基于NVM的高容量神经网络推理引擎

    公开(公告)号:CN117063148A

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN202280022919.3

    申请日:2022-03-30

    Abstract: 公开了一种用于神经网络推理引擎的系统、方法和计算机程序产品。推理引擎系统可以包括第一存储器和与第一存储器通信的处理器。该处理器可以被配置成执行操作。处理器被配置为执行的操作可以包括利用所述第一存储器取回第一任务以及将第一任务递送到处理器用于处理第一任务。操作还可包括当处理器处理第一任务时用第一存储器预取第二任务。所述操作可进一步包括在完成处理所述第一任务时所述第一存储器将所述第二任务递送到所述处理器。所述操作可以进一步包括处理器处理第二任务。

    用于高k/金属栅工艺流程的自对准接触

    公开(公告)号:CN103299428A

    公开(公告)日:2013-09-11

    申请号:CN201280004545.9

    申请日:2012-01-03

    Abstract: 本发明提供了一种半导体结构,包括具有位于半导体衬底的表面上的多个栅极堆叠14’的半导体衬底12。每个栅极堆叠从底部至顶部包括高k栅极电介质层42、功函数金属层44和导电金属46。间隔物22位于每个栅极堆叠的侧壁上,并且自对准电介质衬垫30存在于每个间隔物的上表面上。每个自对准电介质衬垫30的底表面存在于半导体金属合金28的上表面上。接触金属34位于相邻栅极堆叠之间并且通过自对准电介质衬垫30与每个栅极堆叠分隔开。结构也包括另一接触金属60,具有位于接触金属的上表面上并且与其直接接触的一部分以及位于一个栅极堆叠的导电金属上并且与其直接接触的另一部分。也公开了一种使用替换栅极和非替换栅极方案的形成半导体结构的方法。

    用于高k/金属栅工艺流程的自对准接触

    公开(公告)号:CN103299428B

    公开(公告)日:2016-04-13

    申请号:CN201280004545.9

    申请日:2012-01-03

    Abstract: 本发明提供了一种半导体结构,包括具有位于半导体衬底的表面上的多个栅极堆叠14’的半导体衬底12。每个栅极堆叠从底部至顶部包括高k栅极电介质层42、功函数金属层44和导电金属46。间隔物22位于每个栅极堆叠的侧壁上,并且自对准电介质衬垫30存在于每个间隔物的上表面上。每个自对准电介质衬垫30的底表面存在于半导体金属合金28的上表面上。接触金属34位于相邻栅极堆叠之间并且通过自对准电介质衬垫30与每个栅极堆叠分隔开。结构也包括另一接触金属60,具有位于接触金属的上表面上并且与其直接接触的一部分以及位于一个栅极堆叠的导电金属上并且与其直接接触的另一部分。也公开了一种使用替换栅极和非替换栅极方案的形成半导体结构的方法。

    不合并情况下的沟槽加宽

    公开(公告)号:CN101410988A

    公开(公告)日:2009-04-15

    申请号:CN200780010886.6

    申请日:2007-05-16

    CPC classification number: H01L29/945 H01L29/66181

    Abstract: 本发明提供了一种半导体制造方法,包括提供半导体结构的步骤。该半导体结构包括半导体基板和所述半导体基板中的沟槽。该沟槽包括侧壁,该侧壁包括{100}侧壁面和{110}侧壁面。所述半导体结构还包括阻挡层,其位于所述{100}侧壁面和所述{110}侧壁面上。该方法还包括以下步骤:去除阻挡层在{110}侧壁面上的部分而不去除阻挡层在{100}侧壁面上的部分,从而使得{110}侧壁面曝露于周围环境。

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