-
公开(公告)号：CN103075952B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201210557870.X
申请日：2012-12-20
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明为一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头，其特征在于：所述的微触觉测头由圆形基底、电容式传感器阵列、悬梁、测针、悬挂弹簧及限位结构组成；圆形基底用于固定传感器阵列及悬梁；电容式传感器阵列作为敏感单元，用以感知位移变化；悬梁用于连接测针及传感器阵列；测针直接与被测物接触，以探测并传递位移量；悬挂弹簧起悬挂、调平悬梁的作用，并可调节测量力；限位结构用来限制悬梁及测针运动的自由度，使其只能以悬梁顶端的小球球心为原点旋转，从而消除了测针和悬梁的整体偏移，保证了横向位移测量的精度。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103148929A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201310093168.7
申请日：2013-03-22
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明为一种低损耗亚纳分辨率的光纤测振系统，其特征在于所述测振系统的装置及连接关系为：光源由普通驱动电源驱动；沿光源发射光前进方向依次放置要检测的振动台，微悬臂系统；所述的光源传出的光在光纤（3）中传播；所述的压电阶段包括粘附有光纤（3）的待测的振动台、微悬臂系统以及显微镜，显微镜设于振动台和微悬臂系统的上方；所述的微悬臂系统包括可调的三维平台和粘附在其上的末端为纳米针尖探针的光纤（5），光纤（5）的另一端与光电转换装置的输入端连接；所述的光电转换装置的输出端与数据采集和处理装置连接；所述的数据采集和处理装置与信号监视器连接。本发明设计了带纳米针尖探针的光纤及微悬臂系统，适用于低频信号的检测。
-
公开(公告)号：CN103075952A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201210557870.X
申请日：2012-12-20
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明为一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头，其特征在于：所述的微触觉测头由圆形基底、电容式传感器阵列、悬梁、测针、悬挂弹簧及限位结构组成；圆形基底用于固定传感器阵列及悬梁；电容式传感器阵列作为敏感单元，用以感知位移变化；悬梁用于连接测针及传感器阵列；测针直接与被测物接触，以探测并传递位移量；悬挂弹簧起悬挂、调平悬梁的作用，并可调节测量力；限位结构用来限制悬梁及测针运动的自由度，使其只能以悬梁顶端的小球球心为原点旋转，从而消除了测针和悬梁的整体偏移，保证了横向位移测量的精度。
-
公开(公告)号：CN202974173U
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201220709746.6
申请日：2012-12-20
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本实用新型为一种用于微纳米几何量测量的阵列式测头，由网格状多方孔基座和多个测头组件构成。测头组件包括测头、测杆、悬挂结构、传感单元和电路板，测头组件垂直凸出安装在基座方孔上，方孔在基座上呈网格状阵列式排列，阵列式测头通过基座与三维高精度位移平台的测头连接结构相联接。根据被测工件尺寸，在网格状多方孔基座上选择合适的方孔安装各测头组件，各测头组件可装可拆。各测头组件的测头通过校准整合到统一坐标系中，先用一个测头接触被测尺寸的一个端点，将此测头移开，再用另外的一个测头接触被测尺寸的另一个端点，可快速完成被测工件尺寸的精确测量。与单测头相比，提高了工作效率，并增加了冗余设计。
-
公开(公告)号：CN203298862U
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201320132242.7
申请日：2013-03-22
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01H9/00
Abstract: 本实用新型为一种低损耗亚纳分辨率的光纤测振系统，其特征在于：所述测振系统的装置及连接关系为：光源由普通驱动电源驱动；沿光源发射光前进方向依次放置要检测的振动台，微悬臂系统；所述的光源传出的光在第一光纤中传播；压电阶段中涉及需移位对准的仪器包括粘附有第一光纤的待测的振动台、微悬臂系统以及显微镜，显微镜设于振动台和微悬臂系统的上方；所述的微悬臂系统包括可调的三维平台和粘附在其上的末端为纳米针尖探针的第二光纤，第二光纤的另一端与光电转换装置的输入端连接；所述的光电转换装置的输出端与数据采集和处理装置连接；所述的数据采集和处理装置与信号监视器连接。本实用新型适用于低频信号的检测。
-
公开(公告)号：CN202974172U
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201220709671.1
申请日：2012-12-20
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本实用新型为一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头，其特征在于：所述的微触觉测头由圆形基底、电容式传感器阵列、悬梁、测针、悬挂弹簧及限位结构组成；圆形基底用于固定传感器阵列及悬梁；电容式传感器阵列作为敏感单元，用以感知位移变化；悬梁用于连接测针及传感器阵列；测针直接与被测物接触，以探测并传递位移量；悬挂弹簧起悬挂、调平悬梁的作用，并可调节测量力；限位结构用来限制悬梁及测针运动的自由度，使其只能以悬梁顶端的小球球心为原点旋转，从而消除了测针和悬梁的整体偏移，保证了横向位移测量的精度。
-
-
-
-
-
Search Results
6
records
(took 0.022 seconds)
