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公开(公告)号：CN117029725A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202310518456.6
申请日：2023-05-09
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明公开了一种相位测量轮廓术多频外差相位展开的相位跳变误差消除方法，基于多频外差原理，通过后一像素点相位幅值减去当前像素点相位幅值计算展开相位的梯度，找出展开相位中可能存在误差的可疑点，根据误差的幅值判断误差来源并确定误差的起始和终止像素点位置，消除跳变误差并对跳跃点处加以平滑，该方法可判别实际形貌落差与跳变误差，消除阴影部分以外的跳变误差部分，使相位展开后得到的绝对相位更加平整且无跳变，从而使得整幅光栅条纹的相位展开图连续、光滑、无跳变，提高了三维形貌测量结果的精确度及稳定性。
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公开(公告)号：CN117006950A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202311081467.9
申请日：2023-08-25
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明为一种基于光栅干涉式测量的纳米位移台校准装置，包括准直光源、置于所述准直光源光路上的光电探测模块、与所述光电探测模块位置对应的待校准的纳米位移台、置于所述待校准的纳米位移台上的光栅、与所述光电探测模块电路连接的信号处理系统以及与所述待校准的纳米位移台电路连接的位移台驱动系统，所述位移台驱动系统驱动待校准的纳米位移台带动光栅同步运动，所述的光电探测模块设有用于采集干涉信号的光电探测器，所述光电探测器采集的干涉信号转化为电流信号传输至信号处理系统，由信号处理系统对干涉信号进行数据处理，获得光栅和待校准的纳米位移台的位移信息。
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公开(公告)号：CN118739001A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410918766.1
申请日：2024-07-10
Abstract: 本发明为一种小型全覆式光学倍频晶体温控炉，所述的温控炉由外向内依次包括外部的保温壳、中层套筒及内部用于夹持光学倍频晶体的内芯夹具，保温壳包括螺纹连接的保温壳主体和保温壳盖，在保温壳的两端中心部位处分别嵌有透明透镜，所述的中层套筒设有中心轴向通孔，外表面覆有电加热膜，包括通过前盖紧固螺钉连接的中层套筒前盖和中层套筒本体，在中层套筒本体上设有针孔温度传感器，底部设有用于与内芯夹具装配的卡接锁定结构，所述的内芯夹具中心轴向设有夹具透光孔，包括用以对光学倍频晶体进行固定的夹具部分及用于与中层套筒底部的卡接锁定结构配合安装固定的锁定部分，所述的光学倍频晶体位于夹具透光孔中轴线上。
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公开(公告)号：CN117140386A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202310941988.0
申请日：2023-07-28
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: B25B11/00
Abstract: 本发明为一种多自由度自定心光学镜片夹持支架，包括设于底座上的伸缩杆、与伸缩杆顶部固定连接的外圈、设于外圈内侧的中圈和设于中圈内侧的内圈，通过伸缩杆实现镜片高度调节和左右转动角度调节，通过中圈相对外圈的翻转活动实现镜片俯仰角度调节，通过带自定心夹持功能的内圈相对中圈的环面旋转实现镜片的自定心及径向旋转角度调节，从而在光学检测中实现了对不同尺寸的光学镜片的自定心夹持工作并可对其进行多自由度调节的功能，且结构简单，定位精准度高，同时能够实现不同尺寸的镜片夹持。
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公开(公告)号：CN119268563A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411599697.9
申请日：2024-11-11
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明为一种基于激光干涉仪的纳米光栅位姿校准系统，包括光路系统及位移台驱动系统，所述的位移台驱动系统包括四轴位移台，所述的四轴位移台的安装台面上设有用于安装纳米光栅的纳米光栅支架和激光干涉仪，所述的纳米光栅通过四轴位移台依次对纳米光栅三轴方向角度分别进行修正，包括俯仰、横滚与偏摆三自由度上的自由转动以及光栅轴线方向上的线位移。本发明采用激光干涉仪测量值作为光栅姿态的修正反馈，将光栅位移测量系统的测量值与其进行比对，判断四轴位移台各轴的调整方向，最后再经由多次驱动四轴位移台，将纳米光栅支架调整至理想位置，解决纳米光栅位姿误差问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116558447A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310592305.5
