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公开(公告)号:CN118712300A
公开(公告)日:2024-09-27
申请号:CN202410808064.8
申请日:2024-06-21
Applicant: 西安工程大学
Abstract: 本发明公开了具有分布布拉格反射镜的Eu掺杂的单晶β‑氧化镓薄膜的制备方法,采用有机金属化学气相沉积技术在衬底上生长GaN缓冲层、n‑GaN/u‑GaN周期性结构,随后在溶液中对n‑GaN/u‑GaN周期性结构进行刻蚀,制备具有纳米多孔GaN分布布拉格反射镜;以纳米多孔GaN分布布拉格反射镜为衬底,采用脉冲激光沉积技术生长Eu掺杂的氧化镓薄膜,制备具有分布布拉格反射镜的Eu掺杂的氧化镓薄膜;采用退火技术,将上述氧化镓薄膜转变为不同Eu掺杂的单晶β‑氧化镓薄膜。本发明制备方法,能够制备出应力松弛、晶体质量高、散热能力强、大面积、发光效率高、Eu浓度可调的单晶β‑氧化镓薄膜。
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公开(公告)号:CN118016770A
公开(公告)日:2024-05-10
申请号:CN202410122154.1
申请日:2024-01-29
Applicant: 西安工程大学
Abstract: 本发明公开了具有中孔GaN DBR的中孔GaN基LED的制备方法,采用有机金属化学气相沉积技术在衬底上依次外延生长GaN缓冲层、u‑GaN/n‑GaN周期性结构、GaN基超晶格和多量子阱层,得到GaN基MQW结构;在电解液中,对所述GaN基MQW结构进行电化学刻蚀,制备具有中孔GaN DBR的中孔GaN基MQW;以中孔GaN基MQW为衬底,采用再生长技术生长p‑GaN层,制备具有中孔GaN DBR的中孔GaN基LED。本发明是一种具有中孔GaN DBR的中孔GaN基LED的制备方法,能够制备出应力松弛、晶体质量高、散热能力强、大面积、发光效率高的GaN基LED。
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公开(公告)号:CN112095117B
公开(公告)日:2023-06-06
申请号:CN202010857283.7
申请日:2020-08-24
Applicant: 西安工程大学
Inventor: 曹得重
IPC: C25B11/03 , C25B11/04 , C25B1/04 , C23C28/00 , C25F3/12 , C23C16/34 , C25B1/55 , C23C14/24 , C23C14/18
Abstract: 本发明公开了一种InGaN基光阳极的制备方法,具体按照以下步骤实施:步骤1、在酸性溶液中,采用光电化学刻蚀技术对GaN多层结构进行恒电压刻蚀,制备出中孔GaN镜;步骤2、以中孔GaN镜为衬底,先采用MOCVD技术外延生长InGaN/GaN层,通过能带工程调制In组分,调制其带隙,然后采用电子束蒸发技术,蒸镀欧姆接触电极,制备出InGaN基光阳极;本发明的方法能够制备出开启电压低、效率高及稳定性强的光阳极电极。
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公开(公告)号:CN118016770B
公开(公告)日:2024-10-22
申请号:CN202410122154.1
申请日:2024-01-29
Applicant: 西安工程大学
Abstract: 本发明公开了具有中孔GaN DBR的中孔GaN基LED的制备方法,采用有机金属化学气相沉积技术在衬底上依次外延生长GaN缓冲层、u‑GaN/n‑GaN周期性结构、GaN基超晶格和多量子阱层,得到GaN基MQW结构;在电解液中,对所述GaN基MQW结构进行电化学刻蚀,制备具有中孔GaN DBR的中孔GaN基MQW;以中孔GaN基MQW为衬底,采用再生长技术生长p‑GaN层,制备具有中孔GaN DBR的中孔GaN基LED。本发明是一种具有中孔GaN DBR的中孔GaN基LED的制备方法,能够制备出应力松弛、晶体质量高、散热能力强、大面积、发光效率高的GaN基LED。
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公开(公告)号:CN110299435B
公开(公告)日:2021-04-23
申请号:CN201910537632.4
申请日:2019-06-20
Applicant: 西安工程大学
Inventor: 曹得重
Abstract: 本发明公开的是一种具有分布布拉格反射镜的InP薄膜的制备方法,具体包括以下步骤:步骤1、在电解液中,对InP片进行电化学刻蚀,制得多孔InP,然后提高电压,制备剥离的大面积的多孔InP薄膜;步骤2、在电解液中,对n‑GaN/u‑GaN周期性结构进行电化学刻蚀,制得分布布拉格反射镜;步骤3、采用转移技术将所述多孔InP薄膜转移至步骤2所述分布布拉格反射镜衬底上,最后制备出大面积、具有分布布拉格反射镜的InP薄膜。其光致发光峰位置可调制到541.2nm,且发光强度比转移前的多孔InP提高2‑4倍。
