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公开(公告)号：CN117817868A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202311636238.9
申请日：2023-12-01
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海恒益光学精密机械有限公司
Abstract: 一种用于KDP和DKDP晶体线切割机的切削液恒温循环供给装置，包括L型的控制箱和嵌入在该控制箱内的切削液箱；在切削液箱的上方设有循环泵，用于抽取切削液，该循环泵外接进液管路，切削液箱通过隔板分为沉淀区和供给区，且沉淀区经过滤板分为上下二层，排液管道伸入至所述沉淀区的下层；切削液箱内切削液初始为装满状态，循环泵将切削液送往进液管道，进液管道直达DKDP晶体切割机的前端需要切削液冲淋的位置，切削液冲淋过后，经过排液管道回到切削液箱的沉淀区内，其中较大的杂质会通过重力的作用沉淀下去，切削液中小的杂质会被所述过滤板过滤掉，然后到达供给区。本发明具有升温速率快，切削液供给质量稳定，切削液的温度可调，切削液可循环使用。
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公开(公告)号：CN117719084A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202311636242.5
申请日：2023-12-01
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海恒益光学精密机械有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于KDP和DKDP晶体线切割机的机床线轮装置，所述装置包括左安装板、左安装架、顶部安装架、右安装架、右安装板以及若干线轮等。与本发明在切割KDP和DKDP晶体时，起到增大传动效率，减少线轮磨损，减小运转时线的抖动的作用。本发明通过张力控制系统，提高KDP和DKDP晶体切割时的稳定性，且切割的张力控制可调节，可以提高切割出的KDP和DKDP晶体切割面平整度，采用气缸提供的稳定气推力输出，可以避免或减少金刚石线在切割时的振动。
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公开(公告)号：CN113714859B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202111019961.3
申请日：2021-09-01
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海恒益光学精密机械有限公司
Abstract: 本发明涉及光学数控加工领域，具体为一种小磨头抛光机类光学平面加工非球面的方法，解决了三轴联动小磨头无法实现高精度加工非球面的问题，提升了这类小磨头抛光机的利用率。本发明主要利用被加工元件矢高较小，抛光头可贴合元件表面，再利用坐标变换将测量高点位置精确转换到类平面去除位置，实现收敛加工。经多次迭代抛光，可最终实现非球面元件的加工。
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公开(公告)号：CN115008343B
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202210645502.4
申请日：2022-06-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种柔性抛光轴，包括悬臂支架、驱动机构和工件环。悬臂支架包括伺服电缸、浮动接头、接头支架、移动台面、滑块(2对)、导轨、悬臂座和固定卡。驱动机构包括锁紧气缸、气缸安装板、支撑柱(4根)、直驱旋转电机、方形轴、电机安装板、拉杆、连接卡和法兰轴。工件环包括花键套、环盖、外环、限位销、花键、花键限位片、万向联轴器、配重盘和内环。工件环通过花键安装于所述的驱动机构方形轴上。驱动机构通过电机安装板安装于所述的悬臂支架移动台面上。悬臂座，由防锈性好、耐腐蚀性的不锈钢拼接焊接而成。方形轴，采用芯部具有强度的材料，且表面镀硬铬，并在热处理后校直和修磨。花键和花键套，应具有线性精度和旋转精度，满足线性移动和回转扭矩的传递。配重盘和内环，应根据抛光对象的尺寸进行换型。本发明适用于集成度高的精密超薄光学镜片的抛光加工。
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公开(公告)号：CN116750980A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202310843212.5
申请日：2023-07-10
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种具有光滑表面和高损伤阈值熔石英元件的加工方法，包括：对熔石英坯料的切割、铣磨成型、等离子体深刻蚀、等离子体浅刻蚀和离子束抛光进行后处理抛光。本发明全工艺加工过程采用非接触式加工，基于非接触式的等离子体刻蚀和离子束抛光处理工艺，直接对精密铣磨后的熔石英坯料进行组合加工，获得具有光滑表面和高损伤阈值的熔石英元件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114965369A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210377804.8
