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公开(公告)号：CN102565930A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201210026572.8
申请日：2012-02-07
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于平面金属条的光波导及其制备方法，其结构特征包括掺杂硅层及其上加工的平面金属条。制作流程包括：选择合适的绝缘硅(SOI)，在掺杂硅表面沉积一层金属膜，再在金属膜表面涂覆抗蚀剂，利用紫外纳米压印技术在抗蚀剂上制作图形，最后通过干法刻蚀得到基于平面金属条的光波导。本发明中的光波导是由平面金属条制备于掺杂硅表面而成，可以使其在约束光波和降低能量损耗方面有明显改善；同时使用SOI片，避免了掺杂不均、掺杂层厚度难控制等缺点，保证了掺杂的浓度和均匀度；另外，本发明采用紫外纳米压印技术可以获得大面积、均匀度好的平面金属条，并降低了成本。
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公开(公告)号：CN102180438A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201110075312.5
申请日：2011-03-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种可调谐三角形金属纳米粒子阵列结构的制作方法，步骤：(1)根据透射波长的需要选择合适型号的基底，对基底进行清洗、亲水化处理；(2)在基底表面均匀的自组装一层纳米球；(3)采用反应离子刻蚀机RIE工艺对制作的纳米球自组装层进行刻蚀，改变纳米球的间隙的尺寸大小；(4)利用刻蚀后的纳米球自组装作为模具，在球与球之间的间隙处填充金属；(5)通过Lift off工艺去除纳米球自组装层，得到阵列化的金属纳米结构芯片。本发明制作的金属纳米结构芯片的光学性质可控，可应用于局域表面等离子体共振(LSPR)传感、表面增强拉曼光谱(SERS)探测领域，实现生物、化学分子的快速检测。
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公开(公告)号：CN101344482A
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200810119129.9
申请日：2008-08-27
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 复合金属纳米结构检测金黄色葡萄球菌肠毒素的方法，包括以下步骤：(1)选择基片并清洗，在其上自组装一层聚苯乙烯纳米球；(2)用制作的聚苯乙烯纳米球自组装层做模具，通过真空蒸镀的方式，在自组装层上蒸镀银、金两种金属膜；(3)通过Lift－off工艺去除聚苯乙烯纳米球自组装层，得到阵列化的金属纳米阵列结构；(4)在金属纳米层上采用非定向共价连接法进行活化，在金属纳米结构表面形成一层抗SE羊单克隆抗体IgG的生物分子膜；(5)采用光谱仪提取该结构的消光光谱，获得其生物结合前的消光谱峰值；(6)将基片表面滴上待测溶液，反应后吹干，并重复步骤(5)；(7)通过步骤(6)前后的消光谱峰值对比，确定待测溶液中是否含有SE；在本方法中，待测溶液不需要进行纯化和标记，可应用于对SE或同类型毒素的快速检测。
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公开(公告)号：CN101339128A
公开(公告)日：2009-01-07
申请号：CN200810119126.5
申请日：2008-08-27
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种表面等离子体共振成像纳米结构阵列芯片的制备方法，其特征在于包括以下步骤：(1)选择基片并清洗；(2)采用真空蒸镀在基片上镀上第一层金属膜；(3)在金属膜层上自组装一层聚苯乙烯纳米球；(4)在自组装层上蒸镀第二层金属薄膜，填充球与球之间的间隙；(5)通过Lift off工艺去除纳米球；(6)采用激光直写机制作微米量级的点阵掩模板；(7)利用光刻将掩模图形转移到基板上；(8)通过显影、去胶，得到点阵图形；(9)通过化学方法，去除多余金属和光刻胶，形成具有周期性纳米结构的金属点阵芯片；本发明采用纳米聚苯乙烯球进行自组装的方法实现周期性纳米结构的制备，适合大批量的制作纳米结构。
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公开(公告)号：CN102560565B
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201210027790.3
申请日：2012-02-07
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于绝缘硅(SOI)和电铸技术的金属纳米线阵及其制备方法，该金属纳米线阵的各金属线之间由掺杂硅介质材料填充，其制备流程包括：选取SOI，并在其上下表面各沉积一层氮化硅薄膜；采用光刻及干法刻蚀，在SOI下底面氮化硅膜层上制作一个开口，露出体硅表面；采用氢氧化钾湿法腐蚀，以氮化硅为掩蔽层将露出的体硅表面腐蚀完毕，露出二氧化硅表面；在SOI的上表面涂覆光刻胶，通过光刻和刻蚀制作纳米通孔；将具有纳米通孔的SOI器件电铸，获得掺杂硅包裹的金属线条；采用干法刻蚀将氮化硅去除，并用氢氟酸溶液去除二氧化硅，完成金属纳米线阵的制备。本发明不易损伤，且采用SOI片进行制作，避免了掺杂不均、掺杂层厚度难控制等缺点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102556950B
