电子探针显微分析仪器的参数误差校准方法

    公开(公告)号:CN115877037A

    公开(公告)日:2023-03-31

    申请号:CN202211365264.8

    申请日:2022-11-03

    Abstract: 本发明公开了一种电子探针显微分析仪器的参数误差校准方法,基于原子光刻技术制备一维光栅标准样板,计算该一维光栅标准样板的光栅理论周期值D;将一维光栅标准样板静置于电子探针显微分析仪器的载物台设定时间,使测试状态保持稳定;待电子探针显微分析仪器聚焦清晰后,电子探针显微分析仪器扫描载物台上的一维光栅标准样板,对一维光栅标准样板的栅格间距进行图像采集和测量,得到光栅扫描距离测量值L,并记下此时的放大倍率,根据D和L计算获得该放大倍率下的校准因子K。本发明的电子探针显微分析仪器的参数误差校准方法,缩短了对仪器进行校准的溯源链长度,降低了量值传递过程的误差积累,提升了不同仪器之间的校准一致性,操作方便。

    一种基于光栅干涉式测量的纳米位移台校准装置

    公开(公告)号:CN117006950A

    公开(公告)日:2023-11-07

    申请号:CN202311081467.9

    申请日:2023-08-25

    Abstract: 本发明为一种基于光栅干涉式测量的纳米位移台校准装置,包括准直光源、置于所述准直光源光路上的光电探测模块、与所述光电探测模块位置对应的待校准的纳米位移台、置于所述待校准的纳米位移台上的光栅、与所述光电探测模块电路连接的信号处理系统以及与所述待校准的纳米位移台电路连接的位移台驱动系统,所述位移台驱动系统驱动待校准的纳米位移台带动光栅同步运动,所述的光电探测模块设有用于采集干涉信号的光电探测器,所述光电探测器采集的干涉信号转化为电流信号传输至信号处理系统,由信号处理系统对干涉信号进行数据处理,获得光栅和待校准的纳米位移台的位移信息。

    一种透射元件多表面面形检测方法

    公开(公告)号:CN109307480B

    公开(公告)日:2020-08-14

    申请号:CN201811163319.0

    申请日:2018-09-30

    Abstract: 本发明提供一种透射元件多表面面形检测方法,涉及测量技术领域。利用逆向哈特曼光路检测装置测得待测元件波像差的前提下,使用计算机建立的模型化检测系统,在光线追迹模型中对待测元件各表面面形添加多组不同面形误差,获得相应波像差,通过求解模型化检测系统中波像差与实测波像差的差值最小值,最终得到待测透射元件的实际面形误差。本发明解决了现有技术中对透射元件的多表面检测不具有高精度及通用性的技术问题。本发明有益效果为:为透射元件多表面面形检测提供了一种高精度大动态范围的检测方法。

    一种透射元件多表面面形检测方法

    公开(公告)号:CN109307480A

    公开(公告)日:2019-02-05

    申请号:CN201811163319.0

    申请日:2018-09-30

    Abstract: 本发明提供一种透射元件多表面面形检测方法,涉及测量技术领域。利用逆向哈特曼光路检测装置测得待测元件波像差的前提下,使用计算机建立的模型化检测系统,在光线追迹模型中对待测元件各表面面形添加多组不同面形误差,获得相应波像差,通过求解模型化检测系统中波像差与实测波像差的差值最小值,最终得到待测透射元件的实际面形误差。本发明解决了现有技术中对透射元件的多表面检测不具有高精度及通用性的技术问题。本发明有益效果为:为透射元件多表面面形检测提供了一种高精度大动态范围的检测方法。

    一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头

    公开(公告)号:CN103075952A

    公开(公告)日:2013-05-01

    申请号:CN201210557870.X

    申请日:2012-12-20

    Abstract: 本发明为一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头,其特征在于:所述的微触觉测头由圆形基底、电容式传感器阵列、悬梁、测针、悬挂弹簧及限位结构组成;圆形基底用于固定传感器阵列及悬梁;电容式传感器阵列作为敏感单元,用以感知位移变化;悬梁用于连接测针及传感器阵列;测针直接与被测物接触,以探测并传递位移量;悬挂弹簧起悬挂、调平悬梁的作用,并可调节测量力;限位结构用来限制悬梁及测针运动的自由度,使其只能以悬梁顶端的小球球心为原点旋转,从而消除了测针和悬梁的整体偏移,保证了横向位移测量的精度。

    一种用于微纳米坐标测量的多测头测量方法与装置

    公开(公告)号:CN101793499B

    公开(公告)日:2011-09-28

    申请号:CN201010136223.2

    申请日:2010-03-30

    Abstract: 本发明为一种用于微纳米坐标测量的多测头测量方法与装置。将微纳米多测头系统安装在三维高精度位移平台上,Z向平移台上安装载物台,载物台下面有俯仰和偏摆微调机构。多测头系统的测量装置放置在隔离腔中,测量装置的控制信号和多测头系统的传感信号与隔离腔外的DAQ卡,控制箱和计算机相连。将一个测头中心作为坐标系的原点,把其他几个测头所在位置坐标依次匹配到坐标系中。对多测头系统进行校准,对各测头在统一坐标系中的位置坐标进行校准。测量时,由与被测点最近的测头进行测量。将各被测点对应的三维位移平台的位移量,转换为各被测点在坐标系中的坐标,计算出被测尺寸。本发明方法具有工作效率高、测量精度高的优点。

    一种多自由度自定心光学镜片夹持支架

    公开(公告)号:CN117140386A

    公开(公告)日:2023-12-01

    申请号:CN202310941988.0

    申请日:2023-07-28

    Abstract: 本发明为一种多自由度自定心光学镜片夹持支架,包括设于底座上的伸缩杆、与伸缩杆顶部固定连接的外圈、设于外圈内侧的中圈和设于中圈内侧的内圈,通过伸缩杆实现镜片高度调节和左右转动角度调节,通过中圈相对外圈的翻转活动实现镜片俯仰角度调节,通过带自定心夹持功能的内圈相对中圈的环面旋转实现镜片的自定心及径向旋转角度调节,从而在光学检测中实现了对不同尺寸的光学镜片的自定心夹持工作并可对其进行多自由度调节的功能,且结构简单,定位精准度高,同时能够实现不同尺寸的镜片夹持。

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