公开(公告)号：CN109683326A

公开(公告)日：2019-04-26

申请号：CN201811186416.1

申请日：2018-10-11

Applicant: 松下知识产权经营株式会社

Inventor： 福井厚司 ,  藤田胜

IPC: G02B27/09

CPC classification number: G02B27/48 ,  G01S7/4814 ,  G01S17/42 ,  G02B5/021 ,  G02B5/0215 ,  G02B5/0257 ,  G02B5/0278 ,  G02B19/0014 ,  G02B19/0052 ,  G02B26/0808 ,  G02B27/0911 ,  G02B27/0916 ,  G02B27/0927 ,  G02B27/095 ,  G03B21/005 ,  G03B21/142 ,  G02B27/0955 ,  G02B27/0938

Abstract: 本发明提供一种激光投射装置。激光投射装置具有：激光源、扩散板和壳体。扩散板具有入射面和出射面，入射激光源的出射光。在入射面和出射面的至少一方，排列直线状的多个槽。壳体具有在激光源的射出方向，射出通过槽而扩散的光的开口部。

公开(公告)号：CN108919512A

公开(公告)日：2018-11-30

申请号：CN201810723912.X

申请日：2015-02-04

Applicant: 株式会社理光

Inventor： 齐所贤一郎 ,  稻本慎

IPC: G02B27/48 ,  G02B27/01 ,  G02B27/00 ,  G02B3/00

CPC classification number: G02B27/48 ,  G02B3/0006 ,  G02B3/0056 ,  G02B26/101 ,  G02B27/0081 ,  G02B27/0101 ,  G02B27/0905 ,  G02B27/0911 ,  G02B27/0961 ,  G02B27/1033 ,  G02B2027/0114 ,  G02B2027/0118 ,  G02B2027/0123 ,  G03B21/2073 ,  H04N9/3129 ,  H04N9/3161

Abstract: 一种图像显示装置包含：激光源；光学元件；和透射反射部件，图像显示装置通过从激光源发射的光来形成图像，并使得形成图像之后的图像光入射在透射反射部件上，来显示图像，其中，激光源被排列为使入射在透射反射部件上的图像光相对于透射反射部件的S偏光成分多于P偏光成分，其中，光学元件被排列在激光源和透射反射部件之间的光路上，光学元件是透镜阵列，透镜阵列包括其上形成图像的多个透镜，从激光源发射的光的有效横截面是相对于透射反射部件垂直长和横向长中的一个,和被透射穿过透镜阵列的光的有效横截面是相对于透射反射部件垂直长和横向长中的另一个。

公开(公告)号：CN108681086A

公开(公告)日：2018-10-19

申请号：CN201810735807.8

申请日：2018-07-06

Applicant: 温州大学激光与光电智能制造研究院 ,  温州大学

Inventor： 冯爱新 ,  陈欢 ,  尚大智 ,  贾天代 ,  刘勇

IPC: G02B27/09

CPC classification number: G02B27/0911 ,  G02B27/0955

Abstract: 本发明公开了激光光斑整形装置及方法，包括用于光斑形状变换的二元光学元件，用于控制二元光学元件移动的电动平移台以及用于光斑整形的伽利略望远镜结构，二元光学元件固定于电动平移台上，伽利略望远镜结构包括一凹透镜和一凸透镜，凸透镜与凹透镜位于同一中心线上。控制电动平移台的移动带动二元光学元件移动，使二元光学元件移动至与伽利略望远镜结构中心重合处，实现方形光斑的输出；通过控制电动平移台的移动带动二元光学元件从与伽利略望远镜结构中心重合处移出，实现圆形光斑的输出；通过光斑整形将输入的圆形光斑变换调整为方形光斑输出，使激光器的输出光斑在圆形光斑与方形光斑之间进行切换。实现圆形光斑与方形光斑的输出变换。

公开(公告)号：CN106094218A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201610462816.5

申请日：2016-06-23

Applicant: 夏辉

Inventor： 夏辉 ,  肖志宇

IPC: G02B27/09

CPC classification number: G02B27/0911 ,  G02B27/0938 ,  G02B27/0966

Abstract: 本发明提供了一种空心光束的产生装置。其中，该装置包括空间光调制器、分束器、反射镜和变换系统。空间光调制器、反射镜和变换系统分别在分束器不同的侧部；空间光调制器与分束器之间的距离等于反射镜与分束器之间的距离；空间光调制器用于接收分束器所射出的第一光束和向分束器反射出第二光束，第一光束与第二光束具有π的相位差；变换系统用于接收分束器所射出的第三光束和输出空心光束，第三光束为第二光束与反射镜反射的第四光束重合的光束；第二光束与第四光束具有π的相位差。本发明利用分束器实现激光光束的耦合，对激光光束直接调制产生空心光束，装置简单易操作。

公开(公告)号：CN105980912A

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201480067297.1

申请日：2014-12-04

Applicant: 通快激光有限责任公司 ,  通快激光与系统工程有限公司

Inventor： S·多雷尔 ,  M·库姆卡尔 ,  C·蒂尔科恩

IPC: G02B27/09 ,  B23K26/064 ,  G02B15/173

CPC classification number: G02B27/0911 ,  B23K26/064 ,  G02B15/173 ,  G02B27/0966

