一种薄膜分束镜及其制备方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117784437A

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202410089679.X

    申请日:2024-01-22

    Abstract: 本发明公开了一种薄膜分束镜及其制备方法。本发明的薄膜分束镜包括透射膜基底层和位于所述透射膜基底层上的反射膜,所述反射膜包括一个周期性X/Y层或多个层叠设置的周期性X/Y层,所述周期性X/Y层包括层叠设置的一层X层和一层Y层。本发明的薄膜分束镜的制备方法包括以下步骤:(1)在可溶性衬底上采用溅射镀膜的方式制备所述透射膜基底层;(2)在所述透射膜基底层上采用溅射镀膜的方式依次制备X层和Y层,可选地重复依次制备X层和Y层的过程,形成所述反射膜。本发明的薄膜分束镜制备方法具有简便、能够精准控制透射膜基底层的厚度进而获得精确的透/反射比的优点,且有潜力制得具备更大尺寸通光口径的分束镜。

    一种多层膜反射镜及其制备方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117518321A

    公开(公告)日:2024-02-06

    申请号:CN202311748343.1

    申请日:2023-12-18

    Abstract: 本发明公开了一种多层膜反射镜,所述反射镜包括基底、设置在所述基底上的打底层和设置在所述打底层上的多周期X/配体/Y层;所述多周期X/配体/Y层包括多个层叠设置的单周期X/配体/Y层;所述单周期X/配体/Y层包括依次层叠设置的X层、配体层和Y层;所述配体层的材质为具有选自醛基、羰基、羧基、氨基、碳碳双键、碳氮双键、氰基、偶氮基和硼酸基中的一种或多种基团的化合物。本发明利用配体抑制多层膜反射镜中的界面混合,减少界面粗糙度,提高反射镜的反射率及长期使用稳定性。本发明工艺简易,且兼容薄膜溅射工艺,适合于批量生产。

    一种薄膜分束镜
    4.
    实用新型

    公开(公告)号:CN221528998U

    公开(公告)日:2024-08-13

    申请号:CN202420149884.6

    申请日:2024-01-22

    Abstract: 本实用新型公开了一种薄膜分束镜。本实用新型的薄膜分束镜包括透射膜基底层和位于所述透射膜基底层上的反射膜,所述反射膜包括一个周期性X/Y层或多个层叠设置的周期性X/Y层,所述周期性X/Y层包括层叠设置的一层X层和一层Y层。与现有的薄膜分束镜相比,在相同的透射率下,本实用新型的薄膜分束镜中的透射膜基底层的厚度更大,因此具备更强的机械性能,更大尺寸的自支撑透射膜基底层使得本实用新型的薄膜分束镜可具备更大的通光口径。

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