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公开(公告)号：CN113237446B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202110414926.5
申请日：2021-04-17
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 中国计量大学
Abstract: 本发明为一种复合型纳米膜厚标准样板及其循迹方法，其特征在于：所述的标准样板包括分设于基底上的第一测量工作区域和第二测量工作区域两个工作区域，所述的第一测量工作区域为几何薄膜结构测量工作区域，所述的第二测量工作区域为物性薄膜结构测量工作区域，两测量工作区域厚度参数相同，所述的第一测量工作区域设有几何结构工作框，所述的工作框四边外周设有一级循迹标识，在工作框内部设有二级循迹标识，工作框中部则设有中心几何薄膜结构，所述的第二测量工作区域设有物性薄膜结构中心圆，其外周布置有带箭头循迹标识，所述物性薄膜结构中心圆的外周还顺序设有第一外环、第二外环和第三外环。
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公开(公告)号：CN109341523B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201811166364.1
申请日：2018-10-08
Applicant: 中国计量大学 , 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明提供一种点衍射干涉三坐标测量装置探头端面调平方法，涉及测量技术领域。采用基于波面对称的探头零点位置调整方法，探测器获取初始波面数据，将探头旋转180°，平移探头再次获取波面，将波面数据旋转180°后与初始波面数据作差值，将探头平移至初始位置和差值为极小值位置的中点位置，为探头零点位置，调整探头的倾斜角并获取波面数据，利用泽尼克多项式拟合方法对波面数据进行拟合得到xy方向倾斜项系数，调节至该系数为极大值时的角度，实现探头端面调平。本发明解决了现有技术中探头端面相对探测面调平困难影响测量精度的技术问题。本发明有益效果为：确定探头端面状态，满足测量模型求解要求，使三维坐标重构结果更加快速和精确。
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公开(公告)号：CN113237446A
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN202110414926.5
申请日：2021-04-17
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 中国计量大学
Abstract: 本发明为一种复合型纳米膜厚标准样板及其循迹方法，其特征在于：所述的标准样板包括分设于基底上的第一测量工作区域和第二测量工作区域两个工作区域，所述的第一测量工作区域为几何薄膜结构测量工作区域，所述的第二测量工作区域为物性薄膜结构测量工作区域，两测量工作区域厚度参数相同，所述的第一测量工作区域设有几何结构工作框，所述的工作框四边外周设有一级循迹标识，在工作框内部设有二级循迹标识，工作框中部则设有中心几何薄膜结构，所述的第二测量工作区域设有物性薄膜结构中心圆，其外周布置有带箭头循迹标识，所述物性薄膜结构中心圆的外周还顺序设有第一外环、第二外环和第三外环。
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公开(公告)号：CN111967100A
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN202010725389.1
申请日：2020-07-24
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 中国计量大学
Abstract: 本发明为一种基于改进蚁群算法拟合螺纹中轴线的方法，其特征在于：步骤1：由光学扫描或螺纹测量仪器获得螺纹表面点云的三维坐标数据作为改进蚁群算法的输入样本；步骤2：根据螺纹表面三维坐标点到中轴线的距离方差最小的原则建立立体几何数学模型，根据两点确定一条直线的原则确定螺纹内部区域内两点共6个坐标值；步骤3：将采集的螺纹三维数据投影到二维面上，估算出中轴线上两点坐标共六个参数的初始区间；步骤4：建立改进蚁群算法框架，算法框架由设置初始状态，信息素更新，设定选择概率，选定转移方法，贪婪处理以及结束原则六部分组成。步骤5：通过拟合程序将上述步骤过程及获得的数据整合后输出螺纹中轴线的两点式。
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公开(公告)号：CN111336935A
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN202010242951.5
申请日：2020-03-31
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 中国计量大学
Abstract: 本发明为一种基于改进混合优化算法的纳米薄膜参数反演计算方法，其特征在于：所述的纳米薄膜是在基底层上镀介质薄膜后形成的顺序由基底层、中间层和介质薄膜层组成的三层结构纳米薄膜，所述的混合优化算法是利用爬山算法对全连接神经网络的权值进行迭代优化而建立的混合优化算法，通过对椭偏仪测量介质薄膜层得到的椭偏参数值进行数据反演计算，并结合测量时的环境参数值和基底层已知参数值以得出纳米薄膜的厚度及光学参数。本发明保证了利用椭偏仪的测量数据计算出介质薄膜层厚度及光学常数这一过程精确且快速，为利用光谱型椭偏仪测量介质薄膜层的参数提供了数据处理方法保障。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111967100B
