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公开(公告)号：CN115910895A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202210954916.5
申请日：2022-08-10
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/67
Abstract: 本发明涉及剥离方法、剥离装置以及剥离系统。提供一种能够使剥离处理高效化的技术。本公开的一技术方案的剥离方法包含保持的工序和剥离的工序。保持的工序对将第1基板与第2基板接合而成的重合基板进行保持。剥离的工序以重合基板的侧面为起点自重合基板剥离第1基板。另外，剥离的工序包含使含有水的流体与侧面接触的工序。
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公开(公告)号：CN103222107A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201180056420.6
申请日：2011-09-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01G9/20 , H01G9/2059 , H01L21/67057 , H01L21/67086 , H01L21/67757 , Y02E10/542 , Y02P70/521
Abstract: 本发明的色素吸附装置及色素吸附方法能够大幅缩短使色素吸附于在基板的被处理面形成的多孔质的半导体层的工序的处理时间。为了对批处理张数的基板G一齐实施色素吸附处理，该色素吸附单元（20）具备上面开口的处理槽（30）的同时，作为处理槽（30）周围的可动系统而具有：能够从处理槽（30）的上面开口出入处理槽（30）中的载体（32）；用于使该载体（32）出入处理槽（30）的载体搬送部（34）；以及用于可装卸地堵住处理槽（30）的上面开口的上盖（36）。另外，该色素吸附单元（20）具备用于向处理槽（30）内供给色素溶液的色素溶液供给部，并且具备用于在处理中在处理槽内对色素溶液的流动进行控制的流动控制部。
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公开(公告)号：CN118782477A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202410368025.0
申请日：2024-03-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本公开涉及一种接合方法和接合系统，提高形成重合基板的基板彼此的接合品质。所述接合方法用于将表面有金属材料露出的基板彼此接合，该接合方法包括以下工序：通过处理气体的等离子体将所述基板的要被接合的表面改性；使所述基板的被改性后的表面亲水化；以及将所述基板的被亲水化后的表面彼此接合，其中，在进行所述亲水化的工序中，向所述基板的表面供给处理液，通过该处理液来控制所述金属材料的凹陷量。
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公开(公告)号：CN113795906A
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN202080032907.X
申请日：2020-04-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/02 , H01L21/683
Abstract: 将第一基板与第二基板进行接合的接合装置具有：第一保持部，其保持所述第一基板；第二保持部，其保持所述第二基板，所述第二保持部与所述第一保持部相向地配置；两个摄像单元，两个所述摄像单元具备第一摄像部和第二摄像部，所述第一摄像部拍摄在所述第一基板的接合面形成的第一对准标记，所述第二摄像部拍摄在所述第二基板的接合面形成的第二对准标记；第一移动机构，其使两个所述摄像单元在所述第一保持部与所述第二保持部之间的平面区域内沿第一方向移动；第二移动机构，其使两个所述摄像单元中的第一摄像单元沿与所述第一方向正交的第二方向移动；以及第三移动机构，其使两个所述摄像单元中的第二摄像单元沿所述第二方向移动。
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公开(公告)号：CN113784814A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202080033216.1
申请日：2020-04-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: B23K20/00 , H01L21/02 , H01L21/683
Abstract: 将第一基板与第二基板进行接合的接合装置具有：第一保持部，其保持所述第一基板；第二保持部，其保持所述第二基板，所述第二保持部与所述第一保持部在铅垂方向上相向地配置；处理容器，其用于收容所述第一保持部和所述第二保持部；以及水平位置调整部，其设置于所述处理容器的外部，并经由支承所述第一保持部的支承部而与该第一保持部连接，所述水平位置调整部调整所述第一保持部的水平位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104106178A
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201380008090.2
申请日：2013-02-07
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 寺田尚司
CPC classification number: H01G9/2068 , H01G9/2031 , H01G9/2059 , Y02E10/542 , Y02P70/521
Abstract: 本发明提供色素吸附装置以及色素吸附方法。在色素吸附装置中，与以往相比能够大幅度缩短色素吸附时间从而提高生产量，且能够高效地使用色素溶液而减少成本。色素吸附装置具备：收纳被处理基板(G)并形成处理空间(T)的腔室(10)、向上述处理空间供给色素溶液(20)的色素溶液供给机构(6、7、8)、以及对上述处理空间内进行减压吸引的减压机构(12、13、14)，利用上述减压机构使上述处理空间内的色素溶液被减压干燥，上述色素溶液的溶剂挥发从而使色素吸附于上述半导体多孔质层。
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公开(公告)号：CN113795906B
公开(公告)日：2025-05-02
申请号：CN202080032907.X
申请日：2020-04-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/02 , H01L21/683
Abstract: 将第一基板与第二基板进行接合的接合装置具有：第一保持部，其保持所述第一基板；第二保持部，其保持所述第二基板，所述第二保持部与所述第一保持部相向地配置；两个摄像单元，两个所述摄像单元具备第一摄像部和第二摄像部，所述第一摄像部拍摄在所述第一基板的接合面形成的第一对准标记，所述第二摄像部拍摄在所述第二基板的接合面形成的第二对准标记；第一移动机构，其使两个所述摄像单元在所述第一保持部与所述第二保持部之间的平面区域内沿第一方向移动；第二移动机构，其使两个所述摄像单元中的第一摄像单元沿与所述第一方向正交的第二方向移动；以及第三移动机构，其使两个所述摄像单元中的第二摄像单元沿所述第二方向移动。
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公开(公告)号：CN116724378A
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202280010522.2
申请日：2022-01-13
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/02
Abstract: 本公开的表面改性方法用于通过处理气体的等离子体将基板的与其它基板接合的接合面进行改性，所述表面改性方法包括调整工序和改性工序。在调整工序中，通过向能够收容基板的处理容器内供给加湿后的气体，来调整处理容器内的水分量。在改性工序中，在调整了处理容器内的水分量的状态下，在处理容器内生成处理气体的等离子体，由此将基板的接合面进行改性。
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公开(公告)号：CN113784814B
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202080033216.1
申请日：2020-04-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: B23K20/00 , H01L21/02 , H01L21/683
Abstract: 将第一基板与第二基板进行接合的接合装置具有：第一保持部，其保持所述第一基板；第二保持部，其保持所述第二基板，所述第二保持部与所述第一保持部在铅垂方向上相向地配置；处理容器，其用于收容所述第一保持部和所述第二保持部；以及水平位置调整部，其设置于所述处理容器的外部，并经由支承所述第一保持部的支承部而与该第一保持部连接，所述水平位置调整部调整所述第一保持部的水平位置。
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公开(公告)号：CN114270488A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202080057903.7
申请日：2020-08-12
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/677
Abstract: 本公开涉及一种接合装置，该接合装置具有：第一保持部，其借助粘接有被分割出多个芯片的第一基板的带和装设了所述带的外周的环形框来保持所述第一基板；第二保持部，其以与所述第一基板隔开间隔的方式保持第二基板，所述第二基板以所述第一基板为基准配置于与所述带相反的一侧；以及推压部，其隔着所述带逐个推压所述芯片，来将所述芯片逐个地推压于所述第二基板以与所述第二基板进行接合。
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