申请日：2023-05-24
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明为一种用于检定两光栅平行性的装置，包括同光轴布置的第一光栅、第二光栅、激光器、小孔光阑、半透半反棱镜、五角棱镜和观察屏，所述装置包括调节栅面平行和调节栅线平行两部分，利用第一光栅和第二光栅的镜面反射，通过调节第一光栅和第二光栅的偏摆角度，使照射在观察屏上的两束光斑在处于同一水平直线，实现两光栅栅面平行调整，利用第一光栅和第二光栅的衍射效应，通过调节第一光栅和第二光栅的绕水平方向旋转的旋转角度，使照射在观察屏上的两束光斑在处于同一竖直方向直线，实现两光栅栅线平行调整。本发明结构简单，原理易懂，便于操作实现。
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公开(公告)号：CN119915331A
公开(公告)日：2025-05-02
申请号：CN202510348384.4
申请日：2025-03-24
Abstract: 本发明为一种基于双光栅干涉的微型旋转编码器校准装置及其校准方法，包括双光栅零差干涉校准系统、微振动位移台和微型旋转编码器及接收系统，微振动位移台设有安装有两光栅调节装置的机械振动模块，微型旋转编码器与其中一光栅调节装置拼接，并与单片机控制模块电路相连，由单片机控制模块接收上位机输入的目标参数信息控制旋转编码器，并驱动微振动位移台沿矢量方向连续振动，带动光栅旋转设定角度，通过实时输出双光栅干涉信号并计算光栅旋转产生的余弦角测量值，与微型旋转式编码器刻制标准值比对直至完成校准。本发明采用双光栅干涉比对校准的形式，实现对微型旋转编码器的高精度校准，可溯源到“米”的定义，稳定性高、溯源链短、鲁棒性强。
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公开(公告)号：CN118709744A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410918667.3
申请日：2024-07-10
IPC: G06N3/084 , G01B11/24 , G06N3/0455 , G06N3/0464
Abstract: 本发明公开了一种基于深度学习语义分割网络的相位解包裹方法，包括以下步骤：使用仿真软件生成包括包裹相位和对应的展开相位的数据集，并按比例随机划分成训练集、验证集和测试集；对训练集中的包裹相位数据进行预处理得到处理后的训练集；基于U‑Net网络搭建包含卷积层、池化层的U型网络，并加入多信息融合模块形成复合神经网络模型PMDU；将待解包裹的包裹相位图输入到PMDU网络模型中进行模型训练后确定PMDU模型的参数；将测试集中的包裹相位数据作为PMDU模型的输入进行相位解包裹，将得到对应实际展开相位数据与仿真软件生成的对应展开相位数据对比确定PMDU模型的准确性。本发明求解速度快，精度高，噪声鲁棒性强。
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公开(公告)号：CN117517718A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311566217.4
申请日：2023-11-22
IPC: G01Q60/38
Abstract: 本发明为一种用于原子力显微镜的悬臂梁探针支架，包括基体、探针座和夹持机构，所述的基体为中空柱体结构，在中心通孔的顶部设有圆形视窗，所述的探针座用于安装悬臂梁探针，设于圆形视窗外表面，安装后探针的针尖位于圆形视窗区域内，所述的悬臂梁探针通过夹持机构夹紧固定，夹持机构通过固定杆设于基体侧壁，包括夹持片和金属弹片，所述的夹持片为“Z”字形结构，其顶部一段为用于压紧悬臂梁探针圆弧压片，中段竖直并开有矩形卡槽，底部一段为水平段，所述的金属弹片设有一端部倾斜于本体表面的薄型弹片，金属弹片本体固定于基体侧壁上，夹持片相对于金属弹片上下活动，通过矩形卡槽与薄型弹片的卡合实现夹持片对悬臂梁探针的压紧定位。
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公开(公告)号：CN116560028A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310592376.5
申请日：2023-05-24
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明为一种背对式两光栅相互平行的调节方法及调节装置，包括调节两光栅栅面平行和调节两光栅栅线平行，采用的调节装置包括第一光栅A、第二光栅B、红光光源、接收屏、光栅安装板、小孔光阑、准直光源、分别设于光栅四个角的螺纹结构和用于光栅与光栅安装板连接安装的伸缩式卡槽旋转机构，通过调节分设于光栅安装板正反两面的第一光栅A和第二光栅B分别与同一水平准直光源垂直来实现两光栅的栅面平行调节，通过红光光源发射光线，由接收屏分次显示两光栅形成的衍射图样，并对两个或以上的衍射光斑分别标记后连线，调节第一光栅A使其标记连线与第二光栅B的标记连线平行，完成两光栅的栅线平行调节。
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