公开(公告)号：CN115910895A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202210954916.5

申请日：2022-08-10

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 寺田尚司 ,  三村勇之 ,  前田浩史 ,  野田和孝 ,  本田胜 ,  坂本亮一 ,  山崎穰 ,  北山殖也 ,  福富亮

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明涉及剥离方法、剥离装置以及剥离系统。提供一种能够使剥离处理高效化的技术。本公开的一技术方案的剥离方法包含保持的工序和剥离的工序。保持的工序对将第1基板与第2基板接合而成的重合基板进行保持。剥离的工序以重合基板的侧面为起点自重合基板剥离第1基板。另外，剥离的工序包含使含有水的流体与侧面接触的工序。

公开(公告)号：CN113795906A

公开(公告)日：2021-12-14

申请号：CN202080032907.X

申请日：2020-04-27

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 山崎穰 ,  寺田尚司

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/683

Abstract: 将第一基板与第二基板进行接合的接合装置具有：第一保持部，其保持所述第一基板；第二保持部，其保持所述第二基板，所述第二保持部与所述第一保持部相向地配置；两个摄像单元，两个所述摄像单元具备第一摄像部和第二摄像部，所述第一摄像部拍摄在所述第一基板的接合面形成的第一对准标记，所述第二摄像部拍摄在所述第二基板的接合面形成的第二对准标记；第一移动机构，其使两个所述摄像单元在所述第一保持部与所述第二保持部之间的平面区域内沿第一方向移动；第二移动机构，其使两个所述摄像单元中的第一摄像单元沿与所述第一方向正交的第二方向移动；以及第三移动机构，其使两个所述摄像单元中的第二摄像单元沿所述第二方向移动。

公开(公告)号：CN110718495B

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN201910628978.5

申请日：2019-07-12

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 大塚庆崇 ,  児玉宗久 ,  山崎穰

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/67 ,  H01L21/18

Abstract: 本发明提供一种接合装置和接合方法，能够在将基板彼此接合的接合装置中抑制基板间的位置偏离。基于本公开的接合装置具备第一保持部、第二保持部、摄像单元以及移动机构。第一保持部保持第一基板。第二保持部与第一保持部相向地配置，用于保持与第一基板接合的第二基板。摄像单元包括：第一摄像部，其拍摄在第一基板的与第二基板相向的面形成的第一对准标记；以及第二摄像部，其拍摄在第二基板的与第一基板相向的面形成的第二对准标记。移动机构使摄像单元在第一保持部与第二保持部之间的平面区域内沿第一方向以及与第一方向交叉的第二方向移动。

公开(公告)号：CN113784814A

公开(公告)日：2021-12-10

申请号：CN202080033216.1

申请日：2020-04-27

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 山崎穰 ,  寺田尚司

IPC: B23K20/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/683

Abstract: 将第一基板与第二基板进行接合的接合装置具有：第一保持部，其保持所述第一基板；第二保持部，其保持所述第二基板，所述第二保持部与所述第一保持部在铅垂方向上相向地配置；处理容器，其用于收容所述第一保持部和所述第二保持部；以及水平位置调整部，其设置于所述处理容器的外部，并经由支承所述第一保持部的支承部而与该第一保持部连接，所述水平位置调整部调整所述第一保持部的水平位置。

公开(公告)号：CN113795906B

公开(公告)日：2025-05-02

申请号：CN202080032907.X

申请日：2020-04-27

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 山崎穰 ,  寺田尚司

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/683

Abstract: 将第一基板与第二基板进行接合的接合装置具有：第一保持部，其保持所述第一基板；第二保持部，其保持所述第二基板，所述第二保持部与所述第一保持部相向地配置；两个摄像单元，两个所述摄像单元具备第一摄像部和第二摄像部，所述第一摄像部拍摄在所述第一基板的接合面形成的第一对准标记，所述第二摄像部拍摄在所述第二基板的接合面形成的第二对准标记；第一移动机构，其使两个所述摄像单元在所述第一保持部与所述第二保持部之间的平面区域内沿第一方向移动；第二移动机构，其使两个所述摄像单元中的第一摄像单元沿与所述第一方向正交的第二方向移动；以及第三移动机构，其使两个所述摄像单元中的第二摄像单元沿所述第二方向移动。

公开(公告)号：CN113784814B

公开(公告)日：2023-08-15

申请号：CN202080033216.1

申请日：2020-04-27

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 山崎穰 ,  寺田尚司

IPC: B23K20/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/683

Abstract: 将第一基板与第二基板进行接合的接合装置具有：第一保持部，其保持所述第一基板；第二保持部，其保持所述第二基板，所述第二保持部与所述第一保持部在铅垂方向上相向地配置；处理容器，其用于收容所述第一保持部和所述第二保持部；以及水平位置调整部，其设置于所述处理容器的外部，并经由支承所述第一保持部的支承部而与该第一保持部连接，所述水平位置调整部调整所述第一保持部的水平位置。

公开(公告)号：CN115410997A

公开(公告)日：2022-11-29

申请号：CN202210558803.3

申请日：2022-05-20

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 三村勇之 ,  前田浩史 ,  寺田尚司 ,  本田胜 ,  坂本亮一 ,  山崎穰

IPC: H01L23/00 ,  H01L21/67 ,  H01J37/32 ,  H01L21/306

Abstract: 本发明提供一种接合系统和表面改性方法，能够提高重合基板的接合质量。本公开的一个方式的接合系统具备表面改性装置和接合装置。表面改性装置通过处理气体的等离子体对基板的与其它基板进行接合的接合面进行改性。接合装置通过分子间力将被表面改性装置改性后的两个所述基板接合。另外，表面改性装置具备能够收容基板的处理容器、向处理容器的内部供给包含水分的处理气体的处理气体供给部、以及生成包含水分的处理气体的等离子体的等离子体生成部。

公开(公告)号：CN110718495A

公开(公告)日：2020-01-21

申请号：CN201910628978.5

申请日：2019-07-12

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 大塚庆崇 ,  児玉宗久 ,  山崎穰

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/67 ,  H01L21/18

Abstract: 本发明提供一种接合装置和接合方法，能够在将基板彼此接合的接合装置中抑制基板间的位置偏离。基于本公开的接合装置具备第一保持部、第二保持部、摄像单元以及移动机构。第一保持部保持第一基板。第二保持部与第一保持部相向地配置，用于保持与第一基板接合的第二基板。摄像单元包括：第一摄像部，其拍摄在第一基板的与第二基板相向的面形成的第一对准标记；以及第二摄像部，其拍摄在第二基板的与第一基板相向的面形成的第二对准标记。移动机构使摄像单元在第一保持部与第二保持部之间的平面区域内沿第一方向以及与第一方向交叉的第二方向移动。