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公开(公告)号：CN117518321A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311748343.1
申请日：2023-12-18
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种多层膜反射镜，所述反射镜包括基底、设置在所述基底上的打底层和设置在所述打底层上的多周期X/配体/Y层；所述多周期X/配体/Y层包括多个层叠设置的单周期X/配体/Y层；所述单周期X/配体/Y层包括依次层叠设置的X层、配体层和Y层；所述配体层的材质为具有选自醛基、羰基、羧基、氨基、碳碳双键、碳氮双键、氰基、偶氮基和硼酸基中的一种或多种基团的化合物。本发明利用配体抑制多层膜反射镜中的界面混合，减少界面粗糙度，提高反射镜的反射率及长期使用稳定性。本发明工艺简易，且兼容薄膜溅射工艺，适合于批量生产。
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公开(公告)号：CN111722311B
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN202010729510.8
申请日：2020-07-27
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 复合功能色散镜结构，其中色散镜结构由下到上依次为基底、增透结构单元、色散补偿结构单元，其中增透结构单元包括增透腔和第一高反层，色散补偿结构单元包括G‑T腔和第二高反层，基本表达式：G/[(HxL)^m(HL)^a]^p[(HyL)^n(HL)^b]^q。本发明通过增透结构单元取代标准镜的高反射膜层，G‑T腔与增透腔形成串联形式，调节G‑T腔和增透腔的周期数以及腔厚度，设计不同色散量、反射率以及带宽的高色散镜，并且作为谐振腔的输出镜，能够在实现泵浦波长高透的同时，在激光响应波段保持一定的反射率且具备色散补偿功能，结构更加简单紧凑。
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公开(公告)号：CN111580205A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN202010488461.3
申请日：2020-06-02
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B5/18
Abstract: 一种适用于54度～62度入射使用的宽谱脉宽压缩光栅，包括衬底以及所述衬底上的弦形光栅结构。所述弦形光栅结构的外形轮廓可由特定公式进行定义。所述的弦形光栅结构包括光敏材料光栅层和覆盖在光敏材料光栅层上的金属层。所述光栅的周期Λ为600～750纳米，占空比f1为0.4～1。所述弦形光栅层结构的槽深h为170～260纳米。所述金属层材料为金或者银(Au/Ag)，其厚度为100～220纳米。本发明的光栅中心波长为910纳米，在入射角θ为大角度54度～62度入射时，光栅的TM偏振光的-1级衍射效率在200纳米(810～1010纳米)以上带宽范围内大于90％。本发明中的脉宽压缩光栅在拍瓦级啁啾脉冲压缩技术中具有重要的实用价值。
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公开(公告)号：CN111251217A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010170308.6
申请日：2020-03-12
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: B25B11/00
Abstract: 一种大尺寸光学元件的镀膜夹具及装夹方法，所述的镀膜夹具包括框架结构和方形支撑结构，方形支撑结构四边各由支撑板、缓冲条、加强筋、定位块和螺栓组成，加强筋、缓冲条、支撑板和定位块设有多个螺栓通孔，框架结构内侧面具有多个螺栓通孔和多个凹槽，多个凹槽分别位于方形支撑结构其中一组对边的外侧，将螺栓旋入四边的加强筋、缓冲条、支撑板和框架结构的螺栓通孔，用于支撑待镀膜的大尺寸光学元件，将螺栓旋入定位块、缓冲条、支撑板和框架结构，对待镀膜的大尺寸光学元件夹持定位，形成一个整体，框架结构外框尺寸与镀膜夹具盘内框一致，正好放置于镀膜夹具盘中。本发明可以与机械手配合使用进行装夹，可以提升大尺寸光学元件的波面质量。
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公开(公告)号：CN118342705A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202310059844.2
申请日：2023-01-13
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种自支撑薄膜滤片的脱膜系统及脱膜方法，包括固定装置、夹装装置和排液装置。固定装置采用安装环，夹装装置采用单面卡槽，排液装置采用带有细孔滤板的排液漏斗。立式脱膜平衡了脱膜过程中膜面两侧流体对薄膜的影响，使得液面下降过程中，膜面两侧所受外力始终保持动态对称从而实现平衡抵消，同时有效避免了液面张力变化产生的不利影响。夹装装置采用单面夹持卡槽和底部镂空的设计，使得滤片基底能够均匀溶解并迅速脱落。排液过程中，具备细密孔眼的滤板减缓了液流，以保护薄膜不受液流扰动的影响。相比于传统的漂浮法脱膜方式，本发明减少了人为操作，同时降低了溶液扰动，具有更好的可控性和抗干扰性，提升了自支撑薄膜滤片的制备成功率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111580205B
