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公开(公告)号：CN111367045B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202010199957.9
申请日：2020-03-20
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种宽光谱球面透射标准镜，其构成包括沿激光入射方向上依次的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜构成的镜组，第四透镜可沿光轴方向移动。该镜组最大通光口径为Φ100mm、镜组长度不大于150mm、F数设计范围为0.75～3.30、工作波段为532nm～1550nm，本发明在不同波长下工作时的F数保持不变、波前误差峰谷值均≤0.025λ。本发明可应用于多波长平面激光干涉仪中，实现在多种波长下，对凸面或凹面光学元件的波前参数进行高精度测量。
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公开(公告)号：CN112066901A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202010876592.9
申请日：2020-08-27
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种超声可调光谱干涉测量的测量装置和测量方法，测量装置包括超宽光谱激光光源、环形器、超声波发生器、换能器、铝板、布拉格光纤光栅、光纤微调整架、陷光器、扩束输出镜、分光棱镜、CCD相机、准直透镜、透射标准镜、待测元件和标准反射镜。超宽光谱激光光源产生宽谱光束，超声波发生器和换能器用于产生频率可调的超声波，铝板传递超声波对布拉格光纤光栅调制，光纤微调整架对光栅位置进行微调，环形器将宽谱光源与光栅反射光束分开，陷光器用于吸收光栅透射光，CCD相机用于记录干涉相位图。本发明在测量过程中，通过调整超声频率的大小即可实现光源相干长度的调节，从而可实现高平行度平板元件前后表面面形误差的快速同步的测量。
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公开(公告)号：CN111947592A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010609106.7
申请日：2020-06-29
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种动态双波长移相干涉测量装置，该装置中的包括：第一激光器、第二激光器、可调中性滤光片、光开关、反射镜、合束镜、扩束镜、二分之一波片、第一偏振分光棱镜、第一四分之一波片、参考镜、第二四分之一波片、近零位补偿镜、被测面、第三四分之一波片、成像镜、分束镜、第二偏振分光棱镜、第一探测器、第二探测器、第三偏振分光棱镜、第三探测器、第四探测器和计算机；以及测量方法。本发明装置隔振要求低，能实现对最大面形误差斜率小于3.5μm/pixel的非球面/自由曲面元件的面形进行全口径动态干涉测量。
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公开(公告)号：CN107478604B
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201710558209.3
申请日：2017-07-10
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N21/41
Abstract: 一种透明材料折射率的测量装置和测量方法，包括超连续谱激光器、光栅单色器、斩波器、待测样品、高速光电探测器、驱动器、锁相放大器和计算机。超连续谱激光器和光栅单色器用于产生测量所需的单色激光光束，斩波器用于把连续激光光束调制成为方波信号，高速光电探测器用于接收经过调制并穿过待测样品后的方波光强信号，锁相放大器用于测量高速光电探测器输出电压信号和驱动器输出参考信号的相位差，通过利用锁相放大器分别在测试光路中插入样品和移除样品两种情况下依次测量两种信号的相位差，即可计算得到待测样品的折射率。本发明样品制备容易、测量速度快、测量精度高，可实现一定波长范围内折射率的快速测量。
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公开(公告)号：CN107505121B
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201710917302.9
申请日：2017-09-30
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种电光晶体通光面法线与晶体光轴的夹角测量装置和方法，该装置中的主要元件包括：线偏振光激光器、第一透镜、小孔光阑、第二透镜、分光镜、平面反射镜、接收屏、第三透镜、一维精密电动位移台、第四透镜、线偏振片、第五透镜、图像探测器和计算机，装调光路须用到数字光电自准直仪和一块平行度为1″的平行平板玻璃等。本发明实现了待测电光晶体非接触式无损检测，克服了现有方法中的晶体易产生划痕、测量装置难以搭建和锥光干涉图难以分析等一系列问题。本发明更换不同F数的第三透镜和第四透镜，可对不同厚度的电光晶体进行测量。本发明测量的数据重复性很好，与现有的X射线晶体定向仪测量的数据进行比较，相对误差在30″以内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106168463B
