测试探测结构
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103151337B

    公开(公告)日:2016-12-14

    申请号:CN201210076897.7

    申请日:2012-03-21

    CPC classification number: G01R1/07342 G01R1/07378 H01L2224/16225

    Abstract: 一种用于晶圆级测试半导体IC封装的被测器件(DUT)的测试探测结构。该结构包括衬底、衬底通孔、形成在衬底的第一表面以接合探测卡的凸块阵列以及在衬底的第二表面上的至少一个探测单元。该探测单元包括形成在衬底的一个表面上的导电探测焊盘以及与该焊盘互连的至少一个微凸块。该焊盘通过通孔电连接到凸块阵列。一些实施例包括多个与焊盘相连接的微凸块,该焊盘被配置为与DUT上的微凸块匹配阵列相接合。在一些实施例中,DUT可以通过从探测卡通过凸块和微凸块阵列施加测试信号进行探测,而不直接探测DUT微凸块。

    测试探测结构
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103151337A

    公开(公告)日:2013-06-12

    申请号:CN201210076897.7

    申请日:2012-03-21

    CPC classification number: G01R1/07342 G01R1/07378 H01L2224/16225

    Abstract: 一种用于晶圆级测试半导体IC封装的被测器件(DUT)的测试探测结构。该结构包括衬底、衬底通孔、形成在衬底的第一表面以接合探测卡的凸块阵列以及在衬底的第二表面上的至少一个探测单元。该探测单元包括形成在衬底的一个表面上的导电探测焊盘以及与该焊盘互连的至少一个微凸块。该焊盘通过通孔电连接到凸块阵列。一些实施例包括多个与焊盘相连接的微凸块,该焊盘被配置为与DUT上的微凸块匹配阵列相接合。在一些实施例中,DUT可以通过从探测卡通过凸块和微凸块阵列施加测试信号进行探测,而不直接探测DUT微凸块。

    半导体结构及其制造方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118231375A

    公开(公告)日:2024-06-21

    申请号:CN202410234814.5

    申请日:2024-03-01

    Abstract: 一种半导体结构,包括具有第一表面和与第一表面相对的第二表面的衬底。该半导体结构包括设置在第一表面上的半导体器件。该半导体结构包括设置在第二表面上的金属化层。所述半导体结构包括与所述金属化层并联耦合的第一导电通孔和第二导电通孔,所述第一导电通孔和第二导电通孔从所述第二横向所述第一侧延伸。所述半导体结构还包括布置在所述半导体器件上并耦合到所述第一导电通孔和所述第二导电通孔的电熔丝。本申请的实施例还公开了一种制造半导体结构的方法。

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