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公开(公告)号:CN112697400B
公开(公告)日:2023-01-20
申请号:CN202011457387.5
申请日:2020-12-10
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种元件激光损伤阈值的测试方法,旨在提高元件的激光损伤测试效率;本发明以微透镜阵列取代传统透镜进行激光损伤测试,可运用于传统1‑on‑1激光损伤测试也可用于S‑on‑1激光损伤测试。本发明可大幅度缩短元件激光损伤测试时间,可快速获得元件的抗激光损伤阈值,本发明适用于激光元器件抗激光损伤性能测试。
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公开(公告)号:CN115097663A
公开(公告)日:2022-09-23
申请号:CN202210691873.6
申请日:2022-06-17
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02F1/13 , G02F1/133 , G02F1/1335
Abstract: 一种补偿连续激光工作下液晶可变延迟器相位调控特性变化的方法,包括连续激光激光器、探测激光器、第一起偏器、液晶可变延迟器、交流电压输出源、第二检偏器、第一功率计、第二功率计、计算机。所述探测激光器与所述连续激光激光器的输出波长相同。该方法通过探测激光的功率变化在线实时测量连续激光作用下对液晶可变延迟器相位调控特性的影响并通过减小交流电压补偿这一影响。该方法简单易行,可以补偿不同激光参数作用对液晶可变延迟器相位调控特性的影响。
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公开(公告)号:CN113186492A
公开(公告)日:2021-07-30
申请号:CN202110412689.9
申请日:2021-04-16
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种抑制氧化铪薄膜折射率非均匀性的方法,在制备含有氧化铪膜层的多层光学薄膜时,镀制氧化铪的同时掺入氧化硅材料一同镀制形成氧化铪‑氧化硅混合膜层,抑制纯氧化铪膜层的折射率非均匀性,进而改善由于氧化铪膜层折射率非均匀性导致多层光学薄膜的光学性能下降问题。
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公开(公告)号:CN106835020B
公开(公告)日:2019-05-17
申请号:CN201710000723.5
申请日:2017-01-03
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种降低氧化铪‑氧化硅多层膜表面粗糙度的方法,使用HfO2‑SiO2混合膜层取代多层膜中每一层纯HfO2膜层,蒸镀完SiO2膜层后,电子束同时蒸发HfO2膜料和SiO2膜料,HfO2和SiO2膜料沉积速率的比例大于4:1。本发明能够大幅降低HfO2‑SiO2多层膜表面粗糙度,而且不会影响光谱和损伤阈值等性能。
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公开(公告)号:CN107099772A
公开(公告)日:2017-08-29
申请号:CN201710380376.3
申请日:2017-05-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
CPC classification number: C23C14/30 , C23C14/083 , C23C14/10 , C23C14/221 , C23C14/54
Abstract: 一种解决电子束沉积多层膜龟裂的临界层应力的调控方法,综合采用电子束沉积技术和离子束辅助沉积技术,采用离子束辅助沉积技术沉积应力临界层,采用电子束沉积技术沉积应力临界层之外的其他膜层。本发明能够解决电子束沉积较厚膜层时,因膜层张应力太大导致的膜层龟裂问题,且不会增加膜系设计难度和实际制备工艺难度。
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公开(公告)号:CN106565105A
公开(公告)日:2017-04-19
申请号:CN201610965152.4
申请日:2016-11-04
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: C03C17/00
CPC classification number: C03C17/002
Abstract: 一种大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具,包括箍套结构和框架结构组成,所述的箍套结构是一个箍套,该箍套的内侧面具有一连续的凸形台状的嵌套梁,该嵌套梁与待镀膜的玻璃基板的外侧面周围的凹槽相嵌套,该箍套的外侧面设有多个螺栓螺孔,所述的框架结构包括多根等高的立柱和多根螺栓,所有立柱的等高处设有螺栓通孔,所述的箍套的嵌套梁相嵌在所述的待镀膜的玻璃基板的凹槽中,所述的螺栓旋入所述的立柱的螺栓通孔和所述的箍套的螺栓螺孔,将所述的待镀膜的玻璃基板夹持定位形成一个整体,该整体的立柱恰好置放在镀膜夹具盘中。本发明的夹具能对全口径镀膜实现很好的夹持作用,同时结构简单,装夹和卸夹方便,可实现无压痕全口径镀膜。
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公开(公告)号:CN1295542C
公开(公告)日:2007-01-17
申请号:CN200410093016.8
申请日:2004-12-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明一种透反型斩光器是用于微弱信号检测的机械调制器件,由电机伺服系统、调制盘、频率反馈和稳定系统、外部接口和显示系统、电源系统等部件构成,其在调制盘上增加一平整的反射层,让斩光器以一定角度插入信号光路,并将反射的信号光用吸收体吸收或用功率计接收同时测量其功率,也可用另一路锁相检测光路吸收或以其它方式吸收,这就避免了信号光束的漫反射,从而减少微弱信号测量中的杂散光干扰,提高测量信噪比和准确性。而且由于信号光束被遮挡时它的能量大部份被反射层所反射,因而即使信号光束光强较大也不会导致斩光器频率漂移或损坏。
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公开(公告)号:CN117604478A
公开(公告)日:2024-02-27
申请号:CN202311500829.3
申请日:2023-11-13
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: C23C14/50 , C23C16/458
Abstract: 一种大口径光学薄膜元件镀膜夹具,包括夹具基板和多个支撑固定组件,所述的夹具基板中心设有内腔,用以放置大口径光学薄膜元件,该内腔侧壁四周设有多个螺纹孔和凹槽,所述的支撑固定组件包含支撑垫片、缓冲垫片、限位块、第一螺栓和第二螺栓。所述的缓冲垫片具有梯形光栅结构,并布满缓冲垫片与大口径光学薄膜元件接触的一侧,仅其光栅脊顶部区域与光学薄膜元件接触。本发明制镀膜夹具能减少光学薄膜元件与镀膜夹具的接触面积并提升各支撑位受力均衡性,进而提升大口径光学薄膜元件的波面质量。
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公开(公告)号:CN115369370A
公开(公告)日:2022-11-22
申请号:CN202211003352.3
申请日:2022-08-19
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明属于半球谐振陀螺仪领域,特别涉及卫星惯性导航系统中半球谐振陀螺仪谐振子金属化镀膜工艺;具体为一种用于半球谐振子金属化镀膜的夹具装置;所述装置包括谐振子自转结构,谐振子整体摆动结构以及两者之间的连接控制结构;所述谐振子的自转结构是通过步进电机轴承连接谐振子支撑杆,实现谐振子的自转;所述谐振子的整体摆动装置是指通过另外一个电机带动前述自转电机进行特定角度范围内的往返摆动;所述自转电机和整体摆动电机之间的连接控制结构是指通过一个L型金属板结构,将两个电机连接控制在一起;通过本发明设计的镀膜夹具装置,可分别用于谐振子外球面、内球面以及谐振子中间支撑杆上的均匀性镀膜。
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