一种InGaN基光阳极的制备方法

    公开(公告)号:CN112095117B

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN202010857283.7

    申请日:2020-08-24

    Inventor: 曹得重

    Abstract: 本发明公开了一种InGaN基光阳极的制备方法,具体按照以下步骤实施:步骤1、在酸性溶液中,采用光电化学刻蚀技术对GaN多层结构进行恒电压刻蚀,制备出中孔GaN镜;步骤2、以中孔GaN镜为衬底,先采用MOCVD技术外延生长InGaN/GaN层,通过能带工程调制In组分,调制其带隙,然后采用电子束蒸发技术,蒸镀欧姆接触电极,制备出InGaN基光阳极;本发明的方法能够制备出开启电压低、效率高及稳定性强的光阳极电极。

    一种具有分布布拉格反射镜的InP薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN110299435B

    公开(公告)日:2021-04-23

    申请号:CN201910537632.4

    申请日:2019-06-20

    Inventor: 曹得重

    Abstract: 本发明公开的是一种具有分布布拉格反射镜的InP薄膜的制备方法,具体包括以下步骤:步骤1、在电解液中,对InP片进行电化学刻蚀,制得多孔InP,然后提高电压,制备剥离的大面积的多孔InP薄膜;步骤2、在电解液中,对n‑GaN/u‑GaN周期性结构进行电化学刻蚀,制得分布布拉格反射镜;步骤3、采用转移技术将所述多孔InP薄膜转移至步骤2所述分布布拉格反射镜衬底上,最后制备出大面积、具有分布布拉格反射镜的InP薄膜。其光致发光峰位置可调制到541.2nm,且发光强度比转移前的多孔InP提高2‑4倍。

    一种具有GaN/纳米空腔的蓝光发光二极管的制备方法

    公开(公告)号:CN109830583B

    公开(公告)日:2020-10-27

    申请号:CN201910098470.9

    申请日:2019-01-31

    Inventor: 曹得重 肖洪地

    Abstract: 本发明公开的是一种具有GaN/纳米空腔的蓝光发光二极管的制备方法,具体包括以下步骤:步骤1、在电解液中,对生长在c‑面蓝宝石衬底上的n‑GaN/n+‑GaN周期性结构进行电化学刻蚀,制得纳米多孔GaN;步骤2、采用退火技术将所述纳米多孔GaN转变为具有GaN/纳米空腔周期性结构的GaN薄膜;步骤3、在所述GaN薄膜上依次外延生长n‑GaN层、InGaN/GaN超晶格和多量子阱层以及Mg掺杂p‑GaN层,制得InGaN基蓝光二极管。本发明是一种具有GaN/纳米空腔的蓝光发光二极管的制备方法,能够制备出大面积、高发光效率的InGaN基蓝光发光二极管。

    一种具有GaN/纳米空腔的蓝光发光二极管的制备方法

    公开(公告)号:CN109830583A

    公开(公告)日:2019-05-31

    申请号:CN201910098470.9

    申请日:2019-01-31

    Inventor: 曹得重 肖洪地

    Abstract: 本发明公开的是一种具有GaN/纳米空腔的蓝光发光二极管的制备方法,具体包括以下步骤:步骤1、在电解液中,对生长在c-面蓝宝石衬底上的n-GaN/n+-GaN周期性结构进行电化学刻蚀,制得纳米多孔GaN;步骤2、采用退火技术将所述纳米多孔GaN转变为具有GaN/纳米空腔周期性结构的GaN薄膜;步骤3、在所述GaN薄膜上依次外延生长n-GaN层、InGaN/GaN超晶格和多量子阱层以及Mg掺杂p-GaN层,制得InGaN基蓝光二极管。本发明是一种具有GaN/纳米空腔的蓝光发光二极管的制备方法,能够制备出大面积、高发光效率的InGaN基蓝光发光二极管。

    一种新型InGaN基光阳极的制备方法

    公开(公告)号:CN112095117A

    公开(公告)日:2020-12-18

    申请号:CN202010857283.7

    申请日:2020-08-24

    Inventor: 曹得重

    Abstract: 本发明公开了一种新型InGaN基光阳极的制备方法,具体按照以下步骤实施:步骤1、在酸性溶液中,采用光电化学刻蚀技术对GaN多层结构进行恒电压刻蚀,制备出中孔GaN镜;步骤2、以中孔GaN镜为衬底,先采用MOCVD技术外延生长InGaN/GaN层,通过能带工程调制In组分,调制其带隙,然后采用电子束蒸发技术,蒸镀欧姆接触电极,制备出InGaN基光阳极;本发明的方法能够制备出开启电压低、效率高及稳定性强的光阳极电极。

    一种具有分布布拉格反射镜的InP薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN110299435A

    公开(公告)日:2019-10-01

    申请号:CN201910537632.4

    申请日:2019-06-20

    Inventor: 曹得重

    Abstract: 本发明公开的是一种具有分布布拉格反射镜的InP薄膜的制备方法,具体包括以下步骤:步骤1、在电解液中,对InP片进行电化学刻蚀,制得多孔InP,然后提高电压,制备剥离的大面积的多孔InP薄膜;步骤2、在电解液中,对n-GaN/u-GaN周期性结构进行电化学刻蚀,制得分布布拉格反射镜;步骤3、采用转移技术将所述多孔InP薄膜转移至步骤2所述分布布拉格反射镜衬底上,最后制备出大面积、具有分布布拉格反射镜的InP薄膜。其光致发光峰位置可调制到541.2nm,且发光强度比转移前的多孔InP提高2-4倍。

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