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公开(公告)号:CN1254859C
公开(公告)日:2006-05-03
申请号:CN03160332.7
申请日:2003-09-26
Applicant: 三洋电机株式会社 , 关东三洋半导体股份有限公司
IPC: H01L21/60 , H01L21/768 , H01L23/48
CPC classification number: H05K3/205 , H01L21/566 , H01L23/3128 , H01L23/538 , H01L24/97 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2224/49171 , H01L2224/73265 , H01L2924/07802 , H01L2924/15311 , H05K1/185 , H05K1/187 , H05K3/062 , H05K3/108 , H05K3/284 , H05K2201/098 , Y10T29/49146 , Y10T29/49156 , Y10T29/49169 , Y10T29/49171 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 一种电路装置的制造方法,目前开发了:以具有导电图案的挠性板为支承衬底、在其上安装半导体元件并进行整体模装的半导体装置。这种情况下,会产生不能形成多层配线结构的问题及制造工序中绝缘树脂板的挠曲明显的问题。本发明的电路装置的制造方法中,用设有具有斜面13S的开口部13的光致抗蚀剂层PR覆盖第一导电膜11和第二导电膜12层积而成的层积板10,在该开口部电解镀敷形成导电配线层14,形成反向倾斜面14R,然后,在用密封树脂层21进行覆盖时,将密封树脂层21咬入反向倾斜面14R,使其具有锚固效应,从而加强密封树脂层21和导电配线层14的结合。
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公开(公告)号:CN1728353A
公开(公告)日:2006-02-01
申请号:CN200510083641.9
申请日:2005-07-13
Applicant: 三洋电机株式会社
IPC: H01L21/50
CPC classification number: H05K3/4647 , H01L21/4857 , H01L21/568 , H01L23/3128 , H01L23/49816 , H01L24/48 , H01L2221/68345 , H01L2224/32225 , H01L2224/32245 , H01L2224/48091 , H01L2224/48247 , H01L2224/48465 , H01L2224/73265 , H01L2224/85001 , H01L2924/00014 , H01L2924/01013 , H01L2924/01029 , H01L2924/01046 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/1301 , H01L2924/13034 , H01L2924/1305 , H01L2924/13055 , H01L2924/15311 , H01L2924/181 , H01L2924/19041 , H01L2924/19105 , H05K1/0265 , H05K1/185 , H05K1/187 , H05K3/06 , H05K3/20 , H05K3/423 , H05K3/4652 , H05K3/4658 , H05K3/4682 , H05K2201/0209 , H05K2201/09509 , H05K2201/09563 , H05K2201/09736 , H05K2203/0152 , H05K2203/0369 , H05K2203/1476 , H01L2924/00 , H01L2924/00012 , H01L2224/45099 , H01L2224/45015 , H01L2924/207
Abstract: 一种可靠性高的电路装置的制造方法,实现了电路装置的小型化、薄型化及轻量化。本发明电路装置的制造方法,在支承衬底(11)的上面形成构成电路装置的树脂密封体(31)后,使树脂密封体(31)从支承衬底(11)分离。因此,可制造没有衬底的电路装置。由此,可实现电路装置的薄型化、小型化、轻量化及散热性的提高。另外,由于可在支承衬底(11)上利用密封树脂(28)进行密封,故可防止密封树脂(28)和导电图形(20)、及密封树脂(28)和电路元件(25)的热膨胀系数之差造成的挠曲。因此,由于可抑止导电图形(20)的剥离或导电图形(20)和金属细线(27)的连接不良,故可制造可靠性高的电路装置(10A)。
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公开(公告)号:CN1549669A
公开(公告)日:2004-11-24
申请号:CN03123485.2
申请日:2003-05-09
Applicant: 三洋电机株式会社
CPC classification number: H01L2224/32245 , H01L2224/48091 , H01L2224/48247 , H01L2224/48465 , H01L2224/73265 , H01L2224/85464 , H01L2924/01046 , H01L2924/01047 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/01322 , H01L2924/181 , H01L2924/19041 , H01L2924/19105 , H01L2924/00014 , H01L2924/00 , H01L2924/00012
Abstract: 本发明是在导电箔60上形成精度优良的电镀膜,并把形成电镀膜的工序简化。其解决办法是,在导电箔60的表面由热固性树脂形成树脂膜45。通过激光蚀刻除去成为压料垫或焊盘部分的树脂膜45。采用钳位器40挤压块状体62的外周部,借此在块状体62的上部形成密闭的空间。采设在钳位器40上的注入装置及排出装置,用电镀液41充满钳位器40的内部。接着,用电镀法形成镀Ag膜47。
