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公开(公告)号：CN111378934A
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN202010239590.9
申请日：2020-03-30
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 采用常规电子束蒸镀和等离子体辅助沉积相结合的技术，提出一种提升电子束蒸镀薄膜元件光谱和应力时效稳定性的镀膜技术。利用常规电子束蒸镀技术制备功能性薄膜，以获得较高的抗激光损伤阈值；利用等离子体辅助沉积技术制备致密的外层包裹层，将整个常规电子束蒸镀薄膜包裹其中，以阻止水分子进出膜系。本发明能够在不增加膜系设计难度且维持电子束薄膜较高损伤阈值的同时，降低整个膜系的应力水平并提升电子束蒸镀薄膜元件的光谱和应力时效稳定性。
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公开(公告)号：CN111270208A
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN202010190187.1
申请日：2020-03-18
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种氧化铝薄膜的制备方法，该方法包括膜料清洗提纯、膜料预熔和电子束反应蒸发氧化铝薄膜沉积过程，所述膜料为金属铝颗粒或块体，反应气体为氧气。本发明充分利用了电子束反应蒸发在速率稳定性和充分氧化方面的优势，可以制备出低吸收低缺陷氧化铝薄膜，大幅度降低氧化铝薄膜的紫外吸收性能和缺陷密度。
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公开(公告)号：CN110794490A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201911165985.2
申请日：2019-11-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种中波红外增透膜设计及制备方法，包括步骤：膜系设计，基片清洗，基片加热，膜系镀制。基片材料为折射率为1～5的红外窗口玻璃，高折射率镀膜材料的折射率为1.5～3，低折射率镀膜材料的折射率为1～1.5，使用离子辅助沉积及合适的烘烤温度等特定的工艺条件，采用双面镀膜方式可实现5mm厚的FGa玻璃在3.7um～5um中红外波段具有良好的透过效果，平均透过率>92％。该发明可提高中红外窗口的光学效率，在红外探测方便具有明显优势。
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公开(公告)号：CN108710164B
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201810516821.9
申请日：2018-05-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B1/11
Abstract: 一种红外宽波段减反射微结构，由下到上依次包括基底、纳米结构阵列层和低折射率层；所述的纳米结构阵列层具有垂直于所述基底表面的主轴，且截面为三角形、圆锥形、抛物线形或高斯形等渐变结构的纳米结构。本发明在纳米结构阵列上添加一层低折射率材料，该低折射率层由离子束溅射沉积技术或电子束蒸发离子束辅助沉积技术实现，以避免水吸收。通过调节低折射率层的厚度，使得纳米结构阵列层的宽带减反射效果得到提升，实现宽波段范围的高透，且透过曲线更加平坦。
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公开(公告)号：CN106565105B
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201610965152.4
申请日：2016-11-04
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: C03C17/00
Abstract: 一种大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具，包括箍套结构和框架结构组成，所述的箍套结构是一个箍套，该箍套的内侧面具有一连续的凸形台状的嵌套梁，该嵌套梁与待镀膜的玻璃基板的外侧面周围的凹槽相嵌套，该箍套的外侧面设有多个螺栓螺孔，所述的框架结构包括多根等高的立柱和多根螺栓，所有立柱的等高处设有螺栓通孔，所述的箍套的嵌套梁相嵌在所述的待镀膜的玻璃基板的凹槽中，所述的螺栓旋入所述的立柱的螺栓通孔和所述的箍套的螺栓螺孔，将所述的待镀膜的玻璃基板夹持定位形成一个整体，该整体的立柱恰好置放在镀膜夹具盘中。本发明的夹具能对全口径镀膜实现很好的夹持作用，同时结构简单，装夹和卸夹方便，可实现无压痕全口径镀膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105845554B
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201610204422.X
申请日：2016-04-02
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01L21/02
Abstract: 一种超薄光学薄膜衬底硅片清洗方法包括步骤：用石油醚和丙酮的混合溶液超声清洗硅片表面；利用去离子水兆声清洗硅片表面；将硅片静置于添加JFC渗透剂的碱式清洗溶液中65℃～100℃水浴，清洗硅片表面，该碱式清洗溶液的体积比为NH4OH∶H2O2∶H2O＝(1％～5％)∶(10％～30％)∶1；将硅片静置于HF/HCL/H2O混合溶液中，清洗硅片表面；利用去离子水兆声清洗硅片表面；真空干燥箱烘干。本发明具有三大显著优点，清洗溶液不受管制，方便购置；每个清洗环节的温度控制到最佳状态，提高清洗效率，降低了清洗难度；碱式清洗溶液中加入JFC渗透剂，避免清洗过程中对硅片表面粗糙度的影响。
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公开(公告)号：CN108455023A
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201810045459.1
申请日：2018-01-17
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种光学薄膜元件包装盒，包括盒体和盒盖，所述的盒体具有外侧壁和较侧壁为宽的底板，内底上设置有凹面、凹槽和凸台；所述的盒盖具有内侧壁和内侧壁之底外延的底板，盒盖顶部为圆角；所述盒盖的内侧壁扣在所述的盒体的外侧壁外，所述的盒盖的底板叠加在所述的盒体的底板上，且紧密配合成为一体。本发明能很好地保护镀膜光学元件，具有光学薄膜元件包装安全、操作便捷和有效防止污染的特点。
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公开(公告)号：CN108254816A
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201810023810.7
申请日：2018-01-10
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种有效降低色散振荡的双中心波长色散镜对及其制备方法。该双中心波长色散镜对基于一个膜系设计结果，采用双离子束溅射技术在一个镀膜周期内实现双中心波长色散镜对的制备。可有效降低啁啾镜对的设计难度、制备难度，节约制备时间和成本。该色散镜对具有相反的色散振荡相位，配对使用时可显著减少色散振荡。
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公开(公告)号：CN107099772B
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201710380376.3
申请日：2017-05-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种解决电子束沉积多层膜龟裂的临界层应力的调控方法，综合采用电子束沉积技术和离子束辅助沉积技术，采用离子束辅助沉积技术沉积应力临界层，采用电子束沉积技术沉积应力临界层之外的其他膜层。本发明能够解决电子束沉积较厚膜层时，因膜层张应力太大导致的膜层龟裂问题，且不会增加膜系设计难度和实际制备工艺难度。
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公开(公告)号：CN106680911A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201710105523.6
申请日：2017-02-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种低振荡色散镜结构设计，由下到上依次包括基底、啁啾膜系结构、超低折射率层。本发明在啁啾膜系结构的顶部添加一层超低折射率层，该超低折射率层由倾斜沉积技术实现，通过调节倾斜沉积的速率和角度可控制超低折射率层的折射率和厚度，使得啁啾膜系结构的折射率与空气层能够很好的匹配，从而能够大幅降低色散振荡。这种设计结构能够使不同带宽和色散量的色散镜的色散振荡都大幅减小，很好地满足了超快激光系统中用于脉冲压缩的低损耗、低振荡、大色散补偿量的色散镜设计需求。可应用于超快激光系统中(如啁啾脉冲放大技术以及光纤激光器)，是超快激光系统中所必不可少的色散补偿元件。
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