具自行钝化铜合金之铜垫\接合\铜线

    公开(公告)号:CN1296997C

    公开(公告)日:2007-01-24

    申请号:CN01821652.8

    申请日:2001-11-14

    Inventor: H·-J·巴斯

    Abstract: 一种集成电路结构,其改进系包含一线接合铜垫铜线组件,其中该铜垫铜线组件特征为自行钝化、低电阻、高接合力以及改进的抗氧化与腐蚀,该铜垫铜线组件系包含一金属化线路,一衬垫,系分开该金属化线路与围绕一铜垫的一铜合金,一介电层,系围绕该衬垫,以及一铜垫,系与一铜合金线接合,该铜线组件其特征为自行钝化区域系位于一掺杂丰富接口,其中该掺杂丰富接口系位于该铜合金与该衬垫之间、该铜垫的一表面、在该铜垫与该铜合金线间之一接合的一表面、及该铜合金线的一表面。

    自对准双侧面垂直金属-绝缘体-金属电容

    公开(公告)号:CN1280874C

    公开(公告)日:2006-10-18

    申请号:CN01821185.2

    申请日:2001-11-29

    Inventor: X·J·宁

    CPC classification number: H01L28/82 H01L28/90

    Abstract: 本发明涉及自对准双侧面垂直金属-绝缘体-金属(MIM)电容。一种垂直MIM电容(140),包括被夹持于一电容介电质(134)的一垂直部份周围的一第一导线(124)以及一第二导线(136)。增加的导线(136)可被垂直设置接近第一导线(124)并由电容介电质(134)的另一垂直部份分离以形成一双侧面电容(142),从而增加电容值。多个垂直MIM电容(140,142)可被平行耦合在一起以增加电容值。

    用于分层预取的半导体存储器

    公开(公告)号:CN1279541C

    公开(公告)日:2006-10-11

    申请号:CN00102321.7

    申请日:2000-02-12

    CPC classification number: G11C7/1039

    Abstract: 根据本发明的一种半导体存储器包括一个数据路径,该数据路径包括多个分层级,每级包括与其他级不同的位数据率。在级之间设置至少两个预取电路。该至少两个预取电路包括至少两个锁存器,锁存器用于接收数据位并存储数据位直到分层中的下一级能够接收数据位为止。该至少两个预取电路连接在级之间以便级之间的每级的总数据率基本相同。控制信号控制至少两个锁存器以便预取电路保持级之间的总数据率。

    采用低电压电平的同步数据获取电路及方法

    公开(公告)号:CN1183596C

    公开(公告)日:2005-01-05

    申请号:CN00104532.6

    申请日:2000-02-12

    CPC classification number: G11C7/1078 H04L7/0008

    Abstract: 一种集成电路中的同步数据获取电路,用于使一个数据信号中的数据的获取与一个定时信号同步。该同步数据获取电路采用具有一个低电压电平的电压信号,数据信号和定时信号具有高于低电压电平的第一电压电平。该同步数据获取电路包括一个定时驱动电路,一个数据驱动电路,一个数据时钟电路。数据时钟电路用于接收低电压定时信号和低电压时钟数据信号。数据定时电路输出一个已同步获取数据信号,此已同步获取数据信号具有高于低电压电平的第一电压电平。

    半导体存储器芯片
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1174426C

    公开(公告)日:2004-11-03

    申请号:CN00108677.4

    申请日:2000-05-17

    CPC classification number: G11C29/36 G11C29/40

    Abstract: 半导体存储器芯片(100)包括含有待测试的存储器元件的存储器阵列。图案发生器(112)提供待输入并存储在存储器阵列中的参考数据。在存储器芯片上形成比较来自图案发生器的参考数据与来自存储器阵列的存储数据的比较器(110)。比较器还包括:执行比较操作并提供比较结果的逻辑电路(134);接收比较结果的多个锁存器(152),其第一态与匹配态相关联,若接收到非匹配态,则第一态变为第二态;存储和输出锁存器的第一和第二态以便提供测试结果的寄存器(160)。

    在半导体衬底上开孔、制作深沟槽和开接触孔的方法

    公开(公告)号:CN1171287C

    公开(公告)日:2004-10-13

    申请号:CN00807779.7

    申请日:2000-04-20

    Inventor: B·S·李

    CPC classification number: H01L21/0332 H01L21/3081 H01L21/31144

    Abstract: 根据本发明,一种在半导体制造中开孔的方法包括下列步骤:在衬底(102)上提供焊点叠层(104);在焊点叠层上制作硬掩模层(106),此硬掩模层相对于焊点叠层可选择性地清除;在硬掩模层上图形化抗蚀剂层(108),此抗蚀剂层相对于硬掩模层可被选择性地清除并具有足以防止凹陷的厚度;相对于抗蚀剂层选择性地腐蚀硬掩模层直至焊点叠层;以及清除抗蚀剂层。在清除抗蚀剂层之后,相对于硬掩模层选择性地腐蚀焊点叠层,致使孔被一直开到衬底。

    自行钝化铜雷射熔丝
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1502131A

    公开(公告)日:2004-06-02

    申请号:CN01821599.8

    申请日:2001-11-14

    Inventor: H·J·巴思

    CPC classification number: H01L23/5258 H01L2924/0002 H01L2924/00

    Abstract: 在一集成电路结构中,其改善系包含一自行钝化铜熔丝,其特征为抗氧化与腐蚀,在一供给能量的雷射烧断该熔丝之后,改善在铜与金属化线路之间与在该铜与一介电层盖之间接口的黏着,该熔丝系包含一金属化线路,一衬垫,系分开该金属化线路、一组合铜合金种晶层与一纯铜层,一介电层,系围绕该衬垫,以及一介电层盖,系设置于围绕的该介电层、该衬垫、该组合铜合金种晶层与该纯铜层,该雷射熔丝在雷射供给能量后,其特征为钝化区域,系位于在敞开的铜熔丝表面上,以及在接口中,该接口系位于该铜合金种晶层、该衬垫与该介电层之间,以及该纯铜层与该介电层盖之间。

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