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公开(公告)号:CN1516537A
公开(公告)日:2004-07-28
申请号:CN200310122358.3
申请日:2003-12-19
Applicant: 三洋电机株式会社 , 关东三洋半导体股份有限公司
CPC classification number: H01L21/4821 , H01L21/4832 , H01L23/3107 , H01L23/49548 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L24/49 , H01L24/73 , H01L24/97 , H01L2221/68377 , H01L2224/32245 , H01L2224/451 , H01L2224/48091 , H01L2224/48247 , H01L2224/48464 , H01L2224/49 , H01L2224/73265 , H01L2224/97 , H01L2924/00014 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01028 , H01L2924/01029 , H01L2924/01059 , H01L2924/01074 , H01L2924/01075 , H01L2924/01078 , H01L2924/014 , H01L2924/12042 , H01L2924/13055 , H01L2924/14 , H01L2924/181 , H01L2924/18301 , H01L2924/19041 , H01L2924/19043 , H01L2924/19105 , H01L2224/85 , H01L2224/83 , H01L2924/00012 , H01L2924/00 , H01L2924/00015 , H01L2224/05599
Abstract: 一种电路装置及其制造方法,在将导电图案11相互分离的分离槽41的侧面形成蜂腰部19,使导电图案11和绝缘性树脂13的附着性提高。电路装置10如下构成,其包括:导电图案11,其利用分离槽41分离;电路元件12,其固定在导电图案11上;绝缘性树脂13,露出导电图案11的背面,覆盖电路元件12及导电图案11,且填充在分离槽41中,另外,在分离槽41侧面形成蜂腰部19。在蜂腰部19,宽度比其它位置的分离槽41更窄。因此,利用在蜂腰部19上附着绝缘性树脂13可提高绝缘性树脂13和导电图案11的附着性。
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公开(公告)号:CN1497690A
公开(公告)日:2004-05-19
申请号:CN03160332.7
申请日:2003-09-26
Applicant: 三洋电机株式会社 , 关东三洋半导体股份有限公司
CPC classification number: H05K3/205 , H01L21/566 , H01L23/3128 , H01L23/538 , H01L24/97 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2224/49171 , H01L2224/73265 , H01L2924/07802 , H01L2924/15311 , H05K1/185 , H05K1/187 , H05K3/062 , H05K3/108 , H05K3/284 , H05K2201/098 , Y10T29/49146 , Y10T29/49156 , Y10T29/49169 , Y10T29/49171 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 一种电路装置的制造方法,目前开发了:以具有导电图案的挠性板为支承衬底、在其上安装半导体元件并进行整体模装的半导体装置。这种情况下,会产生不能形成多层配线结构的问题及制造工序中绝缘树脂板的挠曲明显的问题。本发明的电路装置的制造方法中,用设有具有斜面13S的开口部13的光致抗蚀剂层PR覆盖第一导电膜11和第二导电膜12层积而成的层积板10,在该开口部电解镀敷形成导电配线层14,形成反向倾斜面14R,然后,在用密封树脂层21进行覆盖时,将密封树脂层21咬入反向倾斜面14R,使其具有锚固效应,从而加强密封树脂层21和导电配线层14的结合。
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公开(公告)号:CN1392600A
公开(公告)日:2003-01-22
申请号:CN02123153.2
申请日:2002-06-19
Applicant: 三洋电机株式会社
CPC classification number: H01L23/3128 , H01L21/4857 , H01L21/6835 , H01L23/49816 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L24/49 , H01L24/97 , H01L2221/68377 , H01L2224/16225 , H01L2224/32225 , H01L2224/451 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/48465 , H01L2224/49171 , H01L2224/73204 , H01L2224/73265 , H01L2224/97 , H01L2924/00014 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01011 , H01L2924/0102 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01046 , H01L2924/01047 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/04953 , H01L2924/12042 , H01L2924/15183 , H01L2924/15311 , H01L2924/181 , H01L2924/19043 , H01L2224/85 , H01L2924/00 , H01L2924/00015 , H01L2224/05599 , H01L2924/00012
