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公开(公告)号：CN118168770A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202410158207.5
申请日：2024-02-04
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种自由曲面确定性自适应零位干涉检测装置和方法，用于面形误差大偏离量的复杂光学曲面的快速自适应动态补偿测量。“面形误差大偏离量的复杂光学曲面”通常为处于粗抛光阶段的非球面和加工中的光学自由曲面等，它们的真实面形与理想面形之间的偏离量较大。本发明提出反向传播法对不完整干涉条纹进行确定性自适应优化，利用液晶空间光调制器的动态波前调制能力对被测自由曲面的面形残差进行动态波前补偿。基于本发明方法的装置测量速度快、通用性强、测量精度优于λ/4(PV)，能用于光学车间快速、批量检测。
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公开(公告)号：CN111426700B
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202010391287.0
申请日：2020-05-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海恒益光学精密机械有限公司
Abstract: 一种吸收性缺陷单光束光热测量装置和测量方法，该装置包括共光路型和非共光路型结构。本发明光路结构简单，便于安装调试。测量结果稳定，避免环境振动、样品倾斜导致的测量信号异常。通过探测光斑边缘的光束的功率变化，系统的测量灵敏度得到显著提升。
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公开(公告)号：CN110441309B
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN201910609670.6
申请日：2019-07-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N21/88
Abstract: 一种显微散射偏振成像表面缺陷测量装置和测量方法，该装置主要包括激光器、第一会聚透镜、旋转扩散器、第二会聚透镜、光阑、第三会聚透镜、针孔、第四会聚透镜、偏振片、半波片、偏振分束器、X‑Y位移平台、样品、显微镜头、四分之一波片、微偏振片阵列、相机和计算机。本发明采用微偏振片阵列实现表面缺陷实时显微散射偏振成像，通过计算偏振度图像，提升了超光滑元件表面缺陷探测的灵敏度，实现高反膜元件表面缺陷有效检测，能够满足米级大口径超光滑元件表面缺陷快速检测需求。
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公开(公告)号：CN109099859B
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN201811123643.X
申请日：2018-09-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种大口径光学元件表面缺陷三维形貌测量装置和方法。该装置主要包括瞬态干涉测量系统、俯仰偏摆姿态调节机构、激光位移传感器、XYZ精密位移平台、大口径平面光学元件、样品夹持装置、样品调平机构、计算机和隔振平台。本发明对大口径光学元件表面缺陷三维形貌能实现全口径快速扫描测量，深度测量分辨率达到亚纳米量级；能够准确识别区分表面缺陷的类型，提升了测量结果的可靠性。
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公开(公告)号：CN111426700A
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN202010391287.0
申请日：2020-05-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海恒益光学精密机械有限公司
Abstract: 一种吸收性缺陷单光束光热测量装置和测量方法，该装置包括共光路型和非共光路型结构。本发明光路结构简单，便于安装调试。测量结果稳定，避免环境振动、样品倾斜导致的测量信号异常。通过探测光斑边缘的光束的功率变化，系统的测量灵敏度得到显著提升。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108051443B
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201711168744.4
申请日：2017-11-21
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明提出了一种玻璃应力及缺陷的测量装置和测量方法。该装置包括固定在第一位移模块上的光源、偏振片、1/4波片、第一透镜、针孔和第二透镜；固定在第二位移模块上第三透镜、分束器、第四透镜、偏振相机、圆形挡板第五透镜和CCD相机，以及计算机。本发明不仅可以实现玻璃应力的快速动态测量，还可以实现玻璃缺陷的测量，从而解决了现有测量装置工作效率低、功能单一的问题，在玻璃的生产、加工和质检等领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN111202497A
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN202010017917.8
申请日：2020-01-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: A61B5/00
Abstract: 一种基于微偏振片阵列的散射成像皮肤病变检测装置，包括光源、会聚透镜、宽带可调谐滤波器、起偏器、准直器、玻璃片、耦合剂、样品、位移平台、第一成像镜头、微偏振片阵列、第一相机、第二成像镜头、衰减片、第二相机和计算机。本发明结构简单，无需机械旋转机构。通过单次成像和计算即可得到高对比度的偏振度图像。实现了实时动态检测，避免了在检测过程中，活体的移动导致的测量误差。照明波段可以快速连续切换，实现了多波段近实时测量，以凸显不同组织特征。
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公开(公告)号：CN107402195B
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201710558206.X
申请日：2017-07-10
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N21/59
Abstract: 一种测量半球形光学元件透射率及其均匀性的装置和方法，包括超连续谱激光器、单色器、光学衰减器、分束器、参考光探测器、光阑、多维机械调整架、待测半球形光学元件、步进电机控制器、测试光探测器、数据采集器和计算机等部分。本发明解决了传统方法难以准确测量半球形光学元件透射率及其均匀性的技术难题；并且测量点取样均匀，能真实反映半球光学元件透射率的均匀性；此外测量系统自动化程度高，能实现一键测量。
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公开(公告)号：CN107036554B
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201710380378.2
申请日：2017-05-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种平面光学元件绝对面形检测装置，主要包括激光干涉仪、扩束准直系统、透射镜二维调整系统、反射镜四维调整系统、3个平面光学元件夹具、3个平面光学元件、反射镜旋转电器控制系统等。本发明实现了平面光学元件面形绝对检测，实现了提高检测精度的目的，更能有标志性的评价加工水平，为加工精度的进一步提高提供指导意义。
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公开(公告)号：CN105928688B
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201610242396.X
申请日：2016-04-19
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种原位时间分辨光栅衍射效率光谱的测量装置,包括光源模块、参考光模块和测试光模块，光源模块为测试系统提供光源，参考光模块由凹面准直镜、标准参考光栅、凹面聚焦镜和线阵CCD探测器组成，用于测量参考光束的光谱参数；测试光模块由凹面准直镜、待测光栅、凹面聚焦镜和线阵CCD探测器组成，用于测量测试光束的光谱参数。本发明提高了光栅衍射效率光谱的测试速度，可以实现超快速的光栅衍射效率光谱的测量，可以应用于原位时间分辨光栅衍射效率光谱的测量环境中；在测量过程中，仪器的所有机械结构保持静止，测试系统因而具有较高的机械稳定性。
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