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公开(公告)号：CN113237446B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202110414926.5
申请日：2021-04-17
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 中国计量大学
Abstract: 本发明为一种复合型纳米膜厚标准样板及其循迹方法，其特征在于：所述的标准样板包括分设于基底上的第一测量工作区域和第二测量工作区域两个工作区域，所述的第一测量工作区域为几何薄膜结构测量工作区域，所述的第二测量工作区域为物性薄膜结构测量工作区域，两测量工作区域厚度参数相同，所述的第一测量工作区域设有几何结构工作框，所述的工作框四边外周设有一级循迹标识，在工作框内部设有二级循迹标识，工作框中部则设有中心几何薄膜结构，所述的第二测量工作区域设有物性薄膜结构中心圆，其外周布置有带箭头循迹标识，所述物性薄膜结构中心圆的外周还顺序设有第一外环、第二外环和第三外环。
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公开(公告)号：CN117029725A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202310518456.6
申请日：2023-05-09
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明公开了一种相位测量轮廓术多频外差相位展开的相位跳变误差消除方法，基于多频外差原理，通过后一像素点相位幅值减去当前像素点相位幅值计算展开相位的梯度，找出展开相位中可能存在误差的可疑点，根据误差的幅值判断误差来源并确定误差的起始和终止像素点位置，消除跳变误差并对跳跃点处加以平滑，该方法可判别实际形貌落差与跳变误差，消除阴影部分以外的跳变误差部分，使相位展开后得到的绝对相位更加平整且无跳变，从而使得整幅光栅条纹的相位展开图连续、光滑、无跳变，提高了三维形貌测量结果的精确度及稳定性。
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公开(公告)号：CN118739001A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410918766.1
申请日：2024-07-10
Abstract: 本发明为一种小型全覆式光学倍频晶体温控炉，所述的温控炉由外向内依次包括外部的保温壳、中层套筒及内部用于夹持光学倍频晶体的内芯夹具，保温壳包括螺纹连接的保温壳主体和保温壳盖，在保温壳的两端中心部位处分别嵌有透明透镜，所述的中层套筒设有中心轴向通孔，外表面覆有电加热膜，包括通过前盖紧固螺钉连接的中层套筒前盖和中层套筒本体，在中层套筒本体上设有针孔温度传感器，底部设有用于与内芯夹具装配的卡接锁定结构，所述的内芯夹具中心轴向设有夹具透光孔，包括用以对光学倍频晶体进行固定的夹具部分及用于与中层套筒底部的卡接锁定结构配合安装固定的锁定部分，所述的光学倍频晶体位于夹具透光孔中轴线上。
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公开(公告)号：CN117140386A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202310941988.0
申请日：2023-07-28
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: B25B11/00
Abstract: 本发明为一种多自由度自定心光学镜片夹持支架，包括设于底座上的伸缩杆、与伸缩杆顶部固定连接的外圈、设于外圈内侧的中圈和设于中圈内侧的内圈，通过伸缩杆实现镜片高度调节和左右转动角度调节，通过中圈相对外圈的翻转活动实现镜片俯仰角度调节，通过带自定心夹持功能的内圈相对中圈的环面旋转实现镜片的自定心及径向旋转角度调节，从而在光学检测中实现了对不同尺寸的光学镜片的自定心夹持工作并可对其进行多自由度调节的功能，且结构简单，定位精准度高，同时能够实现不同尺寸的镜片夹持。
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公开(公告)号：CN115877037A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202211365264.8
申请日：2022-11-03
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 同济大学
IPC: G01Q40/00
Abstract: 本发明公开了一种电子探针显微分析仪器的参数误差校准方法，基于原子光刻技术制备一维光栅标准样板，计算该一维光栅标准样板的光栅理论周期值D；将一维光栅标准样板静置于电子探针显微分析仪器的载物台设定时间，使测试状态保持稳定；待电子探针显微分析仪器聚焦清晰后，电子探针显微分析仪器扫描载物台上的一维光栅标准样板，对一维光栅标准样板的栅格间距进行图像采集和测量，得到光栅扫描距离测量值L,并记下此时的放大倍率，根据D和L计算获得该放大倍率下的校准因子K。本发明的电子探针显微分析仪器的参数误差校准方法，缩短了对仪器进行校准的溯源链长度，降低了量值传递过程的误差积累，提升了不同仪器之间的校准一致性，操作方便。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117006950A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202311081467.9
