半导体结构及其制造方法
    22.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118231375A

    公开(公告)日:2024-06-21

    申请号:CN202410234814.5

    申请日:2024-03-01

    Abstract: 一种半导体结构,包括具有第一表面和与第一表面相对的第二表面的衬底。该半导体结构包括设置在第一表面上的半导体器件。该半导体结构包括设置在第二表面上的金属化层。所述半导体结构包括与所述金属化层并联耦合的第一导电通孔和第二导电通孔,所述第一导电通孔和第二导电通孔从所述第二横向所述第一侧延伸。所述半导体结构还包括布置在所述半导体器件上并耦合到所述第一导电通孔和所述第二导电通孔的电熔丝。本申请的实施例还公开了一种制造半导体结构的方法。

    具有低阈值电压的FINFET变容器及其制造方法

    公开(公告)号:CN107425066B

    公开(公告)日:2020-11-06

    申请号:CN201710299984.1

    申请日:2017-04-28

    Abstract: 本发明的实施例公开了一种具有低阈值电压的FinFET变容器及其制造方法。本发明公开的方法包括提供位于衬底上方且具有沟道区、源极区和漏极区的半导体层。该方法包括在半导体层中形成阱以具有第一掺杂剂、以及将第二掺杂剂注入到阱中。第一掺杂剂和第二掺杂剂为相反的掺杂类型。阱的第一部分具有的第二掺杂剂的浓度高于第一掺杂剂的浓度。阱的位于第一部分下面的第二部分具有的第一掺杂剂的浓度高于第二掺杂剂的浓度。该方法还包括在沟道区上方形成栅极堆叠件、以及在源极区和漏极区中形成源极部件和漏极部件。阱的第一部分电连接源极部件和漏极部件。

    具有非对称阈值电压的晶体管

    公开(公告)号:CN109841664A

    公开(公告)日:2019-06-04

    申请号:CN201810475239.2

    申请日:2018-05-17

    Abstract: 一种晶体管包括衬底上的栅极结构,其中衬底包括栅极结构下方的信道区。晶体管还包括衬底中的源极,其邻近栅极结构的第一侧。晶体管还包括衬底中的漏极,其邻近栅极结构的第二侧,其中栅极结构的第二侧相对于栅极结构的第一侧。晶体管还包括邻近源极的第一淡掺杂漏极。晶体管还包括邻近漏极的第二淡掺杂漏极区。晶体管还包括邻近第一淡掺杂漏极区的掺杂延伸区。

    高阻抗衬底上的RF开关
    28.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104051529B

    公开(公告)日:2017-07-28

    申请号:CN201310303834.5

    申请日:2013-07-18

    Abstract: 本发明公开了一种器件,包括具有第一导电类型的半导体衬底,以及所述半导体衬底中的深阱区,其中深阱区具有与所述第一导电类型相反的第二导电类型。该器件还包括位于深阱区上方的具有第一导电类型的阱区。半导体衬底具有位于阱区上方的顶部以及位于深阱区下方的底部,其中所述顶部和所述底部具有第一导电类型并且具有高阻抗。栅极电介质位于半导体衬底之上。栅电极位于栅极电介质上方。源极区和漏极区延伸至半导体衬底的顶部中。源极区、漏极区、栅极电介质以及栅电极形成射频(RF)开关。本发明还公开了高阻抗衬底上的RF开关。

    半导体结构
    30.
    发明公开
    半导体结构 审中-实审

    公开(公告)号:CN115565948A

    公开(公告)日:2023-01-03

    申请号:CN202210247045.3

    申请日:2022-03-14

    Abstract: 本发明实施例涉及半导体结构。根据本发明的一些实施例,一种半导体结构包含栅极结构、源极区、漏极区,及隔离结构。所述栅极结构包含第一部分、第二部分,及第三部分。所述第一部分在第一方向上延伸,且所述第二部分及所述第三部分在第二方向上延伸。所述第二部分及所述第三部分经放置于所述第一部分的相对端处。所述源极区及所述漏极区被所述栅极结构分开。所述隔离结构环绕所述栅极结构、所述源极区及所述漏极区。所述第一部分具有第一侧壁,所述第二部分具有第二侧壁,且所述第三部分具有第三侧壁。所述第一侧壁、所述第二侧壁及所述第三侧壁是平行于所述第一方向且彼此对准以形成直线。

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