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公开(公告)号：CN108489401B
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN201810563230.7
申请日：2018-05-23
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明提供了一种分体式校准靶标，在利用激光跟踪仪对激光扫描仪的空间距离示值误差进行校准时与靶镜相配合作为测量靶标使用，包括：靶座；靶镜承托组件，具有锥柄、设置在锥柄上的连接件以及设置在连接件上并用于通过磁性吸附与靶镜相连接的靶镜座；以及靶球组件，具有球侧锥柄、设置在球侧锥柄上的三维调节机构以及设置在三维调节结构上的靶球，其中，锥柄、球侧锥柄均为莫氏锥柄，该莫氏锥柄具有相同的尺寸以及公差，且锥尖向下设置，靶座上设置有莫氏锥套，该莫氏锥套的锥尖向下，开口向上，莫氏锥套与锥柄以及球侧锥柄相匹配。本发明还提供了具有上述分体式校准靶标的校准装置以及利用该校准装置对激光扫描仪进行校准的方法。
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公开(公告)号：CN115877037A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202211365264.8
申请日：2022-11-03
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 同济大学
IPC: G01Q40/00
Abstract: 本发明公开了一种电子探针显微分析仪器的参数误差校准方法，基于原子光刻技术制备一维光栅标准样板，计算该一维光栅标准样板的光栅理论周期值D；将一维光栅标准样板静置于电子探针显微分析仪器的载物台设定时间，使测试状态保持稳定；待电子探针显微分析仪器聚焦清晰后，电子探针显微分析仪器扫描载物台上的一维光栅标准样板，对一维光栅标准样板的栅格间距进行图像采集和测量，得到光栅扫描距离测量值L,并记下此时的放大倍率，根据D和L计算获得该放大倍率下的校准因子K。本发明的电子探针显微分析仪器的参数误差校准方法，缩短了对仪器进行校准的溯源链长度，降低了量值传递过程的误差积累，提升了不同仪器之间的校准一致性，操作方便。
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公开(公告)号：CN109341523A
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201811166364.1
申请日：2018-10-08
Applicant: 中国计量大学 , 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明提供一种点衍射干涉三坐标测量装置探头端面调平方法，涉及测量技术领域。采用基于波面对称的探头零点位置调整方法，探测器获取初始波面数据，将探头旋转180°，平移探头再次获取波面，将波面数据旋转180°后与初始波面数据作差值，将探头平移至初始位置和差值为极小值位置的中点位置，为探头零点位置，调整探头的倾斜角并获取波面数据，利用泽尼克多项式拟合方法对波面数据进行拟合得到xy方向倾斜项系数，调节至该系数为极大值时的角度，实现探头端面调平。本发明解决了现有技术中探头端面相对探测面调平困难影响测量精度的技术问题。本发明有益效果为：确定探头端面状态，满足测量模型求解要求，使三维坐标重构结果更加快速和精确。
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公开(公告)号：CN108489401A
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201810563230.7
申请日：2018-05-23
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明提供了一种分体式校准靶标，在利用激光跟踪仪对激光扫描仪的空间距离示值误差进行校准时与靶镜相配合作为测量靶标使用，包括：靶座；靶镜承托组件，具有锥柄、设置在锥柄上的连接件以及设置在连接件上并用于通过磁性吸附与靶镜相连接的靶镜座；以及靶球组件，具有球侧锥柄、设置在球侧锥柄上的三维调节机构以及设置在三维调节结构上的靶球，其中，锥柄、球侧锥柄均为莫氏锥柄，该莫氏锥柄具有相同的尺寸以及公差，且锥尖向下设置，靶座上设置有莫氏锥套，该莫氏锥套的锥尖向下，开口向上，莫氏锥套与锥柄以及球侧锥柄相匹配。本发明还提供了具有上述分体式校准靶标的校准装置以及利用该校准装置对激光扫描仪进行校准的方法。
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公开(公告)号：CN103075952B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201210557870.X
申请日：2012-12-20
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明为一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头，其特征在于：所述的微触觉测头由圆形基底、电容式传感器阵列、悬梁、测针、悬挂弹簧及限位结构组成；圆形基底用于固定传感器阵列及悬梁；电容式传感器阵列作为敏感单元，用以感知位移变化；悬梁用于连接测针及传感器阵列；测针直接与被测物接触，以探测并传递位移量；悬挂弹簧起悬挂、调平悬梁的作用，并可调节测量力；限位结构用来限制悬梁及测针运动的自由度，使其只能以悬梁顶端的小球球心为原点旋转，从而消除了测针和悬梁的整体偏移，保证了横向位移测量的精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101813499A