Abstract: 光学组件(1)，用于改变激光射线(2)的正交的两个射线横截面轴线(a，b)在焦平面(F)中的比例，其根据本发明包括：准直光具(4)，用于准直发散的激光射线(2a)；布置在该准直光具(4)后面的柱面透镜望远镜(5)，用于仅在第二射线横截面轴线(b)的方向上改变准直过的射线(2b)的射线横截面，其中，该柱面透镜望远镜(5)具有在射线方向(3)上具有正焦距、负焦距和正焦距的三个透镜或透镜组(51，52，53)，与在所述柱面透镜望远镜(5)的输入部上相比，所述透镜或透镜组在所述柱面透镜望远镜(5)的输出部上产生在第二射线横截面轴线(b)的方向上具有较小射线直径和较大剩余发散度的准直过的射线(2c)；以及布置在该柱面透镜望远镜(5)后面的聚焦光具(6)，用于聚焦在所述两个射线横截面轴线(a，b)的方向上准直过的激光射线(2b，2c)。

公开(公告)号：CN105643107A

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201610048597.6

申请日：2013-12-18

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 道格拉斯·E·霍姆格伦

IPC: B23K26/352 ,  B23K26/064 ,  B23K26/073 ,  C21D1/09

CPC classification number: G02B27/0988 ,  G02B27/0911 ,  H01L21/268 ,  H01L21/2686 ,  H01L21/324 ,  B23K26/064 ,  B23K26/073 ,  B23K26/352 ,  C21D1/09

Abstract: 本发明的实施方式一般涉及具有用于将图案成像于基板上的光学元件的激光退火系统。光学元件可包含将图像整形以暴露于基板的表面上的多个孔或一个孔。该图像可由光学元件系统内的孔的形状加以确定。

公开(公告)号：CN105353514A

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201510783316.7

申请日：2015-11-16

Applicant: 华侨大学 ,  麦克奥迪实业集团有限公司 ,  宁波五维检测科技有限公司

Inventor： 易定容

IPC: G02B27/09 ,  C12M1/42

CPC classification number: G02B27/0933 ,  C12M35/02 ,  G02B27/0911

Abstract: 本发明提供了一种减小激光束横截面积的方法，在激光发射器与被照物体之间的光路中设置空间光调制器；所述激光发射器发出的入射激光束在空间光调制器上产生主光斑和副光斑；所述主光斑覆盖到空间光调制器的N个相邻的微单元上，只打开以主光斑圆心为中心n个微单元(n＝1,2,…,N)，其它N-n个微单元为关闭状态，则出射激光束的横截面积d＝D×(n/N)，其中D为主光斑的横截面积。本发明还提供了一种激光显微切割的方法和装置。上述的一种减小激光束横截面积的方法，通过人为操作和控制，使激光束的横截面积在一定范围内缩小。上述的一种激光显微切割的方法和装置，能够实现切割线宽度小到微米甚至亚微米的激光切割。

公开(公告)号：CN102540495B

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201110400923.2

申请日：2011-11-25

Applicant: 财团法人工业技术研究院

Inventor： 林晖雄 ,  杨文勋 ,  许沁如 ,  鲍友南

IPC: G02B27/30 ,  F21V5/04 ,  F21V7/00

CPC classification number: G02B27/095 ,  G02B19/0028 ,  G02B19/0066 ,  G02B27/0911 ,  G02B27/0944 ,  G02B27/30

Abstract: 一种准直光学元件用以接收光源所发射的光线。准直光学元件包括入射面与出射曲面，其中，入射面接收光线。入射面包括第一中心轴，出射曲面与中心轴所在的第一平面相交为第一曲线。第一曲线具有多个第一曲线段，每一第一曲线段上包括至少三个第一切点。沿着光源与每一第一切点的连线的光线经过每一第一切点后沿第一准直轴射出，第一准直轴与光轴的夹角大于-15度且小于15度。并藉由控制准直光学元件的折射率、外在环境的折射率及第一准直轴与每一第一切点的法线的夹角，可使得光线经准直光学元件后形成一维度的准直光线。

公开(公告)号：CN103207530A

公开(公告)日：2013-07-17

申请号：CN201310096140.9

申请日：2013-03-22

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 张方 ,  朱菁 ,  黄惠杰 ,  宋强 ,  杨宝喜 ,  陈明 ,  曾爱军 ,  黄立华 ,  胡中华 ,  肖艳芬

IPC: G03F7/20 ,  G02B27/09

CPC classification number: G02B27/0081 ,  G02B5/001 ,  G02B5/1838 ,  G02B26/0816 ,  G02B27/0905 ,  G02B27/0911 ,  G02B27/0972 ,  G02B27/283 ,  G02B27/4222 ,  G03F7/20 ,  G03F7/70091 ,  G03F7/70108

Abstract: 一种光刻机光瞳整形光学系统及产生离轴照明模式的方法，其构成包括模式产生单元、可旋转波片、偏振分光单元、环一产生单元和环二产生单元。本发明通过选择相应的模式产生单元的衍射光学元件和适当的调整，可以产生光瞳面光强与内外直径连续可变、单环形照明模式和双环形照明多种照明模式。

公开(公告)号：CN101421674B

公开(公告)日：2013-06-12

申请号：CN200780013561.3

申请日：2007-02-16

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： M·德京特 ,  M·莱 ,  M·格哈德 ,  B·托默 ,  W·辛格

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70191 ,  G02B3/0056 ,  G02B27/0911 ,  G03F7/70058 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70083 ,  G03F7/70158

Abstract: 一种微光刻照射系统(5)，用于照射照射场(3)。优选使用的光分布装置(9，10)在第一照射平面(11)中产生二维强度分布。光学光栅元件的第一光栅阵列(12)产生二次光源的光栅阵列。具有附加光学效应的装置被空间相邻地分配给两个光栅阵列(12；16)，其中所述装置可被配置为照射角度变化装置(14)。所述具有附加光学效应的装置(14)影响照射光(8)的强度和/或相位和/或光束方向特性。所述影响使得光栅元件(23、28)对于总照射强度的强度贡献在整个照射场(3)上变化。这使得相对于总照射强度和/或相对于来自不同照射方向的强度贡献以限定的方式在整个照射场上影响照射强度。