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201210026732.9
申请日：2012-02-07
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于三层结构的可调谐人工电磁材料及其制作方法，该人工电磁材料是由金属-掺杂介质-金属三层结构组成的微纳米图形结构，可用于红外、太赫兹波段。其制作方法包括：选择绝缘硅，利用沉积、粘结、干法刻蚀、湿法腐蚀、再沉积的技术，在基片上获得金属-掺杂介质-金属的三层结构；在三层结构之上进行光刻，获得光刻胶图形；利用离子束刻蚀将光刻胶图形转移到金属膜层上，即可获得基于金属-掺杂介质-金属三层结构的人工电磁材料。本发明的制作方法避免了常规方法如溅射、离子注入、键合等方法制备掺杂硅带来的掺杂难、掺杂不均、掺杂层厚度难控制等缺点，工艺简单，易于控制，是人工电磁材料的一种高效可靠的制作方法。
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公开(公告)号：CN102556950A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201210026732.9
申请日：2012-02-07
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于三层结构的可调谐人工电磁材料及其制作方法，该人工电磁材料是由金属-掺杂介质-金属三层结构组成的微纳米图形结构，可用于红外、太赫兹波段。其制作方法包括：选择绝缘硅，利用沉积、粘结、干法刻蚀、湿法腐蚀、再沉积的技术，在基片上获得金属-掺杂介质-金属的三层结构；在三层结构之上进行光刻，获得光刻胶图形；利用离子束刻蚀将光刻胶图形转移到金属膜层上，即可获得基于金属-掺杂介质-金属三层结构的人工电磁材料。本发明的制作方法避免了常规方法如溅射、离子注入、键合等方法制备掺杂硅带来的掺杂难、掺杂不均、掺杂层厚度难控制等缺点，工艺简单，易于控制，是人工电磁材料的一种高效可靠的制作方法。
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公开(公告)号：CN101143710B
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN200710176011.5
申请日：2007-10-17
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: B82B3/00
Abstract: 菱形金属纳米粒子阵列结构制作法：(1)选取精抛光的硅酸盐玻璃作为基板，在玻璃表面沉积一层几纳米厚的铬；(2)将直径比例为1∶2.5的两种单分散聚苯乙烯纳米球按比例混合；(3)用化学方法对镀铬玻璃板进行亲水化处理；(4)在经过亲水化处理后的镀铬玻璃板表面自组装一层混合聚苯乙烯纳米球；(5)采用反应离子刻蚀机(RIE)对制作的聚苯乙烯纳米球自组装层进行刻蚀，把直径小的聚苯乙烯纳米球完全刻蚀掉；(6)用刻蚀后的聚苯乙烯纳米球自组装层做模具，在球与球的间隙处填充金属；(7)去除聚苯乙烯纳米球自组装层，得到菱形金属纳米粒子列阵结构。利用本发明制作的阵列化的金属纳米列阵结构可应用于生物传感领域，实现多种生物分子的多通道快速检测。
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公开(公告)号：CN101504360A
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200910078803.8
申请日：2009-03-03
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01N21/31
Abstract: 本发明公开了一种有机气体传感方法，其特征在于包含步骤如下：根据透射波长的需要选择合适型号的传感芯片基底，对基底进行清洗、干燥；在基底上制作金属纳米结构阵列，即得到传感芯片；根据所要检测的气体种类，在上述金属纳米结构阵列上结合一层气体敏感膜；吸附某种有机气体以后，利用光源照射传感芯片，再用光谱测试仪探测透射光得到消光光谱；分析消光光谱，获得气体的浓度信息。本发明的有机气体的传感方法具有方便易行、响应速度快、成本低等优点。可以用于环境检测、爆炸物检测、食品安全等方面。
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公开(公告)号：CN101143710A
公开(公告)日：2008-03-19
申请号：CN200710176011.5
申请日：2007-10-17
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: B82B3/00
Abstract: 菱形金属纳米粒子阵列结构制作法：(1)选取精抛光的硅酸盐玻璃作为基板，在玻璃表面沉积一层几纳米厚的铬；(2)将直径比例为1∶2.5的两种单分散聚苯乙烯纳米球按比例混合；(3)用化学方法对镀铬玻璃板进行亲水化处理；(4)在经过亲水化处理后的镀铬玻璃板表面自组装一层混合聚苯乙烯纳米球；(5)采用反应离子刻蚀机(RIE)对制作的聚苯乙烯纳米球自组装层进行刻蚀，把直径小的聚苯乙烯纳米球完全刻蚀掉；(6)用刻蚀后的聚苯乙烯纳米球自组装层做模具，在球与球的间隙处填充金属；(7)去除聚苯乙烯纳米球自组装层，得到菱形金属纳米粒子列阵结构。利用本发明制作的阵列化的金属纳米列阵结构可应用于生物传感领域，实现多种生物分子的多通道快速检测。
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