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公开(公告)号:CN117289733A
公开(公告)日:2023-12-26
申请号:CN202311129835.2
申请日:2023-09-04
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种调控光学元件测量样品腔室内相对湿度的装置和方法。本装置通过调控干燥气体和高湿气体的流量比例,形成特定所需湿度的混合气体通入光学元件测量样品腔室中,以实现对光学元件测量样品腔室内相对湿度的有效调控。本发明可以持续稳定的调控光学元件测量样品腔室的相对湿度,具备操作简单、稳定性高且通用性强的优点。
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公开(公告)号:CN115961262A
公开(公告)日:2023-04-14
申请号:CN202211573425.2
申请日:2022-12-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明属于光学元件镀膜技术领域,揭示一种多面体转镜镀膜装夹装置,包括支架、轴承库、传动部分、从动部分、样品台;支架呈L型,一面与镀膜设备行星盘相连,另一面与轴承库侧面相抵;轴承库呈方型,顶部和两侧均设有深沟球轴承;传动部分有垂直传动轴、异形联轴器、传动扇形齿轮;从动部分有横向传动轴和从动扇形齿轮;传动扇形齿轮与从动扇形齿轮相互啮合;样品台有保护罩、多面体转镜和测试片夹具;横向传动轴贯穿从动扇形齿轮和轴承库连接样品台内的多面体转镜。当镀膜设备的行星盘高速转动时,经传动部分带动从动部分上样品台内的多面体转镜垂直360°转动,一次完成多面体转镜多个面全口径镀膜,有效提高转镜镀膜纵向与横向均匀性和效率。
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公开(公告)号:CN115714145A
公开(公告)日:2023-02-24
申请号:CN202211525172.1
申请日:2022-11-30
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01L31/0216 , H01L31/054
Abstract: 一种空间太阳能电池用可调谐多波长激光防护膜,用于空间太阳能电池防护玻璃盖板表面上,通过反射特定波长的高能激光,透过太阳能电池板工作波长来达到激光防护的目的,其基础膜系结构为:其中S代表基底,A代表入射介质,Hn和Ln分别代表光学厚度为四分之一中心波长的不同高低折射率材料,a1,b1至an,bn为低折射率材料系数,x1至xn为各防护波段反射腔的光学厚度系数,m1至mn为各防护波段反射腔的周期数。本发明利用多反射腔叠加组合方式实现多激光波段的空间防护,且不影响太阳能电池的工作效率,所用防护方法对于不同工作波段、多激光防护波段的线性激光防护窗口的设计具有普适性。
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公开(公告)号:CN112697400B
公开(公告)日:2023-01-20
申请号:CN202011457387.5
申请日:2020-12-10
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种元件激光损伤阈值的测试方法,旨在提高元件的激光损伤测试效率;本发明以微透镜阵列取代传统透镜进行激光损伤测试,可运用于传统1‑on‑1激光损伤测试也可用于S‑on‑1激光损伤测试。本发明可大幅度缩短元件激光损伤测试时间,可快速获得元件的抗激光损伤阈值,本发明适用于激光元器件抗激光损伤性能测试。
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公开(公告)号:CN115586594A
公开(公告)日:2023-01-10
申请号:CN202211310587.7
申请日:2022-10-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 紫外宽带高反射色散镜结构,由下到上依次为基底层、紫外高反射金属层、类Gires‑Tournois腔、啁啾色散层、表面增透层;色散镜结构的基本表达式为:S代表基底,C代表紫外高反射金属层,G代表类Gires‑Tournois腔,代表啁啾色散层(aj
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公开(公告)号:CN112666641B
公开(公告)日:2022-06-28
申请号:CN202110062472.X
申请日:2021-01-18
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种宽带低色散啁啾镜结构的设计方法,初始膜系结构为:其中S表示基底,H和L分别代表光学厚度为λ/4的高低折射率材料,为底部高反射膜层,m1为高反射膜层的周期数,为对称的周期啁啾层,an为啁啾层系数,m2为周期啁啾层周期数,A为空气。本发明通过在高反膜层结构的低色散镜上加入周期啁啾层,使得不同波长在膜层内穿透过相同的光学厚度后同时反射,即通过给予所有波长相同的群延迟时间(groupdelay,GD),而使得群延迟色散(groupdelaydispersion,GDD)为零,同样实现了低色散效果。通过调整参数m1,an和m2,可调控不同带宽内的群延迟时间和反射率。宽带低色散啁啾镜有效提升了介质膜的低色散带宽,对于超快激光技术的发展具有最重要的意义。
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公开(公告)号:CN112327478B
公开(公告)日:2022-04-05
申请号:CN202011317467.0
申请日:2020-11-23
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种提升超快激光薄膜性能的多参数综合优化膜系设计方法,基于现有的局部优化算法和针式优化算法,结合了局部优化算法的高效性和针式优化算法的准确性,提出了更适用于色散镜设计的综合优化法。该方法交叉性的使用局部优化算法和针式优化算法,并且通过薄层优化和厚层优化对评价函数产生扰动,有效避免在自动优化过程中出现不符合实际制备工艺要求的膜层结构。采用综合优化法能够在要求波段内设计出高反射、低色散振荡的色散镜,并且自动消除极薄层和极厚层,极大的降低了膜层的制备难度。
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公开(公告)号:CN113186492A
公开(公告)日:2021-07-30
申请号:CN202110412689.9
申请日:2021-04-16
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种抑制氧化铪薄膜折射率非均匀性的方法,在制备含有氧化铪膜层的多层光学薄膜时,镀制氧化铪的同时掺入氧化硅材料一同镀制形成氧化铪‑氧化硅混合膜层,抑制纯氧化铪膜层的折射率非均匀性,进而改善由于氧化铪膜层折射率非均匀性导致多层光学薄膜的光学性能下降问题。
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公开(公告)号:CN112267098A
公开(公告)日:2021-01-26
申请号:CN202010928969.0
申请日:2020-09-07
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明属于光学薄膜技术领域,具体涉及空间激光薄膜制备方法。该方法提出一种制备空间激光薄膜的全流程技术方案,包括去除基底表面污染物和亚表面缺陷、增加抗辐照保护层,基底上镀膜,明确了各环节的技术方案和实现途径,使用本发明制备的薄膜,基底表面及亚表面缺陷大大减少,薄膜折射率可达到体材料水平,在大气‑真空环境下光谱偏移小,也不易受到空间粒子辐照的影响,并且具有较高的激光损伤阈值,改善了常规激光薄膜不适用于空间环境的情况。
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