公开(公告)号：CN109341523A

公开(公告)日：2019-02-15

申请号：CN201811166364.1

申请日：2018-10-08

Applicant: 中国计量大学 ,  上海市计量测试技术研究院

Inventor： 王道档 ,  解钟敏 ,  孔明 ,  雷李华 ,  赵军 ,  许新科 ,  刘维 ,  郭天太 ,  曾燕华

IPC: G01B11/00

Abstract: 本发明提供一种点衍射干涉三坐标测量装置探头端面调平方法，涉及测量技术领域。采用基于波面对称的探头零点位置调整方法，探测器获取初始波面数据，将探头旋转180°，平移探头再次获取波面，将波面数据旋转180°后与初始波面数据作差值，将探头平移至初始位置和差值为极小值位置的中点位置，为探头零点位置，调整探头的倾斜角并获取波面数据，利用泽尼克多项式拟合方法对波面数据进行拟合得到xy方向倾斜项系数，调节至该系数为极大值时的角度，实现探头端面调平。本发明解决了现有技术中探头端面相对探测面调平困难影响测量精度的技术问题。本发明有益效果为：确定探头端面状态，满足测量模型求解要求，使三维坐标重构结果更加快速和精确。

公开(公告)号：CN109341523B

公开(公告)日：2020-08-14

申请号：CN201811166364.1

申请日：2018-10-08

Applicant: 中国计量大学 ,  上海市计量测试技术研究院

Inventor： 王道档 ,  解钟敏 ,  孔明 ,  雷李华 ,  赵军 ,  许新科 ,  刘维 ,  郭天太 ,  曾燕华

IPC: G01B11/00

Abstract: 本发明提供一种点衍射干涉三坐标测量装置探头端面调平方法，涉及测量技术领域。采用基于波面对称的探头零点位置调整方法，探测器获取初始波面数据，将探头旋转180°，平移探头再次获取波面，将波面数据旋转180°后与初始波面数据作差值，将探头平移至初始位置和差值为极小值位置的中点位置，为探头零点位置，调整探头的倾斜角并获取波面数据，利用泽尼克多项式拟合方法对波面数据进行拟合得到xy方向倾斜项系数，调节至该系数为极大值时的角度，实现探头端面调平。本发明解决了现有技术中探头端面相对探测面调平困难影响测量精度的技术问题。本发明有益效果为：确定探头端面状态，满足测量模型求解要求，使三维坐标重构结果更加快速和精确。

公开(公告)号：CN108507492A

公开(公告)日：2018-09-07

申请号：CN201810456759.9

申请日：2018-05-14

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 王道档 ,  徐平 ,  解钟敏 ,  孔明 ,  赵军 ,  许新科 ,  刘维 ,  郭天太

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明提供一种平曲面透射元件表面的高精度大动态范围测量方法及测量系统，涉及测量技术领域。干涉仪测待元件平表得到面形数据；三坐标测量设备标定得到偏折光路系统结构位置参数；光线追迹建立理想光路系统得到理论坐标位置值；显示投影屏显示多步移相正弦灰度直条纹，计算机解出CCD相机拍摄的条纹对应的实际坐标位置值；由理论坐标位置值和实际坐标位置值得到对应坐标误差，计算得到待测曲面面形误差斜率分布，积分后得到待测元件曲表面面形误差。本发明解决了现有技术中高精度平曲面透射元件表面测量的测量动态范围小，设备昂贵的技术问题。本发明有益效果为：提供非接触高精度大动态范围的测量方法，实现检测设备的通用化。操作简单效率高。

公开(公告)号：CN107543683A

公开(公告)日：2018-01-05

申请号：CN201710644047.5

申请日：2017-07-31

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 王道档 ,  徐平 ,  解钟敏 ,  龚志东 ,  孔明 ,  刘维 ,  赵军 ,  郭天太

IPC: G01M11/02

Abstract: 本发明提供一种透射元件像差的高精度大动态范围测量系统及测量方法，涉及测量技术领域。它利用三坐标测量机对测量系统结构位置参数预标定，待测透射元件置于显示器屏幕与CCD相机之间，采用四步移相法求解出条纹对应的相位分布，并得到与相位对应的待测透射元件透射表面上的点投影在CCD相机中的实际光斑坐标值，再利用光线追迹法生成基于检验光路结构位置参数的理想坐标值，在此基础上对待测透射元件进行斜率误差计算，最后利用积分法得到元件像差数据。本发明解决了现有技术中非接触式的高精度透射元件表面检测的动态范围小、设备昂贵的技术问题。本发明为大动态范围的透射元件像差测量提供一种通用化可行方法，具有极其重要的实际应用价值。