一种球面光学元件表面缺陷测量装置和测量方法

    公开(公告)号:CN112229854B

    公开(公告)日:2022-10-11

    申请号:CN202010916390.2

    申请日:2020-09-03

    Abstract: 本发明提出了一种球面光学元件表面缺陷测量装置和测量方法,利用照明反射光和表面缺陷产生的散射光的偏振特性的差异,去除照明反射光对表面缺陷暗场成像的影响,在准直照明条件下,即可实现不同曲率半径光学元件表面缺陷检测,无需因球面光学元件的曲率改变而调整照明光源,也不需要复杂的光学设计来实现不同程度聚焦照明光。结合抛光液等污染性缺陷的光致发光效应,实现对球面光学元件表面残留的抛光液等缺陷的原位同步检测。提出了一种结合位置探测器的原位反射式球面定心光路结构,球面光学元件无需在定心系统和测量系统之间移动,避免了运动定位误差,结构简单方便。

    一种球面光学元件表面缺陷测量装置和测量方法

    公开(公告)号:CN112229854A

    公开(公告)日:2021-01-15

    申请号:CN202010916390.2

    申请日:2020-09-03

    Abstract: 本发明提出了一种球面光学元件表面缺陷测量装置和测量方法,利用照明反射光和表面缺陷产生的散射光的偏振特性的差异,去除照明反射光对表面缺陷暗场成像的影响,在准直照明条件下,即可实现不同曲率半径光学元件表面缺陷检测,无需因球面光学元件的曲率改变而调整照明光源,也不需要复杂的光学设计来实现不同程度聚焦照明光。结合抛光液等污染性缺陷的光致发光效应,实现对球面光学元件表面残留的抛光液等缺陷的原位同步检测。提出了一种结合位置探测器的原位反射式球面定心光路结构,球面光学元件无需在定心系统和测量系统之间移动,避免了运动定位误差,结构简单方便。

    倍频晶体定轴误差测量装置及测量方法

    公开(公告)号:CN109798849B

    公开(公告)日:2020-10-16

    申请号:CN201910116649.2

    申请日:2019-02-14

    Abstract: 一种倍频晶体定轴误差测量装置及测量方法,该装置包括:激光器、孔径光阑、激光隔离器、格兰激光棱镜、光挡、第一分光板、平面反射镜、第一激光自准直仪、第一旋转台、第二分光板、第一能量计、分光棱镜、待测倍频晶体、第二旋转台、第二能量计、直角棱镜、校准倍频晶体、第三旋转台、第三能量计和第二激光自准直仪。本发明装置通过获取待测倍频晶体和校准倍频晶体的倍频转换效率同步调谐曲线,从而计算待测倍频晶体光轴与校准晶体倍频光轴之间的角度差,即待测倍频晶体的定轴误差。本发明的测量精度较高,相对测量误差优于1″。

    用于绝对检测的大口径光学平面镜的旋转装置

    公开(公告)号:CN108955532A

    公开(公告)日:2018-12-07

    申请号:CN201810964829.1

    申请日:2018-08-23

    Abstract: 一种用于绝对检测中大口径光学平面的旋转装置,该装置包括升降转动机构、吊装旋转机构和镜框。其中升降转动机构通过底板固定在镜框顶部,吊装旋转机构通过软齿同步带与升降转动机构连接,吊装旋转机构还通过承重钢丝与镜框连接。该旋转装置利用软齿同步带与大口径平面镜侧面间的摩擦力,带动整个平面镜在由若干个圆柱形塑料滚轮组成的链条上进行转动。本发明装置可以实现直径大于300mm以上的大口径平面镜任意角度的旋转,适用于在大口径高精度光学平面绝对检测过程中实现大口径平面镜的旋转。

    抗振二维光学调整架和使用方法

    公开(公告)号:CN110596848A

    公开(公告)日:2019-12-20

    申请号:CN201911004044.0

    申请日:2019-10-22

    Abstract: 一种抗振二维光学调整架和使用方法,该调整架包括镜框、底座和调节机构,该结构适用于振动环境中光学元件的夹持与调整,采用三组挡片与垫片,实现光学元件的固定,采用两个螺栓配合,实现光学元件的调节。旋转调节螺栓,调节螺栓带动镜框框架在竖直方向运动,分别转动三个调节螺栓,可实现光学元件俯仰、偏摆的调节。该支撑架便于调节、抗振动并且低应力变形,适用于光学设备装配时对光学元件进行一次性调整,在实现光学系统的功能后对调整机构进行固定,并且支撑调节结构产生的应力变形尽可能小。

Patent Agency Ranking