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN201010136209.2
申请日：2010-03-30
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明为一种三维微触觉传感器的校准方法与装置，其特征在于：在隔振腔中安装三维微触觉传感器固定装置、微位移输入装置、CCD摄像头和激光干涉仪；三维微触觉传感器通过不同的夹持机构安放在旋转平台上，微位移输入装置通过控制装置实现三维微触觉传感器的Z轴粗动定位和传感器与压电陶瓷的零接触，压电陶瓷通过控制系统输出振幅信号给三维微触觉传感器施加位移约束信号，再通过信号采集系统和上机软件，建立输入—输出关系图，通过激光干涉仪的校准系统对压电陶瓷的位移约束量进行跟踪测量，实现三维微触觉传感器性能参数的测试和校准。本发明解决了多种传感方式的三维微触觉传感器的线性、量程、精度等多个性能的校准工作。
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公开(公告)号：CN113237446B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202110414926.5
申请日：2021-04-17
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 中国计量大学
Abstract: 本发明为一种复合型纳米膜厚标准样板及其循迹方法，其特征在于：所述的标准样板包括分设于基底上的第一测量工作区域和第二测量工作区域两个工作区域，所述的第一测量工作区域为几何薄膜结构测量工作区域，所述的第二测量工作区域为物性薄膜结构测量工作区域，两测量工作区域厚度参数相同，所述的第一测量工作区域设有几何结构工作框，所述的工作框四边外周设有一级循迹标识，在工作框内部设有二级循迹标识，工作框中部则设有中心几何薄膜结构，所述的第二测量工作区域设有物性薄膜结构中心圆，其外周布置有带箭头循迹标识，所述物性薄膜结构中心圆的外周还顺序设有第一外环、第二外环和第三外环。
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公开(公告)号：CN117029725A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202310518456.6
申请日：2023-05-09
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明公开了一种相位测量轮廓术多频外差相位展开的相位跳变误差消除方法，基于多频外差原理，通过后一像素点相位幅值减去当前像素点相位幅值计算展开相位的梯度，找出展开相位中可能存在误差的可疑点，根据误差的幅值判断误差来源并确定误差的起始和终止像素点位置，消除跳变误差并对跳跃点处加以平滑，该方法可判别实际形貌落差与跳变误差，消除阴影部分以外的跳变误差部分，使相位展开后得到的绝对相位更加平整且无跳变，从而使得整幅光栅条纹的相位展开图连续、光滑、无跳变，提高了三维形貌测量结果的精确度及稳定性。
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公开(公告)号：CN111781115B
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202010662042.7
申请日：2020-07-10
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种空气污染物滤膜称量设备及称量方法，所述空气污染物滤膜称量设备包括，滤膜称量组件，用于放置滤膜；质量比较仪，用于称量所述滤膜称量组件的重量；工作台，所述滤膜称量组件适于放置于所述工作台；装置主体，所述质量比较仪和所述工作台分别安装于所述装置主体；传送机构，所述传送机构安装于所述装置主体，用于将所述滤膜称量组件在所述工作台和所述质量比较仪之间移动。其能够在空气污染物滤膜的称量过程中防止空气污染物滤膜二次污染，提高空气污染物滤膜的测量精度。
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公开(公告)号：CN111781115A
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN202010662042.7
申请日：2020-07-10
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种空气污染物滤膜称量设备及称量方法，所述空气污染物滤膜称量设备包括，滤膜称量组件，用于放置滤膜；质量比较仪，用于称量所述滤膜称量组件的重量；工作台，所述滤膜称量组件适于放置于所述工作台；装置主体，所述质量比较仪和所述工作台分别安装于所述装置主体；传送机构，所述传送机构安装于所述装置主体，用于将所述滤膜称量组件在所述工作台和所述质量比较仪之间移动。其能够在空气污染物滤膜的称量过程中防止空气污染物滤膜二次污染，提高空气污染物滤膜的测量精度。
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