公开(公告)号：CN111270208A

公开(公告)日：2020-06-12

申请号：CN202010190187.1

申请日：2020-03-18

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 张伟丽 ,  余振 ,  朱瑞 ,  易葵 ,  刘晓凤 ,  王胭脂 ,  朱美萍 ,  邵建达

IPC: C23C14/30 ,  C23C14/08

Abstract: 一种氧化铝薄膜的制备方法，该方法包括膜料清洗提纯、膜料预熔和电子束反应蒸发氧化铝薄膜沉积过程，所述膜料为金属铝颗粒或块体，反应气体为氧气。本发明充分利用了电子束反应蒸发在速率稳定性和充分氧化方面的优势，可以制备出低吸收低缺陷氧化铝薄膜，大幅度降低氧化铝薄膜的紫外吸收性能和缺陷密度。

公开(公告)号：CN110587122A

公开(公告)日：2019-12-20

申请号：CN201911031282.0

申请日：2019-10-28

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 齐红基 ,  余振 ,  王斌 ,  王虎 ,  陈端阳

IPC: B23K26/06 ,  H01S3/00

Abstract: 一种提高激光材料损伤性能的预处理装置及方法，包括固体激光器、光学系统、第一反射镜、第二反射镜、第一小孔光阑、聚焦镜、控制系统、第二小孔光阑和吸收体。所述的固体激光器是高重频紫外固体激光器，重复频率30kHz-200kHz可调节，波长355nm。本发明所用的激光器是高重频紫外固体激光器，重复频率很高且可调节，不仅能够显著的提高激光预处理的效率，而且还可以进一步的提升激光预处理的效果。