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公开(公告)号：CN119043187A
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202411197644.4
申请日：2024-08-29
Abstract: 本发明提供了一种悬挂结构及包含其的探测模块、微位移探测装置，悬挂结构包括中心区、固定框架和若干悬挂梁，中心区为圆形，中心区用于固定测针的上端或支承反射镜组件下端；固定框架绕中心区设置，固定框架的内边缘为圆形，固定框架的内边缘与中心区同轴设置，固定框架用于与其它部件相固定；悬挂梁设置于中心区、固定框架之间，悬挂梁的两端分别与中心区的外边缘、固定框架的内边缘相连接；若干悬挂梁沿中心区的周向均匀分布。通过若干沿周向均匀分布的悬挂梁连接中心区，使固定在中心区的测针受力均匀，测针在不受外力的情况下能保持竖直状态，同时也不妨碍测球跟随样品表面的起伏发生位移，保证了样品测量的精确度和稳定性。
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公开(公告)号：CN111336935A
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN202010242951.5
申请日：2020-03-31
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 中国计量大学
Abstract: 本发明为一种基于改进混合优化算法的纳米薄膜参数反演计算方法，其特征在于：所述的纳米薄膜是在基底层上镀介质薄膜后形成的顺序由基底层、中间层和介质薄膜层组成的三层结构纳米薄膜，所述的混合优化算法是利用爬山算法对全连接神经网络的权值进行迭代优化而建立的混合优化算法，通过对椭偏仪测量介质薄膜层得到的椭偏参数值进行数据反演计算，并结合测量时的环境参数值和基底层已知参数值以得出纳米薄膜的厚度及光学参数。本发明保证了利用椭偏仪的测量数据计算出介质薄膜层厚度及光学常数这一过程精确且快速，为利用光谱型椭偏仪测量介质薄膜层的参数提供了数据处理方法保障。
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公开(公告)号：CN110726378A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201911100142.4
申请日：2019-11-12
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置及方法，在利用本发明的一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置对样品表面参数进行测量时，开启激光光源并对X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器进行校正之后，将测端球沿被测样品的表面接触扫描；测端球通过测针以及中心连接部带动四棱锥反射镜产生位置变化，从而使得四棱锥反射镜的三个反射面反射至X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器上的光斑产生偏移量；根据光斑所产生的偏移量可以得出测端球与样品表面接触点的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向的坐标参数。
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公开(公告)号：CN116625193A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310588296.2
申请日：2023-05-23
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 上海计测信息科技有限公司
IPC: G01B5/02
Abstract: 本发明涉及一种基于共聚焦显微镜的量块测量装置及方法，通过采用两台共聚焦显微镜直接定位量块的两个测量面，实现量块长度的测量，无需借助辅助面，避免了采用其他原理单方向测量时存在的量块与辅助面研合间隙造成的测量误差，结果更为准确可靠。本发明涉及的一种基于共聚焦显微镜的量块测量装置采用两台共聚焦显微镜对顶测量的方式，通过定位量块两个测量面实现测量，无需进行全范围扫描，仅需在量块的测量面附近进行慢速扫描，其余位置均可快速移动，在测量长度较长的量块时，可有效提升测量效率。
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公开(公告)号：CN115372368A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202211002888.3
申请日：2022-08-19
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明涉及一种亚表面多参数纳米标准样板及其制备方法，包括用于定位寻找校准位置的X向循迹标记、Y向循迹标记和对准标记，用于校准的Z向台阶校准区域、一维栅格校准区域和二维栅格校准区域，使用本发明的一种亚表面多参数纳米标准样板进行仪器校准时，可借助循迹标记和对准标记快速分辨当前位置并定位到待测区域，可用于共聚焦显微镜、白光干涉显微镜、超声原子力显微镜等亚表面测量仪器的校准及溯源，为亚表面几何参数测量中的量值准确性提供保障，助力半导体、精密制造、国防军工等战略性新兴产业的发展，具有高度产业利用价值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103075951B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201210557826.9