Abstract: 目前正在开发将具有导电图形的挠性板作为支撑基板采用,在其上边安装半导体元件,整体封装的半导体装置。这时会产生不能形成多层配线结构的问题、和在制造工序中绝缘树脂板的翘曲显著的问题。本发明采用以绝缘树脂2覆盖在导电膜3单面的绝缘树脂板1,在绝缘树脂2上形成通孔后,形成导电镀膜4,将导电镀膜4蚀刻形成的第一导电配线层5和多层连接的第二导电配线层6,实现多层配线结构。另外,半导体元件7固定在覆盖第一导电配线层5的外敷层树脂8上,由此,第一导电配线层5成精密图形,布线也自由。
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公开(公告)号:CN101350316B
公开(公告)日:2012-07-18
申请号:CN200810134326.8
申请日:2003-12-04
Applicant: 三洋电机株式会社 , 关东三洋半导体股份有限公司
CPC classification number: H01L24/85 , H01L21/4832 , H01L21/4835 , H01L23/3107 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L24/97 , H01L2221/68377 , H01L2224/32245 , H01L2224/451 , H01L2224/48091 , H01L2224/48247 , H01L2224/48465 , H01L2224/73265 , H01L2224/85009 , H01L2224/85013 , H01L2224/97 , H01L2924/00014 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/0101 , H01L2924/01013 , H01L2924/01018 , H01L2924/01027 , H01L2924/01028 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01059 , H01L2924/01078 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/09701 , H01L2924/12042 , H01L2924/14 , H01L2924/15311 , H01L2924/15787 , H01L2924/181 , H01L2924/19041 , H01L2924/19043 , H01L2924/19105 , H01L2224/85 , H01L2224/83 , H01L2224/78 , H01L2924/00 , H01L2924/00015 , H01L2224/05599 , H01L2924/00012
Abstract: 一种电路装置的制造方法,使用等离子体除去导电图案21表面上黏附的污染物,提高导电图案21和密封树脂28的粘附。通过选择地蚀刻导电箔10形成分离槽11,形成导电图案21。在导电图案21的规定位置安装半导体元件22A等电路元件,并和导电图案21电连接。通过自导电箔10上方照射等离子体除去分离槽11表面黏附的污染物。
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公开(公告)号:CN100418202C
公开(公告)日:2008-09-10
申请号:CN200310119584.6
申请日:2003-12-04
Applicant: 三洋电机株式会社 , 关东三洋半导体股份有限公司
CPC classification number: H01L24/85 , H01L21/4832 , H01L21/4835 , H01L23/3107 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L24/97 , H01L2221/68377 , H01L2224/32245 , H01L2224/451 , H01L2224/48091 , H01L2224/48247 , H01L2224/48465 , H01L2224/73265 , H01L2224/85009 , H01L2224/85013 , H01L2224/97 , H01L2924/00014 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/0101 , H01L2924/01013 , H01L2924/01018 , H01L2924/01027 , H01L2924/01028 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01059 , H01L2924/01078 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/09701 , H01L2924/12042 , H01L2924/14 , H01L2924/15311 , H01L2924/15787 , H01L2924/181 , H01L2924/19041 , H01L2924/19043 , H01L2924/19105 , H01L2224/85 , H01L2224/83 , H01L2224/78 , H01L2924/00 , H01L2924/00015 , H01L2224/05599 , H01L2924/00012
Abstract: 一种电路装置的制造方法,使用等离子体除去导电图案21表面上黏附的污染物,提高导电图案21和密封树脂28的粘附。通过选择地蚀刻导电箔10形成分离槽11,形成导电图案21。在导电图案21的规定位置安装半导体元件22A等电路元件,并和导电图案21电连接。通过自导电箔10上方照射等离子体除去分离槽11表面黏附的污染物。
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公开(公告)号:CN100413056C
公开(公告)日:2008-08-20
申请号:CN200510074719.0
申请日:2005-05-31
Applicant: 三洋电机株式会社
IPC: H01L23/12 , H01L23/50 , H01L23/28 , H01L23/34 , H01L23/40 , H05K1/05 , H01L21/48 , H01L21/50 , H01L41/083
