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公开(公告)号：CN114875370A
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202210209576.3
申请日：2022-03-04
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于低表面能材料共溅射降低短波长多层膜界面宽度的方法，利用超高真空磁控溅射交替沉积纳米精度(AxM1‑x/B)^n多层膜材料，A和B分别代表高原子序数、低原子序数两种不同材料。采用M靶材和A靶材共溅射替代传统的单一高原子序数靶材A，靶材M为低表面能材料。低表面能材料M在镀膜过程充当催化剂，调整倾斜角度保证AxM1‑x膜层材料混合均匀，并有效抑制传统A和B材料交替镀膜时存在较大的界面混合情况。同时可以缓解由于高原子序数A材料容易结晶导致界面粗糙度大的问题。从而，降低了界面宽度，保证了多层膜的光谱性能和稳定性。该方法在制备极紫外、X射线和中子多层膜反射镜中具有重要的应用。
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公开(公告)号：CN118342705A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202310059844.2
申请日：2023-01-13
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种自支撑薄膜滤片的脱膜系统及脱膜方法，包括固定装置、夹装装置和排液装置。固定装置采用安装环，夹装装置采用单面卡槽，排液装置采用带有细孔滤板的排液漏斗。立式脱膜平衡了脱膜过程中膜面两侧流体对薄膜的影响，使得液面下降过程中，膜面两侧所受外力始终保持动态对称从而实现平衡抵消，同时有效避免了液面张力变化产生的不利影响。夹装装置采用单面夹持卡槽和底部镂空的设计，使得滤片基底能够均匀溶解并迅速脱落。排液过程中，具备细密孔眼的滤板减缓了液流，以保护薄膜不受液流扰动的影响。相比于传统的漂浮法脱膜方式，本发明减少了人为操作，同时降低了溶液扰动，具有更好的可控性和抗干扰性，提升了自支撑薄膜滤片的制备成功率。
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公开(公告)号：CN117518321A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311748343.1
申请日：2023-12-18
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种多层膜反射镜，所述反射镜包括基底、设置在所述基底上的打底层和设置在所述打底层上的多周期X/配体/Y层；所述多周期X/配体/Y层包括多个层叠设置的单周期X/配体/Y层；所述单周期X/配体/Y层包括依次层叠设置的X层、配体层和Y层；所述配体层的材质为具有选自醛基、羰基、羧基、氨基、碳碳双键、碳氮双键、氰基、偶氮基和硼酸基中的一种或多种基团的化合物。本发明利用配体抑制多层膜反射镜中的界面混合，减少界面粗糙度，提高反射镜的反射率及长期使用稳定性。本发明工艺简易，且兼容薄膜溅射工艺，适合于批量生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117784437A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202410089679.X
申请日：2024-01-22
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种薄膜分束镜及其制备方法。本发明的薄膜分束镜包括透射膜基底层和位于所述透射膜基底层上的反射膜，所述反射膜包括一个周期性X/Y层或多个层叠设置的周期性X/Y层，所述周期性X/Y层包括层叠设置的一层X层和一层Y层。本发明的薄膜分束镜的制备方法包括以下步骤：(1)在可溶性衬底上采用溅射镀膜的方式制备所述透射膜基底层；(2)在所述透射膜基底层上采用溅射镀膜的方式依次制备X层和Y层，可选地重复依次制备X层和Y层的过程，形成所述反射膜。本发明的薄膜分束镜制备方法具有简便、能够精准控制透射膜基底层的厚度进而获得精确的透/反射比的优点，且有潜力制得具备更大尺寸通光口径的分束镜。
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公开(公告)号：CN115074688A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202210837040.6
申请日：2022-07-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种低应力自支撑金属薄膜滤片及其制备方法，该薄膜滤片膜系结构为：B/[A/B]^n或A/B/[A/B]^(n‑1)/A，其中，A表示主层材料，在所述滤片工作的透射波段具有较弱的吸收特性，B表示辅助层材料，n表示周期结构[A/B]循环次数，所述周期结构的周期厚度为D，D＝dA+dB，其中，dA为主层材料A的膜厚，dB为辅助层材料B的膜厚，每个周期中主层材料A的膜厚与周期厚度D的比值Г范围为0.5‑0.99。本发明相比于单层膜滤片和三明治结构滤片，薄膜综合应力下降50‑80％，微米量级尺寸的砂眼数量减少3‑5倍，且在脱膜过程中不易发生破损，使自支撑金属薄膜滤片的制备成功率提升了25‑75％。
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公开(公告)号：CN114464336A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202210089312.9
申请日：2022-01-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明涉及一种金属网格支撑结构、多层膜透射滤光元件及制备，所述支撑结构包括金属网格(1)和填充物(2)，所述金属网格(1)中规则分布圆柱形通孔(3)，所述填充物(2)填充在通孔(3)中。所述多层膜透射滤光元件包括金属网格(1)以及镀覆在金属网格(1)上的多层膜(5)。与现有技术相比，本发明的金属网格结构稳定且易于制备，有效提高多层膜滤光元件的通光面积占比，优化过滤性能，更有利于极紫外和X射线波段的透射率。同时，多层膜结构有效的改善应力和表面针孔结构的存在，有效提升机械性能和环境稳定性。
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公开(公告)号：CN115074688B
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202210837040.6
申请日：2022-07-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种低应力自支撑金属薄膜滤片及其制备方法，该薄膜滤片膜系结构为：B/[A/B]^n或A/B/[A/B]^(n‑1)/A，其中，A表示主层材料，在所述滤片工作的透射波段具有较弱的吸收特性，B表示辅助层材料，n表示周期结构[A/B]循环次数，所述周期结构的周期厚度为D，D＝dA+dB，其中，dA为主层材料A的膜厚，dB为辅助层材料B的膜厚，每个周期中主层材料A的膜厚与周期厚度D的比值Г范围为0.5‑0.99。本发明相比于单层膜滤片和三明治结构滤片，薄膜综合应力下降50‑80％，微米量级尺寸的砂眼数量减少3‑5倍，且在脱膜过程中不易发生破损，使自支撑金属薄膜滤片的制备成功率提升了25‑75％。
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公开(公告)号：CN219114577U
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202320123604.X
申请日：2023-01-13
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种自支撑薄膜滤片的脱膜系统，包括固定装置、夹装装置和排液装置。固定装置采用安装环，夹装装置采用单面卡槽，排液装置采用带有细孔滤板的排液漏斗。立式脱膜平衡了脱膜过程中膜面两侧流体对薄膜的影响，使得液面下降过程中，膜面两侧所受外力始终保持动态对称从而实现平衡抵消，同时有效避免了液面张力变化产生的不利影响。夹装装置采用单面夹持卡槽和底部镂空的设计，使得滤片基底能够均匀溶解并迅速脱落。排液过程中，具备细密孔眼的滤板减缓了液流，以保护薄膜不受液流扰动的影响。相比于传统的漂浮法脱膜方式，本实用新型减少了人为操作，同时降低了溶液扰动，具有更好的可控性和抗干扰性，提升了自支撑薄膜滤片的制备成功率。
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