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公开(公告)号：CN101339128A
公开(公告)日：2009-01-07
申请号：CN200810119126.5
申请日：2008-08-27
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种表面等离子体共振成像纳米结构阵列芯片的制备方法，其特征在于包括以下步骤：(1)选择基片并清洗；(2)采用真空蒸镀在基片上镀上第一层金属膜；(3)在金属膜层上自组装一层聚苯乙烯纳米球；(4)在自组装层上蒸镀第二层金属薄膜，填充球与球之间的间隙；(5)通过Lift off工艺去除纳米球；(6)采用激光直写机制作微米量级的点阵掩模板；(7)利用光刻将掩模图形转移到基板上；(8)通过显影、去胶，得到点阵图形；(9)通过化学方法，去除多余金属和光刻胶，形成具有周期性纳米结构的金属点阵芯片；本发明采用纳米聚苯乙烯球进行自组装的方法实现周期性纳米结构的制备，适合大批量的制作纳米结构。
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公开(公告)号：CN117518455A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311615208.X
申请日：2023-11-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G02B26/02
Abstract: 本申请提供了一种微型机械光开关，涉及光开关技术领域，该微型机械光开关包括光通道主体、挡光板导轨、挡光板和驱动组件；光通道主体中部空心部分为光通道，用于光线的通过；挡光板导轨安装在光通道主体上，挡光板导轨的导轨垂直于光通道；挡光板置于导轨中，可在导轨中滑动；驱动组件安装在光通道主体上，驱动组件与挡光板的一端连接，带动挡光板在导轨中滑动，以实现光通道打开和关闭的切换。本申请避免了复杂的电磁器件，整体功耗低，发热低、红外辐射少。多层挡光板的配合使用，能使多路光开关体积小巧，利于大规模集成。
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公开(公告)号：CN113820850A
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN202110965435.X
申请日：2021-08-23
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明公开了一种集成球面反射镜的MEMS微快门阵列器件，该器件由多个完全相同的单元以一定的规则排列在衬底表面而形成。所述的单元包括支撑柱、镜面和电极。支撑柱起到支撑镜面的作用，镜面中部下方与支撑柱相连，四周边缘悬空。电极位于镜面的正下方，即支撑柱的四周。镜面初始未工作时呈凹面，其曲率可由加工工艺决定。入射平行光照射到镜面，根据几何光学可知反射光将会发生汇聚。给镜面及电极施加一定的直流电势差，则由于静电力的吸引，镜面边缘会向下弯曲，从而使整个镜面由凹面变为凸面，因而将使反射光发散。本发明通过镜面的变形，可以实现汇聚光束的开启和关闭，从而完成了传统微透镜和微快门共同才能完成的功能。
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公开(公告)号：CN104330896B
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201410613218.4
申请日：2014-11-04
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种利用全内反射棱镜阵列实现高通量虚拟狭缝的光学系统，包括：子午方向的前置短焦柱透镜、弧矢方向的前置长焦柱透镜、全内反射棱镜阵列、弧矢方向的后置长焦柱透镜以及子午方向的后置短焦柱透镜。圆形光纤端面输入的信号光分别经子午方向的前置短焦柱透镜和弧矢方向的前置长焦柱透镜准直后形成一个椭圆光斑，椭圆的长轴位于弧矢方向，短轴位于子午方向。椭圆光斑在弧矢方向经全内反射棱镜阵列分割后，将分割后的椭圆光斑旋转重排，再经弧矢方向的后置长焦柱透镜和子午方向的后置短焦柱透镜后，即可获得所需的高通量虚拟狭缝。本发明的光路简单，光能利用率高。
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公开(公告)号：CN102862950B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201210365757.1
申请日：2012-09-27
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种纳米缝隙金属聚焦透镜的制备方法，首先确定入射波长，选取合适的透光基底材料，基底上再蒸镀一层金属膜，让入射光垂直于金属膜表面入射；利用纳米加工技术在金属膜上加工等宽度的狭缝或者环形缝阵列；对于预定焦点位置的光聚焦，计算光在焦点位置聚焦时光波在不同位置排布的狭缝或者环形缝的位相延迟分布，通过聚焦离子束引导沉积特定厚度的介质满足光波在不同位置排布狭缝或者环形缝的位相延迟要求，使金属聚焦透镜实现对入射光在预定焦点位置的聚焦。本发明根据预定的焦点位置来改变金属聚焦透镜的狭缝或者环形缝内介质厚度沉积以实现近场或者远场光聚焦，同时其透镜结构简单，可很方便的用于光路系统集成，具有广阔的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104330896A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201410613218.4
