公开(公告)号：CN113237446A

公开(公告)日：2021-08-10

申请号：CN202110414926.5

申请日：2021-04-17

Applicant: 上海市计量测试技术研究院 ,  中国计量大学

Inventor： 雷李华 ,  管钰晴 ,  傅云霞 ,  曾燕华 ,  杜黎明 ,  唐冬梅 ,  邹文哲

IPC: G01B21/08 ,  G01B11/06

Abstract: 本发明为一种复合型纳米膜厚标准样板及其循迹方法，其特征在于：所述的标准样板包括分设于基底上的第一测量工作区域和第二测量工作区域两个工作区域，所述的第一测量工作区域为几何薄膜结构测量工作区域，所述的第二测量工作区域为物性薄膜结构测量工作区域，两测量工作区域厚度参数相同，所述的第一测量工作区域设有几何结构工作框，所述的工作框四边外周设有一级循迹标识，在工作框内部设有二级循迹标识，工作框中部则设有中心几何薄膜结构，所述的第二测量工作区域设有物性薄膜结构中心圆，其外周布置有带箭头循迹标识，所述物性薄膜结构中心圆的外周还顺序设有第一外环、第二外环和第三外环。

公开(公告)号：CN113237446B

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202110414926.5

申请日：2021-04-17

Applicant: 上海市计量测试技术研究院 ,  中国计量大学

Inventor： 雷李华 ,  管钰晴 ,  傅云霞 ,  曾燕华 ,  杜黎明 ,  唐冬梅 ,  邹文哲

IPC: G01B21/08 ,  G01B11/06

Abstract: 本发明为一种复合型纳米膜厚标准样板及其循迹方法，其特征在于：所述的标准样板包括分设于基底上的第一测量工作区域和第二测量工作区域两个工作区域，所述的第一测量工作区域为几何薄膜结构测量工作区域，所述的第二测量工作区域为物性薄膜结构测量工作区域，两测量工作区域厚度参数相同，所述的第一测量工作区域设有几何结构工作框，所述的工作框四边外周设有一级循迹标识，在工作框内部设有二级循迹标识，工作框中部则设有中心几何薄膜结构，所述的第二测量工作区域设有物性薄膜结构中心圆，其外周布置有带箭头循迹标识，所述物性薄膜结构中心圆的外周还顺序设有第一外环、第二外环和第三外环。

公开(公告)号：CN216846167U

公开(公告)日：2022-06-28

申请号：CN202120786997.3

申请日：2021-04-17

Applicant: 上海市计量测试技术研究院 ,  中国计量大学

Inventor： 雷李华 ,  傅云霞 ,  管钰晴 ,  曾燕华 ,  杜黎明 ,  唐冬梅 ,  邹文哲

IPC: G01B21/02 ,  G01B21/18 ,  G01B21/08

Abstract: 本实用新型为一种复合型微纳米高深宽比沟槽标准样板，其特征在于：所述的标准样板包括分设于基底上的几何台阶结构测量工作区域、一维栅格结构测量工作区域及深槽结构测量工作区域，所述的几何台阶结构测量工作区域设有直角三角形循迹标识和台阶结构循迹标识及台阶，一维栅格结构测量工作区域设有一维栅格标准样板及指向一维栅格标准样板的一维栅格结构循迹标识，深槽结构测量工作区域设有具有深度、宽度尺寸的沟槽，在沟槽两侧对称设有定位角标识、沟槽定位结构、切片定位结构和正交扫描标定结构，所述台阶的高度与一维栅格标准样板的结构高度及沟槽的深度尺寸相同，且台阶的宽度与一维栅格标准样板中每个光栅的结构宽度及沟槽的宽度尺寸相同。

公开(公告)号：CN216791112U

公开(公告)日：2022-06-21

申请号：CN202120786964.9

申请日：2021-04-17

Applicant: 上海市计量测试技术研究院 ,  中国计量大学

Inventor： 管钰晴 ,  傅云霞 ,  雷李华 ,  曾燕华 ,  杜黎明 ,  唐冬梅 ,  邹文哲

IPC: G01B11/06

Abstract: 本实用新型为一种可循迹多尺寸纳米膜厚标准样板，其特征在于：所述的纳米膜厚标准样板包括设于基底上的第一测量工作区域和第二测量工作区域两个工作区域，所述的第一测量工作区域设有小光斑光源测量工作中心圆，所述的第二测量工作区域设有大光斑光源测量工作中心圆，所述的小光斑光源测量工作中心圆外周设有若干指向小光斑光源测量工作中心圆的小光斑光源工作区域循迹标识，所述大光斑光源测量工作中心圆外周设有若干指向大光斑光源测量工作中心圆的大光斑光源工作区域循迹标识。本实用新型能够满足测量中不同光斑大小的测量需求，完善了半导体行业不同类型仪器的量值统一方式，使测量结构能被快速、准确地定位和测量，大大提高了测量效率。

公开(公告)号：CN215261700U

公开(公告)日：2021-12-21

申请号：CN202120786965.3

申请日：2021-04-17

Applicant: 上海市计量测试技术研究院 ,  中国计量大学

Inventor： 雷李华 ,  管钰晴 ,  傅云霞 ,  曾燕华 ,  杜黎明 ,  唐冬梅 ,  邹文哲

IPC: G01B21/08 ,  G01B11/06

Abstract: 本实用新型为一种复合型纳米膜厚标准样板，其特征在于：所述的标准样板包括分设于基底上的第一测量工作区域和第二测量工作区域两个工作区域，所述的第一测量工作区域为几何薄膜结构测量工作区域，所述的第二测量工作区域为物性薄膜结构测量工作区域，两测量工作区域厚度参数相同，所述的第一测量工作区域设有几何结构工作框，所述的工作框四边外周设有一级循迹标识，在工作框内部设有二级循迹标识，工作框中部则设有中心几何薄膜结构，所述的第二测量工作区域设有物性薄膜结构中心圆，其外周布置有带箭头循迹标识，所述物性薄膜结构中心圆的外周还顺序设有第一外环、第二外环和第三外环。