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公开(公告)号:CN114428057A
公开(公告)日:2022-05-03
申请号:CN202210038701.9
申请日:2022-01-13
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种材料宽谱吸收特性测量装置和测量方法,该装置包括宽谱泵浦光路和探测光路。本发明采用常用的高功率宽谱照明光源实现材料在宽波段范围内的吸收光谱直接测量,显著降低成本。解决了泵浦光束聚焦后光斑中心空洞的问题。基于声光调制,并通过光束调控获得强单色泵浦光,提高了光源使用效率,增强了探测信号强度,提升了系统的吸收测量灵敏度和信噪比。
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公开(公告)号:CN114428057B
公开(公告)日:2024-04-12
申请号:CN202210038701.9
申请日:2022-01-13
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种材料宽谱吸收特性测量装置和测量方法,该装置包括宽谱泵浦光路和探测光路。本发明采用常用的高功率宽谱照明光源实现材料在宽波段范围内的吸收光谱直接测量,显著降低成本。解决了泵浦光束聚焦后光斑中心空洞的问题。基于声光调制,并通过光束调控获得强单色泵浦光,提高了光源使用效率,增强了探测信号强度,提升了系统的吸收测量灵敏度和信噪比。
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公开(公告)号:CN117074372A
公开(公告)日:2023-11-17
申请号:CN202311090278.8
申请日:2023-08-28
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N21/63
Abstract: 一种高分辨光热显微测量装置和测量方法,该装置采用环形泵浦垂直聚焦激发光热效应,同侧同轴光纤探针形成纳米尺度探测光源,同轴后向较强散射探测信号对称高效收集和前向透射探测信号收集,环形泵浦聚焦避免了强透射泵浦光进入透射物镜对探测信号产生寄生效应。本发明实现了空间分辨率在10nm~100nm的高分辨高灵敏度光热吸收探测,且对透明样品和不透明样品均可测量。
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公开(公告)号:CN113884505B
公开(公告)日:2024-04-12
申请号:CN202111019953.9
申请日:2021-09-01
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种球面元件表面缺陷散射探测装置和测量方法,利用球面元件的轴对称性,通过球面元件快速旋转和散射暗场探测实现全口径快速高灵敏度测量。通过在不同方位角设置光电探测器采集表面缺陷的散射光,提升了对不同方向的线状表面缺陷探测能力。本发明实现了原位球面元件定中调节和表面缺陷测量,避免了分离调节测量引起的定位误差,同时避免了已有的暗场成像测量系统结构和光源调节的复杂性。
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公开(公告)号:CN113884505A
公开(公告)日:2022-01-04
申请号:CN202111019953.9
申请日:2021-09-01
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种球面元件表面缺陷散射探测装置和测量方法,利用球面元件的轴对称性,通过球面元件快速旋转和散射暗场探测实现全口径快速高灵敏度测量。通过在不同方位角设置光电探测器采集表面缺陷的散射光,提升了对不同方向的线状表面缺陷探测能力。本发明实现了原位球面元件定中调节和表面缺陷测量,避免了分离调节测量引起的定位误差,同时避免了已有的暗场成像测量系统结构和光源调节的复杂性。
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