半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN100350607C

    公开(公告)日:2007-11-21

    申请号:CN01823865.3

    申请日:2001-12-07

    Abstract: 半导体器件,包含:在一面上具有第1端子(7)的第1半导体芯片(5);比第1半导体芯片(5)大,重叠第1半导体芯片(5)并且在一面上具有第2端子(3)的第2半导体芯片(1a);被形成在第2半导体芯片(1a)上覆盖第1半导体芯片(5)的绝缘膜(10);在绝缘膜(10)中至少被形成在第1半导体芯片(5)的周边区域上的多个孔(10a);在孔(10a)的内周面以及底面上形成膜状并且与上述第2半导体芯片(1a)的第2端子(3)电连接的孔(11a);被形成在绝缘膜(10)的上表面上的布线图案(11b);被连接在布线图案(11b)上的外部端子(14)。

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