-
公开(公告)号：CN116893048A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202310901392.8
申请日：2023-07-21
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02 , G01B9/02002
Abstract: 一种中红外宽光谱激光干涉仪，其构成包括标准反射镜、待测透镜、标准透射镜、准直镜组、分光镜、分光棱镜、孔径光阑、成像镜组、红外探测器、探测器移动导轨、对点光屏、激光器、计算机。本发明结构简单，可实现较高冷阑效率；本发明中准直镜组与成像镜组均由三片独立的单透镜构成，两者所使用材料相同，可对3μm～5μm波段内任一波长处激光进行干涉测量，并实现在工作波段内的超消色差。本发明属于多波长平面激光干涉仪，可实现在多种波长下，对凸面或凹面光学元件的波前参数进行高精度测量。
-
公开(公告)号：CN114486199B
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202210105134.4
申请日：2022-01-28
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种空间光调制器相位调制量标定装置和标定方法，装置包括波长调谐激光器、空间滤波器、准直镜、线偏振片、分束器、参考镜、待测空间光调制器、反射镜、成像镜头组、相机和计算机。本发明可对纯相位型液晶空间光调制器的相位调制量进行标定，误差优于2π/200。使用本发明标定的液晶空间光调制器可调制出误差峰谷值小于等于λ/20的波前，从而达到高精度波面补偿的效果。本发明可应用于基于液晶空间光调制器的波前校正、波前补偿和自适应光学等领域。
-
公开(公告)号：CN112229854B
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202010916390.2
申请日：2020-09-03
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明提出了一种球面光学元件表面缺陷测量装置和测量方法，利用照明反射光和表面缺陷产生的散射光的偏振特性的差异，去除照明反射光对表面缺陷暗场成像的影响，在准直照明条件下，即可实现不同曲率半径光学元件表面缺陷检测，无需因球面光学元件的曲率改变而调整照明光源，也不需要复杂的光学设计来实现不同程度聚焦照明光。结合抛光液等污染性缺陷的光致发光效应，实现对球面光学元件表面残留的抛光液等缺陷的原位同步检测。提出了一种结合位置探测器的原位反射式球面定心光路结构，球面光学元件无需在定心系统和测量系统之间移动，避免了运动定位误差，结构简单方便。
-
公开(公告)号：CN114965369A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210377804.8
申请日：2022-04-06
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种掩模基板表面微纳缺陷检测装置和检测方法，该装置采用双方位角斜入射和垂直入射照明，本发明通过反射物镜高效收集不同散射角下的表面缺陷散射信号，提高缺陷探测灵敏度。本发明通过分别采集斜入射照明下的缺陷散射图像和垂直照明下的缺陷散射图像，比较表面缺陷在不同照明方式下的散射信号差异可以判别缺陷的类型，提高检测准确性。
-
公开(公告)号：CN111202497B
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202010017917.8
申请日：2020-01-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: A61B5/00
Abstract: 一种基于微偏振片阵列的散射成像皮肤病变检测装置，包括光源、会聚透镜、宽带可调谐滤波器、起偏器、准直器、玻璃片、耦合剂、样品、位移平台、第一成像镜头、微偏振片阵列、第一相机、第二成像镜头、衰减片、第二相机和计算机。本发明结构简单，无需机械旋转机构。通过单次成像和计算即可得到高对比度的偏振度图像。实现了实时动态检测，避免了在检测过程中，活体的移动导致的测量误差。照明波段可以快速连续切换，实现了多波段近实时测量，以凸显不同组织特征。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114486199A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202210105134.4
申请日：2022-01-28
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种空间光调制器相位调制量标定装置和标定方法，装置包括波长调谐激光器、空间滤波器、准直镜、线偏振片、分束器、参考镜、待测空间光调制器、反射镜、成像镜头组、相机和计算机。本发明可对纯相位型液晶空间光调制器的相位调制量进行标定，误差优于2π/200。使用本发明标定的液晶空间光调制器可调制出误差峰谷值小于等于λ/20的波前，从而达到高精度波面补偿的效果。本发明可应用于基于液晶空间光调制器的波前校正、波前补偿和自适应光学等领域。
-
公开(公告)号：CN114428057A
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN202210038701.9
申请日：2022-01-13
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种材料宽谱吸收特性测量装置和测量方法，该装置包括宽谱泵浦光路和探测光路。本发明采用常用的高功率宽谱照明光源实现材料在宽波段范围内的吸收光谱直接测量，显著降低成本。解决了泵浦光束聚焦后光斑中心空洞的问题。基于声光调制，并通过光束调控获得强单色泵浦光，提高了光源使用效率，增强了探测信号强度，提升了系统的吸收测量灵敏度和信噪比。
-
公开(公告)号：CN112229854A
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN202010916390.2
申请日：2020-09-03
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明提出了一种球面光学元件表面缺陷测量装置和测量方法，利用照明反射光和表面缺陷产生的散射光的偏振特性的差异，去除照明反射光对表面缺陷暗场成像的影响，在准直照明条件下，即可实现不同曲率半径光学元件表面缺陷检测，无需因球面光学元件的曲率改变而调整照明光源，也不需要复杂的光学设计来实现不同程度聚焦照明光。结合抛光液等污染性缺陷的光致发光效应，实现对球面光学元件表面残留的抛光液等缺陷的原位同步检测。提出了一种结合位置探测器的原位反射式球面定心光路结构，球面光学元件无需在定心系统和测量系统之间移动，避免了运动定位误差，结构简单方便。
-
公开(公告)号：CN109798849B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201910116649.2
申请日：2019-02-14
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B11/27
Abstract: 一种倍频晶体定轴误差测量装置及测量方法，该装置包括：激光器、孔径光阑、激光隔离器、格兰激光棱镜、光挡、第一分光板、平面反射镜、第一激光自准直仪、第一旋转台、第二分光板、第一能量计、分光棱镜、待测倍频晶体、第二旋转台、第二能量计、直角棱镜、校准倍频晶体、第三旋转台、第三能量计和第二激光自准直仪。本发明装置通过获取待测倍频晶体和校准倍频晶体的倍频转换效率同步调谐曲线，从而计算待测倍频晶体光轴与校准晶体倍频光轴之间的角度差，即待测倍频晶体的定轴误差。本发明的测量精度较高，相对测量误差优于1″。
-
公开(公告)号：CN107219241B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201710312948.4
申请日：2017-05-05
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N23/083
Abstract: 一种原位时间分辨X射线吸收谱的测量装置和方法。测量装置主要包括X射线源、第一狭缝、声光X射线滤波器、射频发射器、第二狭缝、前电离室、前电离室信号放大器、待测样品、后电离室、后电离室信号放大器、数据采集器和计算机等部分。X射线源、声光X射线滤波器和射频发射器用于产生单色X光束，前电离室用于测量X光束穿过样品前的强度，后电离室用于测量X光束穿过样品后的强度，前电离室信号放大器、后电离室信号放大器、数据采集器和计算机用于数据采集和数据处理。本发明在测量过程中不存在任何机械部件的运动，因而可实现X射线吸收谱的时间分辨测量，此外对X射线吸收谱具有较高的测量精度。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
144
records
(took 0.048 seconds)
