聚透镜、宽带可调谐滤波器、起偏器、准直器、玻璃片、耦合剂、样品、位移平台、第一成像镜头、微偏振片阵列、第一相机、第二成像镜头、衰减片、第二相机和计算机。本发明结构简单，无需机械旋转机构。通过单次成像和计算即可得到高对比度的偏振度图像。实现了实时动态检测，避免了在检测过程中，活体的移动导致的测量误差。照明波段可以快速连续切换，实现了多波段近实时测量，以凸显不同组织特征。
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公开(公告)号：CN114778078A
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202210275149.5
申请日：2022-03-18
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明提供了一种高斯光斑空间强度峰值自动化寻址方法和装置，光电探测器前加装小口径光阑，用以细分测量的光束，X‑Z二维运动平台由步进电机带动，步进电机由运动控制卡控制。让光阑靠近光斑中心，设定步进电机的运动起点、方向及步长；每移动一个步长后光电探测器测量一次光强信号，记录位置坐标及对应的光电探测器信号，对得到的信号强度与坐标数据做出高斯拟合曲线，得到此方向高斯光斑峰值强度对应的坐标xmax；固定x方向坐标xmax，对z方向进行数据采集，将得到的数据拟合之后即获得该方向上的峰值坐标zmax；将光电探测器移至(xmax，zmax)即为高斯光斑的峰值位置。本发明可高效准确地获取高斯光斑峰值位置坐标。
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公开(公告)号：CN112666641B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202110062472.X
申请日：2021-01-18
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种宽带低色散啁啾镜结构的设计方法，初始膜系结构为：其中S表示基底，H和L分别代表光学厚度为λ/4的高低折射率材料，为底部高反射膜层，m1为高反射膜层的周期数，为对称的周期啁啾层，an为啁啾层系数，m2为周期啁啾层周期数，A为空气。本发明通过在高反膜层结构的低色散镜上加入周期啁啾层，使得不同波长在膜层内穿透过相同的光学厚度后同时反射，即通过给予所有波长相同的群延迟时间(groupdelay，GD)，而使得群延迟色散(groupdelaydispersion，GDD)为零，同样实现了低色散效果。通过调整参数m1，an和m2，可调控不同带宽内的群延迟时间和反射率。宽带低色散啁啾镜有效提升了介质膜的低色散带宽，对于超快激光技术的发展具有最重要的意义。
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公开(公告)号：CN114464336A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202210089312.9
申请日：2022-01-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明涉及一种金属网格支撑结构、多层膜透射滤光元件及制备，所述支撑结构包括金属网格(1)和填充物(2)，所述金属网格(1)中规则分布圆柱形通孔(3)，所述填充物(2)填充在通孔(3)中。所述多层膜透射滤光元件包括金属网格(1)以及镀覆在金属网格(1)上的多层膜(5)。与现有技术相比，本发明的金属网格结构稳定且易于制备，有效提高多层膜滤光元件的通光面积占比，优化过滤性能，更有利于极紫外和X射线波段的透射率。同时，多层膜结构有效的改善应力和表面针孔结构的存在，有效提升机械性能和环境稳定性。
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公开(公告)号：CN114428057A
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN202210038701.9
申请日：2022-01-13
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种材料宽谱吸收特性测量装置和测量方法，该装置包括宽谱泵浦光路和探测光路。本发明采用常用的高功率宽谱照明光源实现材料在宽波段范围内的吸收光谱直接测量，显著降低成本。解决了泵浦光束聚焦后光斑中心空洞的问题。基于声光调制，并通过光束调控获得强单色泵浦光，提高了光源使用效率，增强了探测信号强度，提升了系统的吸收测量灵敏度和信噪比。
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