公开(公告)号：CN115877037A

公开(公告)日：2023-03-31

申请号：CN202211365264.8

申请日：2022-11-03

Applicant: 上海市计量测试技术研究院 ,  同济大学

Inventor： 雷李华 ,  曹程明 ,  熊英凡 ,  谢张宁 ,  邓晓 ,  程鑫彬 ,  管钰晴 ,  邹文哲 ,  傅云霞

IPC: G01Q40/00

Abstract: 本发明公开了一种电子探针显微分析仪器的参数误差校准方法，基于原子光刻技术制备一维光栅标准样板，计算该一维光栅标准样板的光栅理论周期值D；将一维光栅标准样板静置于电子探针显微分析仪器的载物台设定时间，使测试状态保持稳定；待电子探针显微分析仪器聚焦清晰后，电子探针显微分析仪器扫描载物台上的一维光栅标准样板，对一维光栅标准样板的栅格间距进行图像采集和测量，得到光栅扫描距离测量值L,并记下此时的放大倍率，根据D和L计算获得该放大倍率下的校准因子K。本发明的电子探针显微分析仪器的参数误差校准方法，缩短了对仪器进行校准的溯源链长度，降低了量值传递过程的误差积累，提升了不同仪器之间的校准一致性，操作方便。