超快响应的抗辐照三维探测器

    公开(公告)号:CN108417647A

    公开(公告)日:2018-08-17

    申请号:CN201810155602.2

    申请日:2018-02-23

    Applicant: 湘潭大学

    Inventor: 李正 刘曼文

    CPC classification number: H01L31/105 H01L31/022408 H01L31/035281

    Abstract: 本发明所采用的技术方案为,一种超快响应的抗辐照三维探测器,包括柱状的半导体基体,半导体基体通过深离子刻蚀得到柱状电极,探测器厚度及电极的厚度均为100μm至200μm,柱状电极的上表面均设有Al金属层,Al金属层与外围读出电路用bonding-bonding技术连接;探测器上表面、柱状电极之间的部分覆盖有1μm的绝缘体层,探测器的底部覆盖有1μm的绝缘体层。本发明探测器的电极宽度为5μm,电极间距为5-10μm,使得探测器的电荷收集性能更加优越。强辐照情况下,因半导体的晶格损伤形成缺陷,直接降低电子和空穴的有效漂移长度。

    一种X射线探测器件及其制作方法

    公开(公告)号:CN107887455A

    公开(公告)日:2018-04-06

    申请号:CN201710977868.0

    申请日:2017-10-17

    Applicant: 中山大学

    Inventor: 王凯 徐杨兵

    Abstract: 本发明公开了一种X射线探测器件及其制作方法,该X射线探测器件包括衬底;底部栅电极,其形成在所述衬底上;栅绝缘层,形成在底部栅电极上;源电极和漏电极,形成在栅绝缘层上且相互隔开;光电半导体层,其形成在所述源电极和漏电极上;顶部电极,其形成在所述光电半导体层上,且所述顶部电极为导体材料,或者重掺杂的半导体材料。本发明的X射线探测器件通过调节栅极可以达到调节灵敏度的目的,并具有传感和开关的功能。

Patent Agency Ranking