申请日：2023-08-25
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明为一种基于光栅干涉式测量的纳米位移台校准装置，包括准直光源、置于所述准直光源光路上的光电探测模块、与所述光电探测模块位置对应的待校准的纳米位移台、置于所述待校准的纳米位移台上的光栅、与所述光电探测模块电路连接的信号处理系统以及与所述待校准的纳米位移台电路连接的位移台驱动系统，所述位移台驱动系统驱动待校准的纳米位移台带动光栅同步运动，所述的光电探测模块设有用于采集干涉信号的光电探测器，所述光电探测器采集的干涉信号转化为电流信号传输至信号处理系统，由信号处理系统对干涉信号进行数据处理，获得光栅和待校准的纳米位移台的位移信息。
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公开(公告)号：CN113884047A
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202010637446.0
申请日：2020-07-03
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01B21/16
Abstract: 本发明公开了一种轨距尺检测装置，其包括有分体式的第一测量平台和第二测量平台，所述第一测量平台和所述第二测量平台分别用于抵靠轨距尺的两端，所述第一测量平台和所述第二测量平台共同对所述轨距尺进行长度检测检定和超高检测检定。本发明的轨距尺检测装置，通过将轨距尺的两端的活动测头分别抵靠于两个测量平台，两个测量平台共同作用完成轨距尺的长度检测检定和超高检测检定，采用电机作为驱动部件，采用光栅尺与读数头作为测量部件采集位移信息，读数头测得的位移数据作为标准与轨距尺的读数相比较，从而实现在现场对轨距尺的高精度检定。
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公开(公告)号：CN119915331A
公开(公告)日：2025-05-02
申请号：CN202510348384.4
申请日：2025-03-24
Abstract: 本发明为一种基于双光栅干涉的微型旋转编码器校准装置及其校准方法，包括双光栅零差干涉校准系统、微振动位移台和微型旋转编码器及接收系统，微振动位移台设有安装有两光栅调节装置的机械振动模块，微型旋转编码器与其中一光栅调节装置拼接，并与单片机控制模块电路相连，由单片机控制模块接收上位机输入的目标参数信息控制旋转编码器，并驱动微振动位移台沿矢量方向连续振动，带动光栅旋转设定角度，通过实时输出双光栅干涉信号并计算光栅旋转产生的余弦角测量值，与微型旋转式编码器刻制标准值比对直至完成校准。本发明采用双光栅干涉比对校准的形式，实现对微型旋转编码器的高精度校准，可溯源到“米”的定义，稳定性高、溯源链短、鲁棒性强。
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公开(公告)号：CN116560028A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310592376.5
申请日：2023-05-24
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明为一种背对式两光栅相互平行的调节方法及调节装置，包括调节两光栅栅面平行和调节两光栅栅线平行，采用的调节装置包括第一光栅A、第二光栅B、红光光源、接收屏、光栅安装板、小孔光阑、准直光源、分别设于光栅四个角的螺纹结构和用于光栅与光栅安装板连接安装的伸缩式卡槽旋转机构，通过调节分设于光栅安装板正反两面的第一光栅A和第二光栅B分别与同一水平准直光源垂直来实现两光栅的栅面平行调节，通过红光光源发射光线，由接收屏分次显示两光栅形成的衍射图样，并对两个或以上的衍射光斑分别标记后连线，调节第一光栅A使其标记连线与第二光栅B的标记连线平行，完成两光栅的栅线平行调节。
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公开(公告)号：CN113237446A
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN202110414926.5
申请日：2021-04-17
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 中国计量大学
Abstract: 本发明为一种复合型纳米膜厚标准样板及其循迹方法，其特征在于：所述的标准样板包括分设于基底上的第一测量工作区域和第二测量工作区域两个工作区域，所述的第一测量工作区域为几何薄膜结构测量工作区域，所述的第二测量工作区域为物性薄膜结构测量工作区域，两测量工作区域厚度参数相同，所述的第一测量工作区域设有几何结构工作框，所述的工作框四边外周设有一级循迹标识，在工作框内部设有二级循迹标识，工作框中部则设有中心几何薄膜结构，所述的第二测量工作区域设有物性薄膜结构中心圆，其外周布置有带箭头循迹标识，所述物性薄膜结构中心圆的外周还顺序设有第一外环、第二外环和第三外环。
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