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公开(公告)号：CN104330890B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201410614452.9
申请日：2014-11-04
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G02B26/00
Abstract: 本发明提供一种长腔长微机电可调谐法布里－珀罗滤波器，滤波器的上基板由双面腐蚀后截面呈“W”形的体硅及其下表面的浓硼掺杂层构成，“W”形体硅上表面以透明薄膜作为支撑膜，其上的反射膜作为法布里－珀罗滤波器的前腔镜，“W”形体硅下表面不同区域的浓硼掺杂层可分别作为悬臂梁和上电极。滤波器的下基板由石英玻璃构成，其上表面与前腔镜和上电极对应的区域分别制作有后腔镜和下电极，下表面与后腔镜对应的区域刻有衍射光栅。该微机电滤波器可方便获得200μm以上的初始腔长，能在不同方向上实现单一波长的滤波，具有窄半峰全宽和宽自由光谱范围的优点，在光通讯，光信息读取，激光技术等领域中有广泛的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104330890A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201410614452.9
申请日：2014-11-04
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G02B26/00
Abstract: 本发明提供一种长腔长微机电可调谐法布里－珀罗滤波器，滤波器的上基板由双面腐蚀后截面呈“W”形的体硅及其下表面的浓硼掺杂层构成，“W”形体硅上表面以透明薄膜作为支撑膜，其上的反射膜作为法布里－珀罗滤波器的前腔镜，“W”形体硅下表面不同区域的浓硼掺杂层可分别作为悬臂梁和上电极。滤波器的下基板由石英玻璃构成，其上表面与前腔镜和上电极对应的区域分别制作有后腔镜和下电极，下表面与后腔镜对应的区域刻有衍射光栅。该微机电滤波器可方便获得200μm以上的初始腔长，能在不同方向上实现单一波长的滤波，具有窄半峰全宽和宽自由光谱范围的优点，在光通讯，光信息读取，激光技术等领域中有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN104330896B
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201410613218.4
申请日：2014-11-04
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种利用全内反射棱镜阵列实现高通量虚拟狭缝的光学系统，包括：子午方向的前置短焦柱透镜、弧矢方向的前置长焦柱透镜、全内反射棱镜阵列、弧矢方向的后置长焦柱透镜以及子午方向的后置短焦柱透镜。圆形光纤端面输入的信号光分别经子午方向的前置短焦柱透镜和弧矢方向的前置长焦柱透镜准直后形成一个椭圆光斑，椭圆的长轴位于弧矢方向，短轴位于子午方向。椭圆光斑在弧矢方向经全内反射棱镜阵列分割后，将分割后的椭圆光斑旋转重排，再经弧矢方向的后置长焦柱透镜和子午方向的后置短焦柱透镜后，即可获得所需的高通量虚拟狭缝。本发明的光路简单，光能利用率高。
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公开(公告)号：CN103308168B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201310268541.8
申请日：2013-06-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于法布里－珀罗腔扫描滤波的光谱分辨率增强方法，在光栅光谱仪光路中加入一个法布里－珀罗腔扫描滤波器，滤波器的腔长可调，调制范围为待侧信号光最大波长的1/2；当法布里－珀罗腔扫描滤波器处于初始腔长时，仅将信号光中的部分谱线滤出；被滤出的这一部分谱线能够被线阵探测器分辨并采集；利用驱动器改变法布里－珀罗腔的腔长，将信号光中另一部分的谱线滤出；被滤出的这一部分谱线也能够被线阵探测器分辨并采集；将不同腔长下采集的各部分光谱进行合成，实现宽光谱范围的光谱拼接；光谱拼接后所获得的包络面即为信号光被检测到的光谱图。本发明在保证光栅光谱仪自由光谱范围的同时，可有效提高光栅光谱仪的光谱分辨率。
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公开(公告)号：CN104330896A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201410613218.4
申请日：2014-11-04
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
CPC classification number: G02B27/0911 , G01J3/04 , G02B27/0961 , G02B27/0972
Abstract: 本发明公开了一种利用全内反射棱镜阵列实现高通量虚拟狭缝的光学系统，包括：子午方向的前置短焦柱透镜、弧矢方向的前置长焦柱透镜、全内反射棱镜阵列、弧矢方向的后置长焦柱透镜以及子午方向的后置短焦柱透镜。圆形光纤端面输入的信号光分别经子午方向的前置短焦柱透镜和弧矢方向的前置长焦柱透镜准直后形成一个椭圆光斑，椭圆的长轴位于弧矢方向，短轴位于子午方向。椭圆光斑在弧矢方向经全内反射棱镜阵列分割后，将分割后的椭圆光斑旋转重排，再经弧矢方向的后置长焦柱透镜和子午方向的后置短焦柱透镜后，即可获得所需的高通量虚拟狭缝。本发明的光路简单，光能利用率高。
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公开(公告)号：CN103308168A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310268541.8
申请日：2013-06-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于法布里－珀罗腔扫描滤波的光谱分辨率增强方法，在光栅光谱仪光路中加入一个法布里－珀罗腔扫描滤波器，滤波器的腔长可调，调制范围为待侧信号光最大波长的1/2；当法布里－珀罗腔扫描滤波器处于初始腔长时，仅将信号光中的部分谱线滤出；被滤出的这一部分谱线能够被线阵探测器分辨并采集；利用驱动器改变法布里－珀罗腔的腔长，将信号光中另一部分的谱线滤出；被滤出的这一部分谱线也能够被线阵探测器分辨并采集；将不同腔长下采集的各部分光谱进行合成，实现宽光谱范围的光谱拼接；光谱拼接后所获得的包络面即为信号光被检测到的光谱图。本发明在保证光栅光谱仪自由光谱范围的同时，可有效提高光栅光谱仪的光谱分辨率。
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