申请日：2012-12-20
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明为一种基于电容传感器阵列的三维微接触式测头，所述的测头由方形底板、电容传感器阵列、十字梁和测针组成，其特征在于：所述的测头有多个电容传感单元，呈阵列式分布于方形底板上，测针连接在十字梁的中心连接体上，十字梁的悬臂与电容传感器上极板相连，上极板通过微弹簧悬挂单元悬挂，所述上极板的悬挂采用若干个微弹簧实现，微弹簧不仅用于固定电容传感器的上极板，还用于支撑十字梁和测针重量，由测针及十字梁组成的杠杆结构将被测物的横向位移放大并转化为电容上极板的轴向位移，解决单个电容传感器测量时横向分辨力低的问题。本发明弥补了单个电容传感器横向分辨力低的缺陷，提高了分辨力和精度，有效拓展了横向测量范围。
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公开(公告)号：CN103075951A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201210557826.9
申请日：2012-12-20
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明为一种基于电容传感器阵列的三维微接触式测头，所述的测头由方形底板、电容传感器阵列、十字梁和测针组成，其特征在于：所述的测头有多个电容传感单元，呈阵列式分布于方形底板上，测针连接在十字梁的中心连接体上，十字梁的悬臂与电容传感器上极板相连，上极板通过微弹簧悬挂单元悬挂，所述上极板的悬挂采用若干个微弹簧实现，微弹簧不仅用于固定电容传感器的上极板，还用于支撑十字梁和测针重量，由测针及十字梁组成的杠杆结构将被测物的横向位移放大并转化为电容上极板的轴向位移，解决单个电容传感器测量时横向分辨力低的问题。本发明弥补了单个电容传感器横向分辨力低的缺陷，提高了分辨力和精度，有效拓展了横向测量范围。
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公开(公告)号：CN110726378B
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN201911100142.4
申请日：2019-11-12
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置及方法，在利用本发明的一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置对样品表面参数进行测量时，开启激光光源并对X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器进行校正之后，将测端球沿被测样品的表面接触扫描；测端球通过测针以及中心连接部带动四棱锥反射镜产生位置变化，从而使得四棱锥反射镜的三个反射面反射至X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器上的光斑产生偏移量；根据光斑所产生的偏移量可以得出测端球与样品表面接触点的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向的坐标参数。
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公开(公告)号：CN117629067A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311628512.8
申请日：2023-11-30
Abstract: 本发明提供一种基于探针干涉的三维微接触测头，包括探测组件、悬挂组件和传感单元，探测组件的下端形成测球，测球用于与样品表面相接触；悬挂组件将探测组件悬挂在空中；测球不受外力时，悬挂组件使探测组件的水平基准面保持水平；测球受外力时，悬挂组件限制探测组件只能沿中心轴线的方向上下移动或以转动中心为中心转动。上述三维微接触测头，可实现兼顾高精度、高动态特性的三维传感测量；通过优化设计，可实现三轴分辨力及刚度各向同性；传感单元和探测组件的分离式设计，使测头具备探测组件的互换性，可根据被测对象灵活更换具有不同尺寸和型号的测针的探测单元。
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公开(公告)号：CN111428871B
公开(公告)日：2023-02-24
申请号：CN202010243856.7
申请日：2020-03-31
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 中国计量大学
Abstract: 本发明为一种基于BP神经网络的手语翻译方法，其特征在于：包括以下步骤：1、利用树莓派3B通过可穿戴数据手套采集手势电压信号；2、利用信号筛选程序将每一组手势电压信号对应的手语词语和常用手语句子编制成手语语句库；3、编写包括BP神经网络结构框架模型、数据传输模块和储存模块的神经网络分类程序，BP神经网络结构框架模型采用输入层、输出层以及隐藏层的三层神经网络；4、将每次收到的手势电压信号通过BP神经网络框架模型转换为手语词语；5、将步骤4在一段时间内获得的手语词语转换为手语词语组，将手语词语组与手语语句库进行匹配并联想填充成句输出结果。本发明结合神经网络及传感技术实现了手语自动实时翻译识别。
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