CPC classification number: H05K3/421 , H01L21/4857 , H01L23/3121 , H01L23/49822 , H01L23/5383 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L24/49 , H01L24/97 , H01L2221/68377 , H01L2224/16225 , H01L2224/32225 , H01L2224/451 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/48472 , H01L2224/4903 , H01L2224/73204 , H01L2224/73253 , H01L2224/73265 , H01L2224/97 , H01L2924/00014 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01012 , H01L2924/01013 , H01L2924/01019 , H01L2924/0102 , H01L2924/01029 , H01L2924/0103 , H01L2924/01033 , H01L2924/01046 , H01L2924/01047 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/07802 , H01L2924/10253 , H01L2924/12042 , H01L2924/1301 , H01L2924/13055 , H01L2924/14 , H01L2924/181 , H01L2924/19041 , H01L2924/19105 , H01L2924/19107 , H01L2924/351 , H05K1/056 , H05K3/0035 , H05K3/284 , H05K3/423 , H05K3/4647 , H05K3/4652 , H05K2201/0209 , H05K2201/09563 , H05K2201/096 , H05K2203/0369 , H05K2203/0554 , H05K2203/1476 , H01L2224/85 , H01L2924/00 , H01L2924/00012 , H01L2224/92247 , H01L2224/05599
Abstract: 一种电路装置及其制造方法,用于贯通绝缘层,将层积的多个配线层相互连接。本发明的混合集成电路装置(10)及其制造方法中,介由第一绝缘层(17A)层积第一导电膜(28A),通过构图第一导电膜(28A),形成第一配线层(18A)。其次,介由第二绝缘层(17B)层积第二导电膜(28B)。而且,通过部分地除去所希望位置的第二绝缘层(17B)和第二导电膜(28A),形成将配线层相互间连接的连接部(25)。
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公开(公告)号:CN100409434C
公开(公告)日:2008-08-06
申请号:CN01116882.X
申请日:2001-02-10
Applicant: 三洋电机株式会社
CPC classification number: H01L24/32 , H01L21/4832 , H01L23/36 , H01L23/4334 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L24/49 , H01L24/73 , H01L24/97 , H01L2224/05571 , H01L2224/05573 , H01L2224/16245 , H01L2224/32057 , H01L2224/32245 , H01L2224/451 , H01L2224/48091 , H01L2224/48247 , H01L2224/48465 , H01L2224/49171 , H01L2224/73257 , H01L2224/73265 , H01L2224/83385 , H01L2224/92247 , H01L2224/97 , H01L2924/00014 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01029 , H01L2924/0103 , H01L2924/01033 , H01L2924/01046 , H01L2924/01047 , H01L2924/01059 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/0132 , H01L2924/07802 , H01L2924/12042 , H01L2924/12044 , H01L2924/1433 , H01L2924/15311 , H01L2924/15787 , H01L2924/181 , H01L2924/1815 , H01L2924/18165 , H01L2924/3011 , H01L2924/351 , H05K1/0204 , H05K1/021 , H05K1/182 , H05K1/189 , H05K3/26 , H05K3/281 , H05K3/303 , H05K2201/10416 , H05K2201/10727 , H05K2201/10734 , H05K2201/2036 , Y02P70/613 , H01L2924/00 , H01L2924/00012 , H01L2924/01026 , H01L2924/01028 , H01L2224/83 , H01L2224/85 , H01L2224/05599
Abstract: 在硬盘中安装有固定粘接了读写放大用IC的FCA,在由Al构成的散热基板(13A)的上面形成由镀Cu构成的第一金属被覆膜(14),粘牢在半导体装置(10)的背面露出来的岛状物(15)。这时,半导体装置(10)的背面接触接触区域CT,其外的第一开口部OP开口大于半导体装置(10)的配置区域。因此,能够经从半导体装置(10)周围露出表面来的第一开口部OP进行清洗,而且从半导体元件(16)产生的热能够从岛状物(15)经第二支持件(13A)良好地散发出去。
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