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公开(公告)号：CN111722311B
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN202010729510.8
申请日：2020-07-27
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 复合功能色散镜结构，其中色散镜结构由下到上依次为基底、增透结构单元、色散补偿结构单元，其中增透结构单元包括增透腔和第一高反层，色散补偿结构单元包括G‑T腔和第二高反层，基本表达式：G/[(HxL)^m(HL)^a]^p[(HyL)^n(HL)^b]^q。本发明通过增透结构单元取代标准镜的高反射膜层，G‑T腔与增透腔形成串联形式，调节G‑T腔和增透腔的周期数以及腔厚度，设计不同色散量、反射率以及带宽的高色散镜，并且作为谐振腔的输出镜，能够在实现泵浦波长高透的同时，在激光响应波段保持一定的反射率且具备色散补偿功能，结构更加简单紧凑。
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公开(公告)号：CN112697400A
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN202011457387.5
申请日：2020-12-10
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种元件激光损伤阈值的测试方法，旨在提高元件的激光损伤测试效率；本发明以微透镜阵列取代传统透镜进行激光损伤测试，可运用于传统1‑on‑1激光损伤测试也可用于S‑on‑1激光损伤测试。本发明可大幅度缩短元件激光损伤测试时间，可快速获得元件的抗激光损伤阈值，本发明适用于激光元器件抗激光损伤性能测试。
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公开(公告)号：CN109141828B
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN201810798007.0
申请日：2018-07-19
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种连续激光辐照下液晶器件相位调控特性测量装置和测量方法，所述的测量装置包括探测激光器、第一偏振分光镜、第一半波片、聚焦透镜、样品台、第二半波片、第二偏振分光镜、功率计和计算机，该方法通过探测激光的功率变化在线实时测量连续激光作用下液晶器件相位调控特性变化。该方法简单易行，可以准确评估不同激光参数作用对液晶器件相位调控特性的影响。
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公开(公告)号：CN111575657A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN202010327812.2
申请日：2020-04-23
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于离子束辅助纳米叠层解决电子束沉积薄膜龟裂的方法，首先通过计算获得纳米叠层周期数，利用离子束辅助沉积技术在基底表面沉积高、低折射率交替的纳米叠层，该离子束辅助纳米叠层薄膜呈现压应力，且其中每层膜的厚度仅为几个纳米；然后利用电子束沉积技术沉积功能膜层，以满足薄膜特定的功能要求。本发明能够解决电子束沉积薄膜在特定使用环境发生薄膜龟裂的问题，适用于任意折射率的光学玻璃基底，提升了应力调控的范围、膜系设计和制备的灵活度、镀膜设备的适用性，并降低了对薄膜激光损伤阈值的影响。
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公开(公告)号：CN111251217A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010170308.6
申请日：2020-03-12
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: B25B11/00
Abstract: 一种大尺寸光学元件的镀膜夹具及装夹方法，所述的镀膜夹具包括框架结构和方形支撑结构，方形支撑结构四边各由支撑板、缓冲条、加强筋、定位块和螺栓组成，加强筋、缓冲条、支撑板和定位块设有多个螺栓通孔，框架结构内侧面具有多个螺栓通孔和多个凹槽，多个凹槽分别位于方形支撑结构其中一组对边的外侧，将螺栓旋入四边的加强筋、缓冲条、支撑板和框架结构的螺栓通孔，用于支撑待镀膜的大尺寸光学元件，将螺栓旋入定位块、缓冲条、支撑板和框架结构，对待镀膜的大尺寸光学元件夹持定位，形成一个整体，框架结构外框尺寸与镀膜夹具盘内框一致，正好放置于镀膜夹具盘中。本发明可以与机械手配合使用进行装夹，可以提升大尺寸光学元件的波面质量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111238773A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010064738.X
申请日：2020-01-20
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种高分辨激光输出功率变化量监测装置与方法，包括斩波器、第一光电探测器、第二光电探测器、楔形片和锁相放大器。本发明利用光电探测器分别接收两束光并转换为电压信号后输入到所述的锁相放大器，并做差分运算后测量差值信号大小，另外所述的斩波器的同步信号输入锁相放大器作为参考信号。本发明可有效实现监测激光输出功率变化量，显著提高监测分辨率。
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公开(公告)号：CN108265269B
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201810140020.7
申请日：2018-02-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种提升多层激光薄膜元件环境稳定性的镀膜方法，该方法的实质是在电子束蒸镀技术的基础上结合离子束辅助沉积技术。根据所设计的膜系，利用电子束蒸镀技术沉积除最外层以外的多层膜，以获取高的抗激光损伤阈值；利用离子束辅助沉积技术沉积最外层，以获取致密的水汽阻隔层，阻止水分子迅速进出多层激光薄膜元件表面。本发明能在保持电子束蒸镀技术制备的多层激光薄膜元件较高的抗激光损伤阈值的同时，提升其环境稳定性。
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公开(公告)号：CN110079788A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201910366232.1
申请日：2019-05-05
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: C23C16/40 , C23C16/455 , C23C16/513
Abstract: 一种基于等离子体增强原子层沉积(PEALD)的紫外减反射薄膜的镀制方法，采用类似于熔石英体材料化学反应的原理沉积SiO2薄膜材料。本发明能够避免溶胶-凝胶技术(sol-gel)薄膜稳定性差、电子束沉积(E-beam deposition)薄膜纳米吸收性缺陷密度高的问题，获得同时具备高稳定性和高激光损伤阈值的高性能紫外减反射薄膜。
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公开(公告)号：CN109632641A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201910034452.4
申请日：2019-01-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
CPC classification number: G01N21/01 , G01N2021/0112 , G02B7/1821
Abstract: 一种自动调整连续激光光束指向的装置和方法，包括连续激光器、第一电动调节反射镜、第二电动调节反射镜、第一四象限探测器、反射镜、第二四象限探测器计算机，本发明方法第一四象限探测器监控及测量经过所述第二电动调节反射镜产生的第一透射光束的指向，基于所述的第二四象限探测器监控和测量经过所述反射镜产生的第二透射光束的指向，并通过所述的计算机控制所述的第一电动调节反射镜和所述的第二电动调节反射镜的俯仰和倾斜，实现对实验光束指向在上下方向和左右方向的自动调节。本发明可有效实现对连续激光光束指向的自动调节，提高损伤检测或者泵浦探测精度。
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公开(公告)号：CN108342699A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201810140027.9
申请日：2018-02-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种电子束蒸发、离子束辅助与离子束溅射综合沉积镀膜设备及综合镀膜方法，设备包括由左电子枪坩埚、右电子枪坩埚、离子源辅源、离子源主源、溅射靶材和夹具盘组成的综合沉积系统。本发明结合了电子束蒸发沉积技术、离子束辅助沉积技术及离子束溅射沉积技术的优点，不但能够提高膜层质量，而且能够提高镀膜效率、降低镀膜成本。
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