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公开(公告)号：CN113721313B
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN202110918058.4
申请日：2021-08-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种低吸收低热畸变薄膜及其制备方法，包括基础膜系选择、膜系优化、基板的超声清洗、基板的真空离子束清洗、离子束溅射制备薄膜、退火后处理；将膜系分为低吸收控制层和低热畸变控制层两部分分别优化的膜系优化方法，并通过镀膜前的基板处理及镀膜后的退火后处理降低薄膜内部的吸收性缺陷，使用双离子束溅射的沉积方式并通过沉积过程中的参数调控进一步改善薄膜的热畸变。本发明可以在整个工艺流程上获得和保障反射率大于99.995％的高反射膜，同时与普通工艺制备出的薄膜相比吸收降低99％。采用本发明制备出的薄膜在长时间工作下损耗低，具有工艺重复性好、可控性强、可靠性高等优点，适用于引力波探测、激光陀螺等高精度测量和高稳定性光学系统的使用。
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公开(公告)号：CN112267098B
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202010928969.0
申请日：2020-09-07
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明属于光学薄膜技术领域，具体涉及空间激光薄膜制备方法。该方法提出一种制备空间激光薄膜的全流程技术方案，包括去除基底表面污染物和亚表面缺陷、增加抗辐照保护层，基底上镀膜，明确了各环节的技术方案和实现途径，使用本发明制备的薄膜，基底表面及亚表面缺陷大大减少，薄膜折射率可达到体材料水平，在大气‑真空环境下光谱偏移小，也不易受到空间粒子辐照的影响，并且具有较高的激光损伤阈值，改善了常规激光薄膜不适用于空间环境的情况。
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公开(公告)号：CN112733375A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN202110056317.7
申请日：2021-01-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G06F30/20
Abstract: 一种基于多波长效应下的薄膜元件时域动态电场仿真方法，包括：计算单波长的时域动态电场，测试实际入射的激光脉宽和光谱，在波长域上对各频率分量的时域电场进行叠加。本方法能够弥补传统膜系设计软件电场计算的不足，准确得到薄膜元件在超短激光脉冲作用下的实际电场分布，为后续设计高抗损伤性能的薄膜元件提供了有效的分析模型。
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公开(公告)号：CN111999912A
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN202010870803.8
申请日：2020-08-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种折射率可调谐薄膜结构及其制备方法。通过在单层膜表面刻蚀周期性微结构形成折射率可调谐薄膜结构，其结构由下而上依次是致密膜层和周期性微结构膜层，致密膜层的折射率等于薄膜材料自身折射率，周期性微结构膜层的折射率与微结构参数相关。表面微结构相当于一个折射系数连续变化的介质层，介质层的等效折射系数小于薄膜材料折射率，通过调控介质层的等效折射率即可调控薄膜的整体折射率。制备方法包括：(1)基底表面镀制薄膜；(2)清洁膜面，在膜面上旋涂光刻胶；(3)采用双光束干涉对样品进行曝光；(4)显影得到所需的掩膜图样；(5)采用反应离子束刻蚀技术将掩膜图样转移至薄膜上；(6)清洁刻蚀产生的残留物。本发明通过调控薄膜中的纳米微结构高度、占空比来控制空气在薄膜中的占比，从而做到薄膜材料的折射率可调控。本发明具备极宽的折射率调控范围(从空气层折射率到薄膜材料自身折射率)，且工艺简单，可重复强。
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公开(公告)号：CN115714145A
公开(公告)日：2023-02-24
申请号：CN202211525172.1
申请日：2022-11-30
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01L31/0216 , H01L31/054
