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公开(公告)号：CN118342705A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202310059844.2
申请日：2023-01-13
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种自支撑薄膜滤片的脱膜系统及脱膜方法，包括固定装置、夹装装置和排液装置。固定装置采用安装环，夹装装置采用单面卡槽，排液装置采用带有细孔滤板的排液漏斗。立式脱膜平衡了脱膜过程中膜面两侧流体对薄膜的影响，使得液面下降过程中，膜面两侧所受外力始终保持动态对称从而实现平衡抵消，同时有效避免了液面张力变化产生的不利影响。夹装装置采用单面夹持卡槽和底部镂空的设计，使得滤片基底能够均匀溶解并迅速脱落。排液过程中，具备细密孔眼的滤板减缓了液流，以保护薄膜不受液流扰动的影响。相比于传统的漂浮法脱膜方式，本发明减少了人为操作，同时降低了溶液扰动，具有更好的可控性和抗干扰性，提升了自支撑薄膜滤片的制备成功率。
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公开(公告)号：CN115074688B
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202210837040.6
申请日：2022-07-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种低应力自支撑金属薄膜滤片及其制备方法，该薄膜滤片膜系结构为：B/[A/B]^n或A/B/[A/B]^(n‑1)/A，其中，A表示主层材料，在所述滤片工作的透射波段具有较弱的吸收特性，B表示辅助层材料，n表示周期结构[A/B]循环次数，所述周期结构的周期厚度为D，D＝dA+dB，其中，dA为主层材料A的膜厚，dB为辅助层材料B的膜厚，每个周期中主层材料A的膜厚与周期厚度D的比值Г范围为0.5‑0.99。本发明相比于单层膜滤片和三明治结构滤片，薄膜综合应力下降50‑80％，微米量级尺寸的砂眼数量减少3‑5倍，且在脱膜过程中不易发生破损，使自支撑金属薄膜滤片的制备成功率提升了25‑75％。
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公开(公告)号：CN115074688A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202210837040.6
申请日：2022-07-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种低应力自支撑金属薄膜滤片及其制备方法，该薄膜滤片膜系结构为：B/[A/B]^n或A/B/[A/B]^(n‑1)/A，其中，A表示主层材料，在所述滤片工作的透射波段具有较弱的吸收特性，B表示辅助层材料，n表示周期结构[A/B]循环次数，所述周期结构的周期厚度为D，D＝dA+dB，其中，dA为主层材料A的膜厚，dB为辅助层材料B的膜厚，每个周期中主层材料A的膜厚与周期厚度D的比值Г范围为0.5‑0.99。本发明相比于单层膜滤片和三明治结构滤片，薄膜综合应力下降50‑80％，微米量级尺寸的砂眼数量减少3‑5倍，且在脱膜过程中不易发生破损，使自支撑金属薄膜滤片的制备成功率提升了25‑75％。
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公开(公告)号：CN219114577U
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202320123604.X
申请日：2023-01-13
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种自支撑薄膜滤片的脱膜系统，包括固定装置、夹装装置和排液装置。固定装置采用安装环，夹装装置采用单面卡槽，排液装置采用带有细孔滤板的排液漏斗。立式脱膜平衡了脱膜过程中膜面两侧流体对薄膜的影响，使得液面下降过程中，膜面两侧所受外力始终保持动态对称从而实现平衡抵消，同时有效避免了液面张力变化产生的不利影响。夹装装置采用单面夹持卡槽和底部镂空的设计，使得滤片基底能够均匀溶解并迅速脱落。排液过程中，具备细密孔眼的滤板减缓了液流，以保护薄膜不受液流扰动的影响。相比于传统的漂浮法脱膜方式，本实用新型减少了人为操作，同时降低了溶液扰动，具有更好的可控性和抗干扰性，提升了自支撑薄膜滤片的制备成功率。
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