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1.

发明公开
具有非对称阈值电压的晶体管无效

公开(公告)号：CN109841664A

公开(公告)日：2019-06-04

申请号：CN201810475239.2

申请日：2018-05-17

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈居富 , 黄崎峰 , 陈家忠 , 陈锦隆 , 梁其翔 , 包佳正

IPC: H01L29/06

Abstract: 一种晶体管包括衬底上的栅极结构，其中衬底包括栅极结构下方的信道区。晶体管还包括衬底中的源极，其邻近栅极结构的第一侧。晶体管还包括衬底中的漏极，其邻近栅极结构的第二侧，其中栅极结构的第二侧相对于栅极结构的第一侧。晶体管还包括邻近源极的第一淡掺杂漏极。晶体管还包括邻近漏极的第二淡掺杂漏极区。晶体管还包括邻近第一淡掺杂漏极区的掺杂延伸区。

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