公开(公告)号：CN103075952B

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201210557870.X

申请日：2012-12-20

Applicant: 上海市计量测试技术研究院

Inventor： 吴俊杰 ,  李源 ,  吴佳欢 ,  简黎 ,  范国芳 ,  陈欣 ,  雷李华 ,  毛辰飞

IPC: G01B7/00 ,  B81B3/00

Abstract: 本发明为一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头，其特征在于：所述的微触觉测头由圆形基底、电容式传感器阵列、悬梁、测针、悬挂弹簧及限位结构组成；圆形基底用于固定传感器阵列及悬梁；电容式传感器阵列作为敏感单元，用以感知位移变化；悬梁用于连接测针及传感器阵列；测针直接与被测物接触，以探测并传递位移量；悬挂弹簧起悬挂、调平悬梁的作用，并可调节测量力；限位结构用来限制悬梁及测针运动的自由度，使其只能以悬梁顶端的小球球心为原点旋转，从而消除了测针和悬梁的整体偏移，保证了横向位移测量的精度。

公开(公告)号：CN104236501A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201410483545.2

申请日：2014-09-22

Applicant: 上海市计量测试技术研究院

Inventor： 雷李华 ,  蔡潇雨 ,  李源 ,  傅云霞 ,  简黎

IPC: G01B21/04

Abstract: 本发明公开了一种二维栅格板的栅格点系统误差自校准方法，利用测量精度不高于栅格板本身的二维影像测量仪作为测量工具,将二维栅格板通过承载夹具安装在影像测量仪工作台上。通过影像测量仪读取栅格板上每个栅格点的坐标，接着将栅格板相对初始位置旋转90度，再次读取栅格板上每个栅格点的坐标，然后以初始位置为基准向左及向右各平移一个栅格间距，再次读取栅格板上每个栅格点的坐标。针对上述4个栅格位置或更多位置下的测量数据，建立测量系统矩阵方程，基于最小二乘法可以求解出二维栅格板的栅格点系统误差。本发明实现了利用低精度的影像测量仪标定二维栅格板的功能，无需额外的高精度标定工具，适用于各种类型的二维栅格板的精度标定。

公开(公告)号：CN103075951B

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201210557826.9

申请日：2012-12-20

Applicant: 上海市计量测试技术研究院

Inventor： 雷李华 ,  吴佳欢 ,  蔡潇雨 ,  简黎 ,  李源 ,  吴俊杰 ,  邓林涓 ,  傅云霞 ,  耿锋 ,  翁浚婧

IPC: G01B7/00 ,  B81B7/04

Abstract: 本发明为一种基于电容传感器阵列的三维微接触式测头，所述的测头由方形底板、电容传感器阵列、十字梁和测针组成，其特征在于：所述的测头有多个电容传感单元，呈阵列式分布于方形底板上，测针连接在十字梁的中心连接体上，十字梁的悬臂与电容传感器上极板相连，上极板通过微弹簧悬挂单元悬挂，所述上极板的悬挂采用若干个微弹簧实现，微弹簧不仅用于固定电容传感器的上极板，还用于支撑十字梁和测针重量，由测针及十字梁组成的杠杆结构将被测物的横向位移放大并转化为电容上极板的轴向位移，解决单个电容传感器测量时横向分辨力低的问题。本发明弥补了单个电容传感器横向分辨力低的缺陷，提高了分辨力和精度，有效拓展了横向测量范围。