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN202010488461.3
申请日：2020-06-02
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B5/18
Abstract: 一种适用于54度～62度入射使用的宽谱脉宽压缩光栅，包括衬底以及所述衬底上的弦形光栅结构。所述弦形光栅结构的外形轮廓可由特定公式进行定义。所述的弦形光栅结构包括光敏材料光栅层和覆盖在光敏材料光栅层上的金属层。所述光栅的周期Λ为600～750纳米，占空比f1为0.4～1。所述弦形光栅层结构的槽深h为170～260纳米。所述金属层材料为金或者银(Au/Ag)，其厚度为100～220纳米。本发明的光栅中心波长为910纳米，在入射角θ为大角度54度～62度入射时，光栅的TM偏振光的‑1级衍射效率在200纳米(810～1010纳米)以上带宽范围内大于90％。本发明中的脉宽压缩光栅在拍瓦级啁啾脉冲压缩技术中具有重要的实用价值。
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公开(公告)号：CN112946796A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201911268711.6
申请日：2019-12-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明提出一种宽带高反射高阈值低色散镜及其设计方法，宽带高反射高阈值低色散镜的结构为G/M/C/A，其中G代表基底层，M代表金属膜层，C代表介质膜层，A代表空气层，所述介质膜层由单层介质薄膜材料构成或者由低折射率的介质薄膜材料和高折射率的介质薄膜材料交替堆叠而成。本发明利用金属宽反射带宽和优异的色散特性，结合介质膜反射率高、抗激光破坏能力强的特点，通过调整介质膜层数和厚度，可调控不同带宽范围内的色散和反射率，从而设计出满足超快激光系统中用于脉冲传输的宽带高反射高阈值低色散镜。
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公开(公告)号：CN112666641A
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN202110062472.X
申请日：2021-01-18
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种宽带低色散啁啾镜结构的设计方法，初始膜系结构为：其中S表示基底，H和L分别代表光学厚度为λ/4的高低折射率材料，为底部高反射膜层，m1为高反射膜层的周期数，为对称的周期啁啾层，an为啁啾层系数，m2为周期啁啾层周期数，A为空气。本发明通过在高反膜层结构的低色散镜上加入周期啁啾层，使得不同波长在膜层内穿透过相同的光学厚度后同时反射，即通过给予所有波长相同的群延迟时间(groupdelay，GD)，而使得群延迟色散(groupdelaydispersion，GDD)为零，同样实现了低色散效果。通过调整参数m1，an和m2，可调控不同带宽内的群延迟时间和反射率。宽带低色散啁啾镜有效提升了介质膜的低色散带宽，对于超快激光技术的发展具有最重要的意义。
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公开(公告)号：CN111251217B
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN202010170308.6
申请日：2020-03-12
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: B25B11/00
Abstract: 一种大尺寸光学元件的镀膜夹具及装夹方法，所述的镀膜夹具包括框架结构和方形支撑结构，方形支撑结构四边各由支撑板、缓冲条、加强筋、定位块和螺栓组成，加强筋、缓冲条、支撑板和定位块设有多个螺栓通孔，框架结构内侧面具有多个螺栓通孔和多个凹槽，多个凹槽分别位于方形支撑结构其中一组对边的外侧，将螺栓旋入四边的加强筋、缓冲条、支撑板和框架结构的螺栓通孔，用于支撑待镀膜的大尺寸光学元件，将螺栓旋入定位块、缓冲条、支撑板和框架结构，对待镀膜的大尺寸光学元件夹持定位，形成一个整体，框架结构外框尺寸与镀膜夹具盘内框一致，正好放置于镀膜夹具盘中。本发明可以与机械手配合使用进行装夹，可以提升大尺寸光学元件的波面质量。
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公开(公告)号：CN111286700A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN202010190180.X
申请日：2020-03-18
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于混合物单层膜的光学镀膜元件面形补偿方法，同时利用电子束双源共蒸技术和离子束辅助沉积技术，在基底的非镀膜或者在镀膜后面形较凹的待镀膜面沉积离子束辅助混合物单层膜，形成折射率与基底相同的光学虚设层来调谐镀膜元件面形。本发明能够对沉积在任意折射率基底上的镀膜元件进行面形补偿，减少镀膜引起的波面的质量下降，且不影响镀膜元件的光谱性能，该方法对单面镀膜和双面镀膜元件均适用。
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