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201610533855.X
申请日：2016-07-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种PSD2干涉检测中局部采点的控制方法，包括：步骤1：工作平台回机械原点，步骤2：计算机械坐标系与工件坐标系之间的偏差，步骤3：对已知的玻璃尺寸以及检测阵列数，计算每点的绝对坐标，并且控制其按来回扫描的栅线型方式运动，步骤4：每次采点到达位置后，光栅尺位置与轨迹坐标做对比实现全闭环，步骤5：结束测量，安全锁紧，清零脉冲计数器并且退出程序。本发明提供的方法实现了对玻璃表面进行自动均匀采点的PSD2面形检测，能够自动定量规划路径，大大提高了测量效率，重复采样测量得到了保证。
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公开(公告)号：CN106918309A
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201710097530.6
申请日：2017-02-22
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B11/26
Abstract: 一种电光晶体通光面法线与Z轴偏离角的测量装置及其测量方法，该测量装置包括激光器、第一透镜、空间滤波器、第二透镜、起偏器、第三透镜、分光镜、数字光电内调焦自准直仪、第四透镜、检偏器、成像透镜、探测器和计算机处理系统。本发明利用锥光干涉原理，实现了待测电光晶体非接触式无损检测，保障了测量过程中不引入待测电光晶体表面划痕，并且适用于大口径电光晶体检测，另外本发明采用数字光电内调焦自准直仪标定检测光束光轴方向，保障了检测光束垂直入射待测电光晶体，具有测量精度高，测量重复性好的优点，具有很大应用前景。
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公开(公告)号：CN106442565A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610943020.1
申请日：2016-10-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 合肥知常光电科技有限公司
IPC: G01N21/95
CPC classification number: G01N21/95 , G01N21/8851
Abstract: 一种高速激光线扫描的表面缺陷检测装置，该装置主要包括激光器、激光扩束系统、第一高反镜、起偏器、第二高反镜、波片、第三高反镜、旋转棱镜、行触发探测器、远心场镜、激光聚焦点阵线、被测样品、散射光收集器、线阵散射光探测器和柱面透镜。该装置具有较高的灵敏度和信噪比，解决了大口径、大重量样品的表面缺陷测量需求。
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公开(公告)号：CN106124166A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201610427140.6
申请日：2016-06-16
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01M11/00
Abstract: 本发明专利提出了一种大口径光栅衍射效率的测量装置和测量方法,包括光源、单色器、传输光纤、分束镜、二维扫描机构、样品台、参考光探测器和测试光探测器，根据测量光强度和参考光光强的比值，以及衍射光强度和参考光强度的比值，计算得到大口径光栅单个位置处的衍射效率值，接着利用二维扫描机构在水平和垂直方向扫描光纤测量头，依次得到大口径光栅各个位置处的衍射效率值，从而完成大口径光栅衍射效率的测量。本发明实现了大口径光栅衍射效率的测量，降低了测量系统的构建成本，消除了测量过程中的安全隐患，显著加快了大口径光栅衍射效率的测量速度，同时能保证大口径光栅衍射效率的测量数据具有较好的重复性和复现性。
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公开(公告)号：CN111412852B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202010285846.X
申请日：2020-04-13
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种双波长双模式的动态数字散斑干涉测量装置及方法，通过开关可变扩束器，以及标准球面镜头和可变倍成像镜头的切换，形成紧凑式双波长激光干涉系统和双波长散斑干涉系统两种模式共用的测量装置。利用双波长产生的合成波长干涉信号可以提高系统的测量动态范围，同时利用偏振同步移相技术可以实现系统的动态测量，降低测量环境的抗振要求。本发明测量装置及方法可以实现高精度复合材料曲面元件的大视场、大动态范围和实时动态的光滑表面形貌及粗糙表面形变的在线原位精确测量。
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