Abstract: 一种空间太阳能电池用可调谐多波长激光防护膜，用于空间太阳能电池防护玻璃盖板表面上，通过反射特定波长的高能激光，透过太阳能电池板工作波长来达到激光防护的目的，其基础膜系结构为：其中S代表基底，A代表入射介质，Hn和Ln分别代表光学厚度为四分之一中心波长的不同高低折射率材料，a1,b1至an,bn为低折射率材料系数，x1至xn为各防护波段反射腔的光学厚度系数，m1至mn为各防护波段反射腔的周期数。本发明利用多反射腔叠加组合方式实现多激光波段的空间防护，且不影响太阳能电池的工作效率，所用防护方法对于不同工作波段、多激光防护波段的线性激光防护窗口的设计具有普适性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115586594A
公开(公告)日：2023-01-10
申请号：CN202211310587.7
申请日：2022-10-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 紫外宽带高反射色散镜结构，由下到上依次为基底层、紫外高反射金属层、类Gires‑Tournois腔、啁啾色散层、表面增透层；色散镜结构的基本表达式为：S代表基底，C代表紫外高反射金属层，G代表类Gires‑Tournois腔，代表啁啾色散层(aj
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公开(公告)号：CN112666641B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202110062472.X
申请日：2021-01-18
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种宽带低色散啁啾镜结构的设计方法，初始膜系结构为：其中S表示基底，H和L分别代表光学厚度为λ/4的高低折射率材料，为底部高反射膜层，m1为高反射膜层的周期数，为对称的周期啁啾层，an为啁啾层系数，m2为周期啁啾层周期数，A为空气。本发明通过在高反膜层结构的低色散镜上加入周期啁啾层，使得不同波长在膜层内穿透过相同的光学厚度后同时反射，即通过给予所有波长相同的群延迟时间(groupdelay，GD)，而使得群延迟色散(groupdelaydispersion，GDD)为零，同样实现了低色散效果。通过调整参数m1，an和m2，可调控不同带宽内的群延迟时间和反射率。宽带低色散啁啾镜有效提升了介质膜的低色散带宽，对于超快激光技术的发展具有最重要的意义。
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公开(公告)号：CN112327478B
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202011317467.0
申请日：2020-11-23
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种提升超快激光薄膜性能的多参数综合优化膜系设计方法，基于现有的局部优化算法和针式优化算法，结合了局部优化算法的高效性和针式优化算法的准确性，提出了更适用于色散镜设计的综合优化法。该方法交叉性的使用局部优化算法和针式优化算法，并且通过薄层优化和厚层优化对评价函数产生扰动，有效避免在自动优化过程中出现不符合实际制备工艺要求的膜层结构。采用综合优化法能够在要求波段内设计出高反射、低色散振荡的色散镜，并且自动消除极薄层和极厚层，极大的降低了膜层的制备难度。
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公开(公告)号：CN112267098A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN202010928969.0
申请日：2020-09-07
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明属于光学薄膜技术领域，具体涉及空间激光薄膜制备方法。该方法提出一种制备空间激光薄膜的全流程技术方案，包括去除基底表面污染物和亚表面缺陷、增加抗辐照保护层，基底上镀膜，明确了各环节的技术方案和实现途径，使用本发明制备的薄膜，基底表面及亚表面缺陷大大减少，薄膜折射率可达到体材料水平，在大气‑真空环境下光谱偏移小，也不易受到空间粒子辐照的影响，并且具有较高的激光损伤阈值，改善了常规激光薄膜不适用于空间环境的情况。
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公开(公告)号：CN111142178A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN202010064010.7
申请日：2020-01-20
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明提出一种微结构低振荡背部镀膜啁啾镜，其结构为A/M/G/C，其中A代表空气层，M代表增透微结构，G代表基底，C代表啁啾膜系。所述基底材料的折射率与啁啾膜系中的低折射率材料接近，所述的啁啾介质膜系结构由高低折射率材料交替沉积组成。本发明在基底表面刻蚀增透微结构，降低光损耗，并且结合阻抗匹配原理，将啁啾膜系镀制在基底背面，利用基底的折射率与啁啾膜系中低折射率材料的折射率相接近的性质，降低群延迟色散振荡。从而设计出满足超快激光系统中的用于脉冲压缩展宽的低振荡色散镜。
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