基于红外发光源的光模块

    公开(公告)号:CN107248885A

    公开(公告)日:2017-10-13

    申请号:CN201710348552.5

    申请日:2017-05-17

    Inventor: 张亮

    CPC classification number: H04B10/40 H01L33/0012 H01L33/0054

    Abstract: 本发明涉及一种基于红外发光源的光模块,包括:红外发光源、接收器、合成芯片、存储器和光接口;其中,合成芯片包括驱动器、放大器和处理器,且分别与发光源和接收器相连接;发光源和接收器分别与光接口相连接。本发明提供的基于红外发光源的光模块,采用高发光率的发光源,进而降低了光模块的功耗;同时发光源的生产成本低于现有激光光源,即降低了光模块的生产成本。

    基于横向结构发光二极管

    公开(公告)号:CN107170859A

    公开(公告)日:2017-09-15

    申请号:CN201710347695.4

    申请日:2017-05-17

    Inventor: 刘晶晶

    Abstract: 本发明涉及一种基于横向结构发光二极管,包括:SOI衬底;Ge外延层,设置于SOI衬底的上表面;GeSn层,设置于Ge外延层的上表面的中间位置处;N型Ge区域,由Ge外延层掺杂形成,位于GeSn层一侧;P型Ge区域,由Ge外延层掺杂形成,位于GeSn层另一侧;P型Ge区域、GeSn层和N型Ge区域形成脊形横向的PiN结构:正电极,设置于P型Ge区域的上表面;负电极,设置于N型Ge区域的上表面,以形成基于横向结构发光二极管。本发明提供的基于横向结构发光二极管,利用Ge外延层位错密度低的优点,利用p+‑Ge/直接带隙GeSn/n+‑Ge的横向结构发光二极管,极大地提高发光二极管的发光效率。

    横向结构LED及其制备方法

    公开(公告)号:CN107170858A

    公开(公告)日:2017-09-15

    申请号:CN201710347694.X

    申请日:2017-05-17

    Inventor: 刘晶晶

    CPC classification number: H01L33/0054 H01L21/02532 H01L21/02683 H01L33/34

    Abstract: 本发明涉及一种横向结构LED及其制备方法,所述制备方法包括:选取SOI衬底;在所述SOI衬底上生长外延层;制作晶化Ge层;在所述晶化Ge层上生长制作脊状Ge‑Sn合金层;在所述脊状Ge‑Sn合金层中制作N型Ge‑Sn合金层及P型Ge‑Sn合金层;制作电极以完成所述LED的制备。本发明利用激光再晶化工艺,处理SOI衬底上的Ge外延层,使其熔化再结晶,横向释放Ge外延层的位错缺陷,获得低位错密度的Ge外延层;同时,由于LRC工艺可精确控制晶化区域,Si与Ge之间材料界面特性好,从而提高了器件性能。

    一种脊状LED及其制备方法

    公开(公告)号:CN107123711A

    公开(公告)日:2017-09-01

    申请号:CN201710346428.5

    申请日:2017-05-17

    Inventor: 张亮

    CPC classification number: H01L33/0054 H01L33/0012 H01L33/34

    Abstract: 本发明涉及一种脊状LED及其制备方法。其中,所述制备方法包括:选取SOI衬底;利用CVD工艺在SOI衬底表面生长Ge外延层;利用CVD工艺在Ge外延层表面生长氧化层;利用LRC工艺晶化Ge外延层形成改性Ge外延层;利用干法刻蚀工艺刻蚀氧化层;在改性Ge外延层表面生长本征Ge层;选择性刻蚀本征Ge层形成脊型结构;在脊型结构的两侧分别注入P离子和B离子形成N型Ge区域和P型Ge区域;制备金属接触电极以完成脊状LED的制备;本发明利用激光再晶化工艺,在SOI衬底上制备位错密度低Ge外延层,并制备高质量直接带隙Ge外延层,然后实现一种脊状LED及其制备方法。

    半导体结构以及制备半导体结构的方法

    公开(公告)号:CN105914258A

    公开(公告)日:2016-08-31

    申请号:CN201610365953.7

    申请日:2016-05-27

    Applicant: 清华大学

    CPC classification number: Y02P70/521 H01L31/1804 H01L33/0054

    Abstract: 本发明提出了半导体结构以及制备半导体结构的方法。具体地,该方法包括:(1)提供衬底;(2)在所述衬底上表面设置石墨烯层;以及(3)在所述石墨烯层的上表面通过溅射沉积,形成第一氮化物半导体层,以便获得所述半导体结构,所述第一氮化物半导体层具有晶体择优取向。由此,可以降低制备成本,简化制备工艺,并获得具有晶体择优取向的第一氮化物半导体层。

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