申请日：2022-04-06
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种掩模基板表面微纳缺陷检测装置和检测方法，该装置采用双方位角斜入射和垂直入射照明，本发明通过反射物镜高效收集不同散射角下的表面缺陷散射信号，提高缺陷探测灵敏度。本发明通过分别采集斜入射照明下的缺陷散射图像和垂直照明下的缺陷散射图像，比较表面缺陷在不同照明方式下的散射信号差异可以判别缺陷的类型，提高检测准确性。
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公开(公告)号：CN114905371A
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202210627907.5
申请日：2022-05-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: B24B13/005 , B24B13/00
Abstract: 一种矩形光学元件侧面加工的柔性装置和加工方法，柔性装置由柔性夹具、高精度夹具座组成。加工方法包括待加工矩形光学元件的装夹、粗抛、精抛及相应的测量。本发明适用于矩形片状光学元件的加工。实现元件粗抛和精抛的一次性装夹，有效保证加工的效率和精度；双工位同时加工，极大缩短了加工周期；柔性夹具可根据待加工元件的楔角角度实现快速换型；采用精密大理石和陪抛片，陪抛片与所述的待加工矩形光学元件的材质相同，有效保证了加工过程的稳定性。本发明适用于矩形片状光学元件高效、稳定、高精度、低成本的光学研抛，尤其适用于带有一定楔角的光学元件侧面或小平面的粗抛和精抛加工。
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公开(公告)号：CN114392607A
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202210045990.5
申请日：2022-01-14
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: B01D36/02 , B01D35/18 , B01D35/143
Abstract: 一种光学加工中的抛光液循环过滤装置，包括：液箱部分、出液部分和过滤部分。液箱部分包括：抛光液箱体、自吸泵、搅拌泵和液位计。出液部分包括：管路、三通阀、安全阀、出液单向阀、前道粗过滤器、前道精过滤器、调压阀、加热器、净水单向阀、净水开关阀和雾化喷头。过滤部分包括：后道粗过滤装置、导流槽、后道精过滤桶和溢流检测装置。抛光液箱体、管路、导流槽和后道精过滤桶的材质为不锈钢。本发明适用于光学镜片加工中粗抛和精抛的多工况使用，具有抛光液温度可控、雾化出液、精确过滤、自洁防积等特点。
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公开(公告)号：CN113714859A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202111019961.3
申请日：2021-09-01
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海恒益光学精密机械有限公司
Abstract: 本发明涉及光学数控加工领域，具体为一种小磨头抛光机类光学平面加工非球面的方法，解决了三轴联动小磨头无法实现高精度加工非球面的问题，提升了这类小磨头抛光机的利用率。本发明主要利用被加工元件矢高较小，抛光头可贴合元件表面，再利用坐标变换将测量高点位置精确转换到类平面去除位置，实现收敛加工。经多次迭代抛光，可最终实现非球面元件的加工。
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公开(公告)号：CN113592064A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202110756637.3
申请日：2021-07-05
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明提供了一种环抛机工艺参数预测方法及系统，方法包括：数据获取及预处理；构建双LSTM网络关联模型，对所述双LSTM网络关联模型进行训练；利用训练后的关联模型，得到加工参数期望数据，完成对环抛机工艺参数的预测，得到面形参数实际数据作为新的输入，对LSTM网络模型进行动态优化。同时提供了一种利用环抛机工艺参数预测方法实现的环抛机工位/工件调度方法，其中每一个加工工位均采用环抛机工艺参数预测方法，根据训练过程得到的专用预测模型，利用该模型分别完成工件/工位间交叉预测，根据预测数据完成环抛机工件/工位的优化调度。同时提供了一种终端及介质。本发明能够提升加工效率、减少人力成本。
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