申请日：2014-11-04
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
CPC classification number: G02B27/0911 , G01J3/04 , G02B27/0961 , G02B27/0972
Abstract: 本发明公开了一种利用全内反射棱镜阵列实现高通量虚拟狭缝的光学系统，包括：子午方向的前置短焦柱透镜、弧矢方向的前置长焦柱透镜、全内反射棱镜阵列、弧矢方向的后置长焦柱透镜以及子午方向的后置短焦柱透镜。圆形光纤端面输入的信号光分别经子午方向的前置短焦柱透镜和弧矢方向的前置长焦柱透镜准直后形成一个椭圆光斑，椭圆的长轴位于弧矢方向，短轴位于子午方向。椭圆光斑在弧矢方向经全内反射棱镜阵列分割后，将分割后的椭圆光斑旋转重排，再经弧矢方向的后置长焦柱透镜和子午方向的后置短焦柱透镜后，即可获得所需的高通量虚拟狭缝。本发明的光路简单，光能利用率高。
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公开(公告)号：CN103246066A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201310184817.4
申请日：2013-05-17
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G02B27/09
Abstract: 本发明为一种对面阵半导体激光光束进行匀化处理的光学系统，含有面阵半导体激光器、准直透镜阵列、第一微透镜阵列、第二微透镜阵列、慢轴场镜、快轴场镜，面阵半导体激光器位于微准直透镜阵列的前焦面上，并以面阵半导体激光器输出激光束为系统光轴；第一微透镜阵列、第二微透镜阵列、慢轴场镜和快轴场镜依序位于光轴上并垂直于光轴；半导体激光器发出的多模激光光束经准直透镜阵列准直后平行入射，再经第一微透镜阵列将激光光束均匀地分割成多个子光束并聚焦于后焦面上，再经第二微透镜阵列、慢轴场镜和快轴场镜将每一子光束叠加于场镜的后焦面，即照明面上。本发明用柱形菲涅耳衍射微透镜阵列实现对半导体激光光束的匀化，提高光束的质量。
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公开(公告)号：CN103091301A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201310042069.6
申请日：2013-02-04
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01N21/65
Abstract: 本发明公开了一种2，4-二硝基甲苯快速检测方法，其特征在于包含步骤如下：根据需要选择传感芯片基底材料；在经清洗后的基底上制作金属纳米阵列结构，得到传感芯片；将待测溶液结合在上述上述传感芯片上后，待其自然风干后放入拉曼光谱检测设备中在500-2000cm-1的范围内进行拉曼光谱扫描得到待测溶液的拉曼光谱谱图；通过光谱软件分析待测溶液拉曼光谱谱图中1352cm-1的特征峰的相对强度与2，4-二硝基甲苯含量的线性比例关系，进而实现2，4-二硝基甲苯的定量和定性检测。本发明的2，4-二硝基甲苯快速检测方法具有高灵敏度、响应速度快、特异性高等优点。
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公开(公告)号：CN103076646A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201310035344.1
申请日：2013-01-30
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种纳米尺度超分辨光学聚焦器件的制作方法，包括S1：选择入射光的工作波长选择能透光的基底；在表面蒸镀厚度为的金属膜，入射光垂直于金属膜的上表面入射；S2：根据工作波长选择金属薄膜与介质薄膜的材料，设计菲涅尔各级波带半径；S3：选择凹槽环带的位置即内环半径；步骤S4：根据焦斑强度需要调制凹槽环带的宽度与深度；S5：根据入射光偏振态选择凹槽环带的排列方向；S6：用加工技术获得菲涅尔波带环形条缝和凹槽的金属掩膜；S7：在金属掩膜后表面交替蒸镀纳米厚度的金属和介质多层膜结构，沉积多层膜的总厚度为透镜的焦距；S8：在多层膜结构后蒸镀一层纳米厚度的光刻胶及一层反射金属层，获得纳米尺度超分辨光学聚焦器件。
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公开(公告)号：CN102073225B
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201110038321.7
申请日：2011-02-14
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种纳光子直写头精密旋转定位调焦系统，属于直写光刻设备领域，(1)直写头调节装置可以进行纳米级Z向移动；(2)直写头调节装置可以进行0～90°转动；(3)基片台可以进行高速转动；(4)直写头悬臂具有一定弹性变形量；(5)直写头采用空气动力学原理设计结构，可以在基片台转动产生的气流作用下浮起基片表面。基片台高速转动时产生的气流可以实现直写头浮起基片表面几十纳米范围，保证光刻时两者距离处于近场倏逝波作用范围，突破衍射极限限制，实现高分辨力的光刻结果。
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