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202010725389.1
申请日：2020-07-24
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 中国计量大学
Abstract: 本发明为一种基于改进蚁群算法拟合螺纹中轴线的方法，其特征在于：步骤1：由光学扫描或螺纹测量仪器获得螺纹表面点云的三维坐标数据作为改进蚁群算法的输入样本；步骤2：根据螺纹表面三维坐标点到中轴线的距离方差最小的原则建立立体几何数学模型，根据两点确定一条直线的原则确定螺纹内部区域内两点共6个坐标值；步骤3：将采集的螺纹三维数据投影到二维面上，估算出中轴线上两点坐标共六个参数的初始区间；步骤4：建立改进蚁群算法框架，算法框架由设置初始状态，信息素更新，设定选择概率，选定转移方法，贪婪处理以及结束原则六部分组成。步骤5：通过拟合程序将上述步骤过程及获得的数据整合后输出螺纹中轴线的两点式。
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公开(公告)号：CN109341523A
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201811166364.1
申请日：2018-10-08
Applicant: 中国计量大学 , 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明提供一种点衍射干涉三坐标测量装置探头端面调平方法，涉及测量技术领域。采用基于波面对称的探头零点位置调整方法，探测器获取初始波面数据，将探头旋转180°，平移探头再次获取波面，将波面数据旋转180°后与初始波面数据作差值，将探头平移至初始位置和差值为极小值位置的中点位置，为探头零点位置，调整探头的倾斜角并获取波面数据，利用泽尼克多项式拟合方法对波面数据进行拟合得到xy方向倾斜项系数，调节至该系数为极大值时的角度，实现探头端面调平。本发明解决了现有技术中探头端面相对探测面调平困难影响测量精度的技术问题。本发明有益效果为：确定探头端面状态，满足测量模型求解要求，使三维坐标重构结果更加快速和精确。
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公开(公告)号：CN103398087A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201310343076.X
申请日：2013-08-07
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: F16C3/18
Abstract: 本发明公开了一种可调节偏心距的标准偏心轴，包括主轴，主轴一侧具有外螺纹段，另一侧具有轴肩，外螺段套装有垫圈和可与外螺纹段拧合的锁紧螺母，所述外螺纹段和轴肩之间有两个斜面，两斜面之间成60度角，距离主轴线距离相同且与轴体对称；在轴肩和垫圈之间依次套装有轴套、隔离套和轴套，所述轴套成环状，且环内有两个相互间成60度角的平面，两平面和主轴两斜面相匹配，在对应平面和斜面内分别放置一对可更换的相同高度的标准厚度块。本发明可达到偏心距的精确调整，通过标准厚度块的改变，可实现约定的标准偏心距，消除了人为调节的影响，在同一标准偏心轴上，可以实现快速的测量校准，结构简单可靠。
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公开(公告)号：CN215261700U
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN202120786965.3
申请日：2021-04-17
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 中国计量大学
Abstract: 本实用新型为一种复合型纳米膜厚标准样板，其特征在于：所述的标准样板包括分设于基底上的第一测量工作区域和第二测量工作区域两个工作区域，所述的第一测量工作区域为几何薄膜结构测量工作区域，所述的第二测量工作区域为物性薄膜结构测量工作区域，两测量工作区域厚度参数相同，所述的第一测量工作区域设有几何结构工作框，所述的工作框四边外周设有一级循迹标识，在工作框内部设有二级循迹标识，工作框中部则设有中心几何薄膜结构，所述的第二测量工作区域设有物性薄膜结构中心圆，其外周布置有带箭头循迹标识，所述物性薄膜结构中心圆的外周还顺序设有第一外环、第二外环和第三外环。
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公开(公告)号：CN103398087B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201310343076.X
申请日：2013-08-07
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: F16C3/18
Abstract: 本发明公开了一种可调节偏心距的标准偏心轴，包括主轴，主轴一侧具有外螺纹段，另一侧具有轴肩，外螺段套装有垫圈和可与外螺纹段拧合的锁紧螺母，所述外螺纹段和轴肩之间有两个斜面，两斜面之间成60度角，距离主轴线距离相同且与轴体对称；在轴肩和垫圈之间依次套装有轴套、隔离套和轴套，所述轴套成环状，且环内有两个相互间成60度角的平面，两平面和主轴两斜面相匹配，在对应平面和斜面内分别放置一对可更换的相同高度的标准厚度块。本发明可达到偏心距的精确调整，通过标准厚度块的改变，可实现约定的标准偏心距，消除了人为调节的影响，在同一标准偏心轴上，可以实现快速的测量校准，结构简单可靠。
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