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公开(公告)号：CN117289733A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311129835.2
申请日：2023-09-04
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种调控光学元件测量样品腔室内相对湿度的装置和方法。本装置通过调控干燥气体和高湿气体的流量比例，形成特定所需湿度的混合气体通入光学元件测量样品腔室中，以实现对光学元件测量样品腔室内相对湿度的有效调控。本发明可以持续稳定的调控光学元件测量样品腔室的相对湿度，具备操作简单、稳定性高且通用性强的优点。
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公开(公告)号：CN115961262A
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN202211573425.2
申请日：2022-12-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明属于光学元件镀膜技术领域，揭示一种多面体转镜镀膜装夹装置，包括支架、轴承库、传动部分、从动部分、样品台；支架呈L型，一面与镀膜设备行星盘相连，另一面与轴承库侧面相抵；轴承库呈方型，顶部和两侧均设有深沟球轴承；传动部分有垂直传动轴、异形联轴器、传动扇形齿轮；从动部分有横向传动轴和从动扇形齿轮；传动扇形齿轮与从动扇形齿轮相互啮合；样品台有保护罩、多面体转镜和测试片夹具；横向传动轴贯穿从动扇形齿轮和轴承库连接样品台内的多面体转镜。当镀膜设备的行星盘高速转动时，经传动部分带动从动部分上样品台内的多面体转镜垂直360°转动，一次完成多面体转镜多个面全口径镀膜，有效提高转镜镀膜纵向与横向均匀性和效率。
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公开(公告)号：CN112697400B
公开(公告)日：2023-01-20
申请号：CN202011457387.5
申请日：2020-12-10
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种元件激光损伤阈值的测试方法，旨在提高元件的激光损伤测试效率；本发明以微透镜阵列取代传统透镜进行激光损伤测试，可运用于传统1‑on‑1激光损伤测试也可用于S‑on‑1激光损伤测试。本发明可大幅度缩短元件激光损伤测试时间，可快速获得元件的抗激光损伤阈值，本发明适用于激光元器件抗激光损伤性能测试。
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公开(公告)号：CN113186492A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN202110412689.9
申请日：2021-04-16
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种抑制氧化铪薄膜折射率非均匀性的方法，在制备含有氧化铪膜层的多层光学薄膜时，镀制氧化铪的同时掺入氧化硅材料一同镀制形成氧化铪‑氧化硅混合膜层，抑制纯氧化铪膜层的折射率非均匀性，进而改善由于氧化铪膜层折射率非均匀性导致多层光学薄膜的光学性能下降问题。
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公开(公告)号：CN106835020B
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201710000723.5
申请日：2017-01-03
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种降低氧化铪‑氧化硅多层膜表面粗糙度的方法，使用HfO2‑SiO2混合膜层取代多层膜中每一层纯HfO2膜层，蒸镀完SiO2膜层后，电子束同时蒸发HfO2膜料和SiO2膜料，HfO2和SiO2膜料沉积速率的比例大于4:1。本发明能够大幅降低HfO2‑SiO2多层膜表面粗糙度，而且不会影响光谱和损伤阈值等性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105738989A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201610242995.1
申请日：2016-04-19
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B5/00
CPC classification number: G02B5/00
Abstract: 一种基于Modified Gires?Tournois interferometer(MGTI)镜的高色散镜结构，由下到上依次为基底、高反射膜层、G?T腔和对称腔，表达式：G/(HL)^n(HxL)^m(HxLH)^m(LxHL)^m/A，其中G代表基底材料，H和L分别代表光学厚度为λ/4的高低折射率材料，x为腔的厚度，m为G?T腔和对称腔的周期数，n为高反射率膜层周期数，A为空气层。本发明通过由两个周期型对称膜系组成的对称腔取代标准镜的部分反射膜层，G?T腔与对称腔形成串联形式，调节G?T腔和对称腔中周期数以及腔厚度，满足了超短超快激光系统中用于脉冲压缩的低损耗、大色散补偿量的高色散镜设计需求。
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公开(公告)号：CN114815130A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210237570.7
申请日：2022-03-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B7/188
Abstract: 本发明公开了一种基于离子束的光学薄膜元件的面形控制方法。通过离子束技术修正光学薄膜面形形变，使薄膜元件达到无残余应力双面平衡状态。具体方法为测量已制备薄膜元件面形的矢高值(Power)，根据矢高值失配量在基底背面镀制SiO2膜补偿面，再次测量补偿之后薄膜元件面形的矢高值，计算分析需要对补偿面刻蚀或再沉积SiO2膜的厚度，并进行精确的刻蚀或沉积。该方法制备的薄膜面应力与基底未镀膜面应力相平衡，使光学系统更加精确。
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公开(公告)号：CN112946796B
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN201911268711.6
申请日：2019-12-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明提出一种宽带高反射高阈值低色散镜及其设计方法，宽带高反射高阈值低色散镜的结构为G/M/C/A，其中G代表基底层，M代表金属膜层，C代表介质膜层，A代表空气层，所述介质膜层由单层介质薄膜材料构成或者由低折射率的介质薄膜材料和高折射率的介质薄膜材料交替堆叠而成。本发明利用金属宽反射带宽和优异的色散特性，结合介质膜反射率高、抗激光破坏能力强的特点，通过调整介质膜层数和厚度，可调控不同带宽范围内的色散和反射率，从而设计出满足超快激光系统中用于脉冲传输的宽带高反射高阈值低色散镜。
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公开(公告)号：CN112326197B
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202011146155.8
申请日：2020-10-23
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/00
Abstract: 一种激光光学元器件寿命预测方法，旨在解决现光学元器件在任意通量照射下长时间使用的寿命预测问题；本发明包括：以激光脉冲次数为变量，以对应脉冲次数下的损伤阈值为因变量拟合获得光学元器件特定激光参数下的阈值函数。利用高重复频率激光在相对较短时间内实现较多脉冲次数的激光损伤阈值测试实验。通过测试高重复频率激光下的阈值函数，以及同一脉冲数下高重频激光与目标激光的阈值差值对脉冲次数的函数，从而得到寿命预测函数预测模型。本发明可以对激光光学元器件的寿命测试进行加速实验，缩短测试时间，应用本发明测试结果可以获得特定脉冲次数下的光学元器件使用寿命；本发明适用于激光光学元器件寿命预测领域。
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公开(公告)号：CN111208591B
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202010031855.6
申请日：2020-01-13
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B5/08
Abstract: 一种宽带高阈值组合介质低色散镜结构及其设计方法。宽带高阈值组合介质低色散镜的结构为G/M/N/A，其中G代表基底层，M代表宽带介质膜层，N代表高阈值介质膜层，A代表空气层。所述的介质膜系结构由高折射率材料和低折射率材料交替沉积而成。不同的宽带介质膜层材料可实现不同的反射带宽和色散要求，不同的高阈值介质膜层材料可满足不同的阈值、色散要求。本发明结合宽带高折射率材料反射带宽宽、色散低和高阈值材料抗激光破坏能力强的特点，通过调节膜层厚度，调控膜内电场分布，从而设计满足超快激光系统中用于脉冲传输的宽带高阈值低色散镜。
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