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公开(公告)号：CN113203680B
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202110382141.4
申请日：2021-04-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于表面热透镜技术测量薄膜元件及体材料热扩散率的装置和方法，包括泵浦光激光器、泵浦光路功率调节部件、斩波器、泵浦光路反射镜、泵浦光路透镜、透镜二维位移平台、待测样、样品二维位移平台、探测光激光器、探测光路功率调节部件、探测光路反射镜、探测光路透镜、光阑、探测器、探测器二维位移平台、计算机、锁相放大器。本发明通过光热信号的相位与探测距离之间的关系，以及热扩散长度与调制频率的关系计算出薄膜材料的热扩散率。本发明可有效实现对薄膜元件及体材料的热扩散率测量。
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公开(公告)号：CN113203680A
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202110382141.4
申请日：2021-04-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于表面热透镜技术测量薄膜元件及体材料热扩散率的装置和方法，包括泵浦光激光器、泵浦光路功率调节部件、斩波器、泵浦光路反射镜、泵浦光路透镜、透镜二维位移平台、待测样、样品二维位移平台、探测光激光器、探测光路功率调节部件、探测光路反射镜、探测光路透镜、光阑、探测器、探测器二维位移平台、计算机、锁相放大器。本发明通过光热信号的相位与探测距离之间的关系，以及热扩散长度与调制频率的关系计算出薄膜材料的热扩散率。本发明可有效实现对薄膜元件及体材料的热扩散率测量。
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公开(公告)号：CN111238773A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010064738.X
申请日：2020-01-20
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种高分辨激光输出功率变化量监测装置与方法，包括斩波器、第一光电探测器、第二光电探测器、楔形片和锁相放大器。本发明利用光电探测器分别接收两束光并转换为电压信号后输入到所述的锁相放大器，并做差分运算后测量差值信号大小，另外所述的斩波器的同步信号输入锁相放大器作为参考信号。本发明可有效实现监测激光输出功率变化量，显著提高监测分辨率。
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公开(公告)号：CN114778078B
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202210275149.5
申请日：2022-03-18
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明提供了一种高斯光斑空间强度峰值自动化寻址方法和装置，光电探测器前加装小口径光阑，用以细分测量的光束，X‑Z二维运动平台由步进电机带动，步进电机由运动控制卡控制。让光阑靠近光斑中心，设定步进电机的运动起点、方向及步长；每移动一个步长后光电探测器测量一次光强信号，记录位置坐标及对应的光电探测器信号，对得到的信号强度与坐标数据做出高斯拟合曲线，得到此方向高斯光斑峰值强度对应的坐标xmax；固定x方向坐标xmax，对z方向进行数据采集，将得到的数据拟合之后即获得该方向上的峰值坐标zmax；将光电探测器移至(xmax，zmax)即为高斯光斑的峰值位置。本发明可高效准确地获取高斯光斑峰值位置坐标。
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公开(公告)号：CN114113207B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202111342499.0
申请日：2021-11-12
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N25/20
Abstract: 一种光学材料热扩散系数的测量方法，所用的装置包括激光控制单元，连续激光器，红外热像仪，计算机，真空腔装置和样品夹持装置；测试中使用连续激光束作为热源加热光学材料，由红外热像仪采集光学材料表面温度分布数据，由不同时间点的温度场分布计算相应热扩散长度，进一步通过热扩散长度与热扩散系数之间的关系可求解材料的热扩散系数。本发明的加热方式是非接触式，减小了接触热阻带来的影响；采用红外热成像记录温度场分布，具有瞬时性及同步性等特点，并结合热扩散长度的定义来推算热扩散系数，无需等待材料达到稳态温度分布。本发明具有高效、便捷等优点，同时直流热源以及真空环境的引入也可极大提高测量准确性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114778078A
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202210275149.5
申请日：2022-03-18
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明提供了一种高斯光斑空间强度峰值自动化寻址方法和装置，光电探测器前加装小口径光阑，用以细分测量的光束，X‑Z二维运动平台由步进电机带动，步进电机由运动控制卡控制。让光阑靠近光斑中心，设定步进电机的运动起点、方向及步长；每移动一个步长后光电探测器测量一次光强信号，记录位置坐标及对应的光电探测器信号，对得到的信号强度与坐标数据做出高斯拟合曲线，得到此方向高斯光斑峰值强度对应的坐标xmax；固定x方向坐标xmax，对z方向进行数据采集，将得到的数据拟合之后即获得该方向上的峰值坐标zmax；将光电探测器移至(xmax，zmax)即为高斯光斑的峰值位置。本发明可高效准确地获取高斯光斑峰值位置坐标。
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公开(公告)号：CN114113207A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111342499.0
申请日：2021-11-12
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N25/20
Abstract: 一种光学材料热扩散系数的测量方法，所用的装置包括激光控制单元，连续激光器，红外热像仪，计算机，真空腔装置和样品夹持装置；测试中使用连续激光束作为热源加热光学材料，由红外热像仪采集光学材料表面温度分布数据，由不同时间点的温度场分布计算相应热扩散长度，进一步通过热扩散长度与热扩散系数之间的关系可求解材料的热扩散系数。本发明的加热方式是非接触式，减小了接触热阻带来的影响；采用红外热成像记录温度场分布，具有瞬时性及同步性等特点，并结合热扩散长度的定义来推算热扩散系数，无需等待材料达到稳态温度分布。本发明具有高效、便捷等优点，同时直流热源以及真空环境的引入也可极大提高测量准确性。
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公开(公告)号：CN112229605A
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN202011003266.3
申请日：2020-09-22
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种测量光学元器件反射率与透射率的装置和方法，包括锁相放大器、激光器、斩波器、楔形片、测试光路探测器、空测光路探测器微调平台、参考光路探测器、参考光路探测器微调平台、样品夹具及测试光路探测器微调平台。本发明方法可通过锁相放大器得到参考信号值、空测时参考光与测试光的信号差值以及有样品时参考光与测试光的信号差值，由此计算出光学元器件的反射率与透射率。本发明可有效实现对超高反射率与透射率光学元器件的测量，提高反射率和透射率的测量精度。
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