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公开(公告)号:CN109830583B
公开(公告)日:2020-10-27
申请号:CN201910098470.9
申请日:2019-01-31
Applicant: 西安工程大学
Abstract: 本发明公开的是一种具有GaN/纳米空腔的蓝光发光二极管的制备方法,具体包括以下步骤:步骤1、在电解液中,对生长在c‑面蓝宝石衬底上的n‑GaN/n+‑GaN周期性结构进行电化学刻蚀,制得纳米多孔GaN;步骤2、采用退火技术将所述纳米多孔GaN转变为具有GaN/纳米空腔周期性结构的GaN薄膜;步骤3、在所述GaN薄膜上依次外延生长n‑GaN层、InGaN/GaN超晶格和多量子阱层以及Mg掺杂p‑GaN层,制得InGaN基蓝光二极管。本发明是一种具有GaN/纳米空腔的蓝光发光二极管的制备方法,能够制备出大面积、高发光效率的InGaN基蓝光发光二极管。
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公开(公告)号:CN109830583A
公开(公告)日:2019-05-31
申请号:CN201910098470.9
申请日:2019-01-31
Applicant: 西安工程大学
Abstract: 本发明公开的是一种具有GaN/纳米空腔的蓝光发光二极管的制备方法,具体包括以下步骤:步骤1、在电解液中,对生长在c-面蓝宝石衬底上的n-GaN/n+-GaN周期性结构进行电化学刻蚀,制得纳米多孔GaN;步骤2、采用退火技术将所述纳米多孔GaN转变为具有GaN/纳米空腔周期性结构的GaN薄膜;步骤3、在所述GaN薄膜上依次外延生长n-GaN层、InGaN/GaN超晶格和多量子阱层以及Mg掺杂p-GaN层,制得InGaN基蓝光二极管。本发明是一种具有GaN/纳米空腔的蓝光发光二极管的制备方法,能够制备出大面积、高发光效率的InGaN基蓝光发光二极管。
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公开(公告)号:CN115881839A
公开(公告)日:2023-03-31
申请号:CN202211473690.3
申请日:2022-11-22
Applicant: 西安工程大学
IPC: H01L31/028 , H01L31/109 , H01L31/18 , C23C14/18 , C23C14/28
Abstract: 本发明公开了柔性石墨烯/锗异质结的制备方法,以高纯Ge作为靶材,铜箔石墨烯作为衬底,激光作为粒子激发源,采用PLD法在铜箔石墨烯上沉积锗薄膜。本发明还公开了柔性石墨烯/锗异质结的转移方法,给制备好的柔性石墨烯/锗异质结旋涂PMMA支撑膜,然后用CuSO4溶液刻蚀掉铜箔,实现柔性石墨烯/锗异质结的整体转移。本发明提供的柔性石墨烯/锗异质结的制备方法及转移方法解决了石墨烯由于光吸收率低,导致石墨烯探测器的光响应度较低,石墨烯自身的光生载流子寿命短的问题,可以制备出近红外高响应、高速度的石墨烯基异质结。
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公开(公告)号:CN112095117A
公开(公告)日:2020-12-18
申请号:CN202010857283.7
申请日:2020-08-24
Applicant: 西安工程大学
Inventor: 曹得重
Abstract: 本发明公开了一种新型InGaN基光阳极的制备方法,具体按照以下步骤实施:步骤1、在酸性溶液中,采用光电化学刻蚀技术对GaN多层结构进行恒电压刻蚀,制备出中孔GaN镜;步骤2、以中孔GaN镜为衬底,先采用MOCVD技术外延生长InGaN/GaN层,通过能带工程调制In组分,调制其带隙,然后采用电子束蒸发技术,蒸镀欧姆接触电极,制备出InGaN基光阳极;本发明的方法能够制备出开启电压低、效率高及稳定性强的光阳极电极。
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公开(公告)号:CN110299435A
公开(公告)日:2019-10-01
申请号:CN201910537632.4
申请日:2019-06-20
Applicant: 西安工程大学
Inventor: 曹得重
Abstract: 本发明公开的是一种具有分布布拉格反射镜的InP薄膜的制备方法,具体包括以下步骤:步骤1、在电解液中,对InP片进行电化学刻蚀,制得多孔InP,然后提高电压,制备剥离的大面积的多孔InP薄膜;步骤2、在电解液中,对n-GaN/u-GaN周期性结构进行电化学刻蚀,制得分布布拉格反射镜;步骤3、采用转移技术将所述多孔InP薄膜转移至步骤2所述分布布拉格反射镜衬底上,最后制备出大面积、具有分布布拉格反射镜的InP薄膜。其光致发光峰位置可调制到541.2nm,且发光强度比转移前的多孔InP提高2-4倍。
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