公开(公告)号：CN109540839B

公开(公告)日：2022-04-01

申请号：CN201811484743.5

申请日：2018-12-06

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 赵元安 ,  彭丽萍 ,  刘晓凤 ,  李大伟 ,  邵建达 ,  王玺 ,  彭小聪 ,  李成 ,  马浩

IPC: G01N21/39

Abstract: 一种ITO透明导电膜功能性激光损伤阈值的测量装置及测量方法，包括泵浦连续激光器、探测连续激光器、分束镜、功率计、万用表及计算机，通过在线实时测量ITO透明导电膜的透过率和电阻率的变化来判定ITO透明导电膜在连续激光辐照下的功能性激光损伤阈值。本发明可有效评价ITO透明导电膜的功能性激光损伤阈值，为ITO透明导电膜在连续激光辐照下的应用提供依据。该方法最重要的是在测量之前先对ITO透明导电膜进行带状结构的刻蚀处理，以便于激光辐照处ITO透明导电膜电阻率的准确测量。

公开(公告)号：CN109540839A

公开(公告)日：2019-03-29

申请号：CN201811484743.5

申请日：2018-12-06

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 赵元安 ,  彭丽萍 ,  刘晓凤 ,  李大伟 ,  邵建达 ,  王玺 ,  彭小聪 ,  李成 ,  马浩

IPC: G01N21/39

Abstract: 一种ITO透明导电膜功能性激光损伤阈值的测量装置及测量方法，包括泵浦连续激光器、探测连续激光器、分束镜、功率计、万用表及计算机，通过在线实时测量ITO透明导电膜的透过率和电阻率的变化来判定ITO透明导电膜在连续激光辐照下的功能性激光损伤阈值。本发明可有效评价ITO透明导电膜的功能性激光损伤阈值，为ITO透明导电膜在连续激光辐照下的应用提供依据。该方法最重要的是在测量之前先对ITO透明导电膜进行带状结构的刻蚀处理，以便于激光辐照处ITO透明导电膜电阻率的准确测量。

公开(公告)号：CN109632641A

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201910034452.4

申请日：2019-01-15

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 李大伟 ,  刘晓凤 ,  赵元安 ,  邵建达 ,  王玺 ,  胡国行 ,  朱美萍

IPC: G01N21/01 ,  G02B7/182

CPC classification number: G01N21/01 ,  G01N2021/0112 ,  G02B7/1821

Abstract: 一种自动调整连续激光光束指向的装置和方法，包括连续激光器、第一电动调节反射镜、第二电动调节反射镜、第一四象限探测器、反射镜、第二四象限探测器计算机，本发明方法第一四象限探测器监控及测量经过所述第二电动调节反射镜产生的第一透射光束的指向，基于所述的第二四象限探测器监控和测量经过所述反射镜产生的第二透射光束的指向，并通过所述的计算机控制所述的第一电动调节反射镜和所述的第二电动调节反射镜的俯仰和倾斜，实现对实验光束指向在上下方向和左右方向的自动调节。本发明可有效实现对连续激光光束指向的自动调节，提高损伤检测或者泵浦探测精度。